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公开(公告)号:CN101199114A
公开(公告)日:2008-06-11
申请号:CN200680021906.5
申请日:2006-04-21
Applicant: 株式会社大真空
Inventor: 白井崇
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种压电谐振板,包括基部和具有从基部伸出的多个分叉部的振荡部。每个分叉部设置有激励电极和引线电极。在基部内至少具有两个导电接合部件形成的区域,用于将引线电极的一部分通过基部内的导电接合部件接合至外部电极。基部以宽于振荡部的方式形成,并且具有基部中央区域和基部拓宽区域,基部中央区域具有与振荡部相同的宽度,振荡部从基部中央区域伸出,基部拓宽区域沿振荡部的侧边延出,导电接合部件形成区域位于基部的拓宽区域内。从位于基部中央区域和基部拓宽区域之间的基部的边界角部开始的延长的薄壁部分形成于基部内。或者,从位于分叉部伸出的基部拓宽区域的一侧的角部开始的延长的薄壁部分形成于基部内。
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公开(公告)号:CN101142742B
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN200680008881.5
申请日:2006-03-02
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 晶体振动片(2)配有用于安排引出电极(65a,65b)的电极形成区,以及基板(6)的相对侧面(67a,67b)相对于前主面(63)在相同方向上形成倾斜。在引出电极(65a,65b)的电极形成区中,配备了用于加强与导电粘合剂(5)的粘合的粘合加强部分(7)。例如,粘合加强部分(7)是在相对侧面(67a,67b)上形成的切口部分。因此,提高了晶体振动片(2)与导电粘合剂(5)粘合的强度。
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公开(公告)号:CN101142742A
公开(公告)日:2008-03-12
申请号:CN200680008881.5
申请日:2006-03-02
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/215
Abstract: 晶体振动片(2)配有用于安排引出电极(65a,65b)的电极形成区,以及基板(6)的相对侧面(67a,67b)相对于前主面(63)在相同方向上形成倾斜。在引出电极(65a,65b)的电极形成区中,配备了用于加强与导电粘合剂(5)的粘合的粘合加强部分(7)。例如,粘合加强部分(7)是在相对侧面(67a,67b)上形成的切口部分。因此,提高了晶体振动片(2)与导电粘合剂(5)粘合的强度。
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公开(公告)号:CN101878590B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN200980101049.3
申请日:2009-09-18
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0519 , H03H9/0595 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 音叉型压电振动片,至少由作为振动部的多根腿部、与外部接合的接合部、突出地设置这些上述腿部以及上述接合部的基部构成。上述多根腿部从上述基部的一端面突出,且并列设置在上述一端面上。上述接合部从与上述基部的一端面相向的另一端面的下述位置突出,该位置是与上述基部的一端面的宽度方向上的上述多根腿部的中间位置相向的位置。而且,至少上述接合部的基端部被作为与外部接合的接合区域。
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公开(公告)号:CN1557048B
公开(公告)日:2010-04-21
申请号:CN03801098.4
申请日:2003-07-14
Applicant: 株式会社大真空
IPC: H03H3/02
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/21 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 一种腐蚀方法,在对水晶基板(2)进行腐蚀加工从而成形在脚部(11、12)具有槽部(11c、12c)的音叉型水晶晶片(1A)时,利用根据腐蚀区域的形状决定腐蚀量的腐蚀停止技术预先设定槽部(11c、12c)的宽度尺寸,从而可提高槽部(11c、12c)的深度尺寸的加工精度。这样,如确保必要最短时间以上的腐蚀时间,则可获得按照设计尺寸的深度尺寸。
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公开(公告)号:CN101878590A
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200980101049.3
申请日:2009-09-18
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0519 , H03H9/0595 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 音叉型压电振动片,至少由作为振动部的多根腿部、与外部接合的接合部、突出地设置这些上述腿部以及上述接合部的基部构成。上述多根腿部从上述基部的一端面突出,且并列设置在上述一端面上。上述接合部从与上述基部的一端面相向的另一端面的下述位置突出,该位置是与上述基部的一端面的宽度方向上的上述多根腿部的中间位置相向的位置。而且,至少上述接合部的基端部被作为与外部接合的接合区域。
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公开(公告)号:CN1706098A
公开(公告)日:2005-12-07
申请号:CN200480000236.X
申请日:2004-03-08
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/02 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 在音叉型振子的压电振动片上设置有基础部和多个脚部。在各脚部上,在上下主表面和两侧面上形成极性不同的激励电极,两侧面的激励电极相互连接。此外,在压电振动片的各脚部的前端部形成用于频率调整的金属膜,通过光束照射除去前端部的侧面或端面的至少一个面上形成的金属膜,进行频率调整。
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公开(公告)号:CN1557048A
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN03801098.4
申请日:2003-07-14
Applicant: 株式会社大真空
IPC: H03H3/02
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/21 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 一种腐蚀方法,在对水晶基板(2)进行腐蚀加工从而成形在脚部(11、12)具有槽部(11c、12c)的音叉型水晶晶片(1A)时,利用根据腐蚀区域的形状决定腐蚀量的腐蚀停止技术预先设定槽部(11c、12c)的宽度尺寸,从而可提高槽部(11c、12c)的深度尺寸的加工精度。这样,如确保必要最短时间以上的腐蚀时间,则可获得按照设计尺寸的深度尺寸。
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公开(公告)号:CN1706098B
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN200480000236.X
申请日:2004-03-08
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/02 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
Abstract: 在音叉型振子的压电振动片上设置有基础部和多个脚部。在各脚部上,在上下主表面和两侧面上形成极性不同的激励电极,两侧面的激励电极相互连接。此外,在压电振动片的各脚部的前端部形成用于频率调整的金属膜,通过光束照射除去前端部的侧面或端面的至少一个面上形成的金属膜,进行频率调整。
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