器件的制造方法及有机EL器件

    公开(公告)号:CN103262653A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201180007470.5

    申请日:2011-12-15

    Inventor: 西山诚司

    CPC classification number: H01L51/0018 H01L27/1288

    Abstract: 在器件的制造中具有:基板准备工序、像素电极形成工序、感光性膜形成工序、第一部分曝光工序、第二部分曝光工序和显影工序。其中,在第一部分曝光工序中,在执行了感光性膜形成工序后,使第一光掩模与基板相对地配置,经由第一光掩模对感光性膜的第一部分曝光。另外,在第二部分曝光工序中,在执行了第一部分曝光工序后或者执行s第一部分曝光工序的同时,使第二光掩模与基板相对地配置,经由第二光掩模对感光性膜的第二部分曝光,该第二部分的至少一部分不同于第一部分。并且,在第二部分曝光工序中,将第二光掩模配置成其端部与第一光掩模的端部重叠,使第一光掩模和第二光掩模的上述重叠的部分处于与像素电极形成工序中的电布线对应的位置。

    有机EL显示面板、显示装置以及有机EL显示面板的制造方法

    公开(公告)号:CN102742357A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201080003325.5

    申请日:2010-08-06

    Abstract: 本发明提供一种有机EL显示面板、显示装置以及有机EL显示面板的制造方法。通过使位于有机EL元件(20)下层的层间绝缘膜(3)的膜厚不同,使接触孔(13)的容积按各颜色而不同,对各阳极板(5)的凹部(15)的容积进行调剂。而且,在通过喷墨方式滴下了含有中间层等的材料的墨水时,中间层等的膜厚根据填充于凹部的墨水量而发生变化。即,能够通过调节各颜色的凹部的容积差,对各颜色的中间层(9)等的膜厚差进行微调节。从而能够在电视机等电子设备中使用的有机EL显示面板(100)中,一边以湿发方式形成中间层(9)或发光层(10),一边容易地对不同的发光颜色间的中间层等的膜厚差进行微调节,提高发光效率或发光颜色。

    有机EL元件
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103053041A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201080068393.X

    申请日:2010-08-06

    CPC classification number: H01L51/5088 H01L51/5209 H01L51/5218 H01L2251/5369

    Abstract: 本发明提供一种有机EL元件,能够耐受有机EL显示面板的量产工艺,且能实现优异的空穴注入效率,在低电压驱动下具有高发光效率。具体而言,在基板(10)的一面依次层叠阳极(2)、空穴注入层(3)、缓冲层(6A)、发光层(6B)、阴极(8)而构成有机EL元件(1000)。在空穴注入层(3)的表面形成堤(12)以使得包围所述缓冲层(6A)以上的结构。空穴注入层(3)通过溅射成膜氧化钨薄膜来形成。此时,将氧化钨成膜为在其电子态中使比价电子带最低的结合能低1.8~3.6eV的结合能区域内存在占有能级,降低对所述缓冲层(6A)的空穴注入势垒。在空穴注入层(3)的上面形成凹部(4a),使该凹部的内面与功能层(缓冲层(6A)或发光层(6B))接触。

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