公开(公告)号：CN100444320C

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200410058844.8

申请日：2004-07-30

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 下村明久 ,  古山将树 ,  小路博信

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/268 ,  H01L21/428 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/02672 ,  C30B13/24 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/2022 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1277 ,  H01L27/1285 ,  H01L29/04 ,  H01L29/78675

Abstract: 本发明的目的是提供一种制造结晶半导体膜的方法，它包含：利用用来促进晶化的金属元素进行晶化以便控制取向的步骤，以及辐照一次激光以便形成具有以规则间距排列在网格图形中的小晶粒的结晶半导体膜的步骤。在根据上述目的提出的本发明中，以借助于将用来促进晶化的金属元素加入到非晶半导体膜而形成结晶半导体膜并将其偏振方向受到控制的脉冲激光辐照到其上的方式，脊在结晶半导体膜表面上形成网格图形。半波片或镜被用作用来控制偏振方向的装置。

公开(公告)号：CN1492488A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN03158812.3

申请日：2003-09-12

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 宫入秀和 ,  下村明久 ,  高野圭惠 ,  古山将树 ,  田中幸一郎

IPC: H01L21/324 ,  B23K26/00 ,  H01S3/00 ,  G02F1/00

Abstract: 本发明的目的是提供使激光能量更稳定的激光装置、激光照射方法和半导体器件的制作方法。为此，对振荡器发射的激光束的一部分进行采样，以生成包含激光束的能量波动作为数据的电信号。对该电信号进行信号处理，以计算激光束能量波动的频率、幅度和相位。光量调节装置的透射比被控制，使得透射比变化的相位与激光束能量波动的相位相反，且幅度能够减小振荡器发射的激光束的幅度，该控制根据与从振荡器发射的激光束的振荡同步的信号的相位与计算得到的相位之间的相位差、根据采样的激光束与从振荡器发射的激光束的能量比率、以及根据计算得到的频率和幅度进行。在光量调节装置中，从振荡器振荡的激光束的能量被调节。