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公开(公告)号：CN102812275A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201080065200.5
申请日：2010-12-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K37/00
CPC classification number: F16K7/14 , F16K31/1225 , F16K31/1226
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，能够以简单结构对其开闭状态进行视觉确认。外壳(3)以在上方开口的方式形成，在阀杆(7)位于上方位置时，以使活塞上端部从外壳(3)的开口露出的方式在阀杆(7)上端部设置活塞(8)。
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公开(公告)号：CN102265043A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152480.0
申请日：2009-11-12
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L23/20 , F15D1/025 , G01F1/40 , G01F1/42 , G05D7/0635
Abstract: 提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。
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公开(公告)号：CN116997993A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202280021823.5
申请日：2022-03-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC: H01L21/02
Abstract: 提供一种能够节省空间且能够在短时间内向处理腔室供给稳定的浓度成分的混合气体的气体供给装置。该气体供给装置具有：多个流体控制单元(A1～D2)，其分别包括供气体(G)流通的流路(CH)、以及设于该流路(CH)的中途且对在该流路中流通的气体(G)的流动进行控制的流体控制设备(V1、FC、V2)；以及合流流路(MCH1)，其包括与多个流体控制单元(A1～D2)流体连接的多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)、以及将通过多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)导入的气体导出的单一的气体导出部(K1)，多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)在合流流路(MCH1)的流路方向上相对于气体导出部(K1)对称地配置，且在多个连接部(LC1、LC2、RC1、RC2)分别流体连接有两个以上的流体控制单元。
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公开(公告)号：CN112771294A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201980064209.5
申请日：2019-09-03
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供减轻了阀杆的轴晃动的隔膜阀。该隔膜阀具有：阀体(16)，其在内部具有流体的流路(16a、16b)，并且在一面具有隔膜配置部(16d)；隔膜(17)，其配置于所述隔膜配置部(16d)，并且通过弹性变形能够进行所述流路的开闭和开度的调节；以及驱动部(12)，其具有阀杆(8)和致动器(2)，该阀杆(8)对所述隔膜(17)进行按压并且使所述隔膜(17)弹性变形，该致动器(2)驱动该阀杆(8)，其特征在于，所述阀杆(8)借助树脂制套筒(15)被阀盖(10)保持为能够沿着轴向移位，该阀盖(10)固定于所述阀体(16)侧。
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公开(公告)号：CN111417809A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880076979.7
申请日：2018-11-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种组装有节流孔并且能够以低成本进行制造的阀装置。阀体(20)划定在阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部(50b2、50b3)、以及通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的贯通流路(50、16p)，在贯通流路(50、16p)形成有节流孔(16p)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111344510A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201880071291.X
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14)，隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通，阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2，50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a)，阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。
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公开(公告)号：CN107532740B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201680019404.2
申请日：2016-08-10
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 各通路部件(3、4、9)具有所需的宽度、高度和长度，在宽度中央部设有流体通路(13、14、17、18)。作为结合机构而使用两根螺栓(15、16)。在各通路部件(3、4、9)的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹(36A、36B、42、48)及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔(34、35、40、47)。上侧的螺栓(15)穿插于一个通路部件(3、4)中并与另一个通路部件(9)的内螺纹(36A、36B)螺合。下侧的螺栓(16)穿插于另一个通路部件(9)中并与一个通路部件(3、4)的内螺纹(42、44)螺合。通过利用上下两根螺栓(15、16)使通路部件彼此结合，密封部件(6、7)被固定。
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公开(公告)号：CN105190142B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201480004461.4
申请日：2014-03-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成：包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。
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公开(公告)号：CN113728187A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202080028985.2
申请日：2020-02-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种流路形成区块，具备：第一区块；第二区块，其被安装于第一区块，且具有第一流路以及第二流路；垫片，其被设置于第一区块与第二区块之间，且对第一区块和第二区块之间进行密封，第二区块具有被形成于与垫片对置的面、并将第一流路和第二流路连通的连通部，垫片具有被形成于与连通部对置的位置的凹部。
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公开(公告)号：CN111295544B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201880071418.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。
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