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公开(公告)号：CN101878590A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200980101049.3
申请日：2009-09-18
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0519 , H03H9/0595 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 音叉型压电振动片，至少由作为振动部的多根腿部、与外部接合的接合部、突出地设置这些上述腿部以及上述接合部的基部构成。上述多根腿部从上述基部的一端面突出，且并列设置在上述一端面上。上述接合部从与上述基部的一端面相向的另一端面的下述位置突出，该位置是与上述基部的一端面的宽度方向上的上述多根腿部的中间位置相向的位置。而且，至少上述接合部的基端部被作为与外部接合的接合区域。
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公开(公告)号：CN101331681A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200680047691.4
申请日：2006-11-30
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/17 , H03H9/21 , Y10T29/42
Abstract: 一种压电器件包括压电振动片，固定压电振动片的基底，用于密封地封闭固定在基底上的压电片的盖子，以及由脆性材料形成用于减小到压电振动片的外部应力的支撑元件。压电振动片经由支撑元件固定在基底上。这里，基底、压电振动片和支撑元件通过使用结合凸起基底结合材料和压电振动片结合材料由FCB方法超声地结合。基底和支撑元件经由基底结合材料在支撑元件的多个区域上通过超声结合而电学机械结合。而且，压电振动片和支撑元件经由压电振动片结合材料在压电振动片的一个区域上通过超声结合而电学机械结合。
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公开(公告)号：CN1274083C
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN02154225.2
申请日：2002-08-30
Applicant: 株式会社大真空
Abstract: 在利用腐蚀度互为不同的多种掩模层R2、R3将石英晶片1各处形成掩蔽的状态，对该石英晶片1进行腐蚀处理。在利用腐蚀度高的掩模层形成掩蔽的部分，腐蚀工作早期开始，所以腐蚀量多。反之，在利用腐蚀度低的掩模层形成掩蔽的部分上，腐蚀工作的开始延迟，腐蚀量少。由此，可将石英晶片1形成任意的形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1706098A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200480000236.X
申请日：2004-03-08
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/02 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 在音叉型振子的压电振动片上设置有基础部和多个脚部。在各脚部上，在上下主表面和两侧面上形成极性不同的激励电极，两侧面的激励电极相互连接。此外，在压电振动片的各脚部的前端部形成用于频率调整的金属膜，通过光束照射除去前端部的侧面或端面的至少一个面上形成的金属膜，进行频率调整。
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公开(公告)号：CN1557048A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN03801098.4
申请日：2003-07-14
Applicant: 株式会社大真空
IPC: H03H3/02
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/21 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 一种腐蚀方法，在对水晶基板(2)进行腐蚀加工从而成形在脚部(11、12)具有槽部(11c、12c)的音叉型水晶晶片(1A)时，利用根据腐蚀区域的形状决定腐蚀量的腐蚀停止技术预先设定槽部(11c、12c)的宽度尺寸，从而可提高槽部(11c、12c)的深度尺寸的加工精度。这样，如确保必要最短时间以上的腐蚀时间，则可获得按照设计尺寸的深度尺寸。
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公开(公告)号：CN1706098B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200480000236.X
申请日：2004-03-08
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/02 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 在音叉型振子的压电振动片上设置有基础部和多个脚部。在各脚部上，在上下主表面和两侧面上形成极性不同的激励电极，两侧面的激励电极相互连接。此外，在压电振动片的各脚部的前端部形成用于频率调整的金属膜，通过光束照射除去前端部的侧面或端面的至少一个面上形成的金属膜，进行频率调整。
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公开(公告)号：CN101331681B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200680047691.4
申请日：2006-11-30
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/17 , H03H9/21 , Y10T29/42
Abstract: 一种压电器件包括压电振动片，固定压电振动片的基底，用于密封地封闭固定在基底上的压电片的盖子，以及由脆性材料形成用于减小到压电振动片的外部应力的支撑元件。压电振动片经由支撑元件固定在基底上。这里，基底、压电振动片和支撑元件通过使用结合凸起基底结合材料和压电振动片结合材料由FCB方法超声地结合。基底和支撑元件经由基底结合材料在支撑元件的多个区域上通过超声结合而电学机械结合。而且，压电振动片和支撑元件经由压电振动片结合材料在压电振动片的一个区域上通过超声结合而电学机械结合。
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公开(公告)号：CN100511993C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200480000829.6
申请日：2004-07-20
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/21 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 音叉型振动片具备底部和从该底部延伸的腿部，在各腿部主表面形成有槽部的同时，在该槽部内部和在腿部的侧面分别形成槽内电极和侧面电极，上述槽内电极和上述侧面电极的各个通过形成于底部的底部电极相连接，在这种音叉型振动片中形成有槽延伸电极和槽侧面电极，该槽延伸电极从上述槽部的槽内电极遍及到与上述底部相向槽部的纵向壁以及腿部前端方主表面，该槽侧面电极用来将上述槽延伸电极沿着上述槽部侧面的上述腿部主表面引向上述底部电极。
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