一种于柔性衬底上制备纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN115928004A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211239413.6

    申请日:2022-10-11

    Abstract: 一种于柔性衬底上制备纳米结构的方法,包括以下步骤:制备PDMA柔性衬底;在所述PDMA柔性衬底上制备六方密排的聚苯乙烯小球阵列,得到柔性衬底上的聚苯乙烯小球阵列;制备PVA水溶胶;将所述PVA水溶胶,旋涂至所述柔性衬底上的聚苯乙烯小球阵列,使得聚苯乙烯小球阵列表面覆盖PVA胶;通过等离子清洗聚苯乙烯小球阵列表面覆盖的所述PVA胶进行刻蚀,以减少聚苯乙烯小球阵列表面PVA胶层的厚度,使聚苯乙烯小球不被PVA胶完全覆盖;利用磁控溅射在经过所述刻蚀PVA胶处理后的聚苯乙烯小球阵列表面上沉积银和二氧化硅;用氢氟酸进行表面化学处理,部分去除所述沉积到聚苯乙烯小球表面的二氧化硅,得到柔性衬底上的银纳米结构。

    一种角度调控掩蔽制备有序纳米阵列结构的方法及其应用

    公开(公告)号:CN113044805B

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202110181359.3

    申请日:2021-02-09

    Abstract: 本发明公开了一种角度调控掩蔽制备有序纳米阵列结构的方法及其应用,涉及周期性纳米复合材料微加工技术领域,包括以下制备步骤:(1)清洗硅片;(2)制备六方密排聚苯乙烯微球阵列结构;(3)制备得到溅射衬底;(4)在溅射衬底表面进行磁控溅射,溅射方向为六方密排聚苯乙烯微球阵列结构的长对称轴方向和短对称轴方向,且与溅射衬底法线方向夹角为65‑75°;本发明通过角度调控掩蔽的方法制备得到了具有特定形状的有序纳米阵列结构,方法简单高效,对溅射材料化学性能无依赖,同时制备得到的有序纳米阵列结构SERS灵敏度高。

    一种非易失自旋轨道转矩元件及其转矩方法

    公开(公告)号:CN110224063B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN201910410776.3

    申请日:2019-05-16

    Abstract: 本发明涉及信息储存技术领域,具体涉及一种非易失自旋轨道转矩元件,包括:用于承载所述元件衬底;设置于衬底上方的第一电极;由重金属薄膜以及阻变薄膜组合沉积构成的异质结构层;以及形成于异质结构层上方的第二电极。在所述非易失自旋轨道转矩元件的第一电极以及第二电极处施加外加电场,能够实现阻变效应对自旋轨道转矩的磁矩翻转的调控。本发明克服了现有技术中的自旋轨道转矩驱动器件通过电流或电压调控的磁矩反转过程是易失的这一缺陷,而本发明的磁矩反转过程是非易失性的,当撤去电流或电压后,磁矩的翻转态会继续存在。本发明中使用的调节电压为低电压,调控过程中不会产生大量的能量损耗,有利于器件的节能化。

    一种制备硅纳米腔的方法
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114249325A

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN202111580591.0

    申请日:2021-12-22

    Abstract: 本发明公开了一种制备硅纳米腔的方法,本发明采用自组装方法制备的高度有序的聚苯乙烯小球阵列,放入等离子体清洗机中刻蚀,利用磁控溅射在聚苯乙烯小球阵列表面溅射50~200nm的金属,取下聚苯乙烯小球阵列,将纳米孔阵列放入盛有NaOH溶液的烧杯中刻蚀;本发明与块状结构相比,硅纳米结构在性能上有其优越性,研究显示,硅在紫外光范围内同样具有局域表面等离子激元效应,能达到类似贵金属(金、银)纳米结构的增强效果,在光电器件的制备,表面增强拉曼检测等方面效果显著。本发明制备得到了一种图案化硅纳米结构。该制备方法的创新性在于可以对硅纳米结构的尺寸、间隙等方面进行很方便的控制。进而研究其光电效应。

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