阀装置和气体供给系统
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112930454A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN201980070726.3

    申请日:2019-10-21

    Abstract: 提供一种用于半导体制造工艺等的阀装置,该阀装置具有更适合于小型化、集成化的构造。该阀装置具有:阀体(3),其收纳于收纳凹部(35),并且在底面具有第1端口(3p1)和第2端口(3p2);以及阀盖螺母(20),其在外周形成螺纹部(20a)并且螺纹部(20a)与收纳凹部(35)的内周螺纹结合,由此,将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压,并且将该阀体(3)固定于流路块(30),阀体(3)具有在第1端口(3p1)和第2端口(3p2)的周围自底面(3d)突出地形成的密封用的第1环状突起(4a)和第2环状突起(4b),所述第1环状突起(4a)和所述第2环状突起(4b)形成为共用局部。

    阀
    14.
    发明公开
    无效

    公开(公告)号:CN112673201A

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN201980058367.X

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 本发明提供一种耐久性优异的阀。隔膜(8)具有:主隔膜(8A)和支承隔膜(8B),该支承隔膜(8B)位于相对于主隔膜(8A)的与阀室(2a)侧相反的一侧,并与主隔膜(8A)接触而设置。主隔膜(8A)的内周侧的第一末端部(8E)固定于阀芯部(6),支承隔膜(8B)的内周侧的第二末端部(8F)与主隔膜(8A)的内周侧的第一末端部(8E)分离。

    阀装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111344510A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201880071291.X

    申请日:2018-10-22

    Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14),隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通,阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2,50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a),阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。

    手动阀装置和流体控制装置

    公开(公告)号:CN111201393A

    公开(公告)日:2020-05-26

    申请号:CN201880063249.3

    申请日:2018-09-04

    Abstract: 本发明提供一种适用于小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置。手动阀装置具有内置驱动机构(50)的筒状的壳体(70)、用于使驱动机构(50)进行工作的操作构件(110)、以及将作用于该操作构件(110)的力转换为该驱动机构的驱动力的凸轮部(80),该手动阀装置具有设于壳体(70)的上端侧并将操作构件(110)的至少局部覆盖的保护罩(100),操作构件(110)具有安装部(110a),用于使驱动机构(50)的工作所需的力作用于操作构件(110)的辅助工具(600)能够拆卸地安装于该安装部(110a),保护罩(100)形成为能够使辅助工具(600)到达操作构件(110)的安装部(110a)。

    隔膜阀
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105473914A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201480037151.2

    申请日:2014-07-09

    CPC classification number: F16K7/14 F16K7/126

    Abstract: 本发明提供一种可以大幅减少发生阀座泄漏的隔膜阀。在阀座(11)的顶部的径向中间部分形成有凹处(14)。阀座(11)的顶部的半径方向内侧部分(15)与隔膜(6)之间形成第一密封部(17)。阀座(11)的顶部的半径方向外侧部分(16)与隔膜(6)之间形成第二密封部(18)。凹处(14)的外周面(14b)为圆筒面。

    管接头
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103775759A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201310489576.4

    申请日:2013-10-18

    CPC classification number: F16L19/0218 F16L19/025 F16L23/20 F16L23/18

    Abstract: 本发明提供一种管接头,即使反复进行拆装也不会产生微粒。管接头(1)包括:具有相互连通的流体通路(2a、3a)的第1接头部件及第2接头部件(2、3);夹设在两个接头部件(2、3)的对接端面之间的圆环状垫圈(4);和使接头部件(2、3)彼此结合的螺母(6)。在螺母(6)上设有内表面处理层(30)。内表面处理层(30)由设在螺母(6)内表面上的Co(钴)-P(磷)合金保护膜和设在合金保护膜表面上的氟涂层构成。

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