公开(公告)号：CN217930170U

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202221846316.9

申请日：2022-07-18

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 方威 ,  王文 ,  吕天硕 ,  岳树清 ,  陈占锋 ,  时光 ,  杨贺 ,  王传勇 ,  卢科青

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/27 ,  G01B9/02015

Abstract: 本实用新型公开了一种光学检测式主轴回转误差测量装置。该测量装置包括激光干涉仪、第一角锥反射镜、第二角锥反射镜和第一分光镜。所述的激光干涉仪、第一分光镜、第二角锥反射镜沿着被测主轴的轴线方向依次排列。测量过程中，第二角锥反射镜同轴固定安装在被测主轴的端部。第一角锥反射镜安装在第一分光镜的侧部。本实用新型在主轴的端部设置锥角反光镜，利用激光干涉原理测量主轴轴向误差，实现高精度测量仅对光学器件精度有较高要求，对检测安装部分的加工精度、安装精度的要求较低。此外，本实用新型仅在轴向检测的基础上增设了一组分光镜和PSD传感器，再未额外增设光源的情况下就同步实现了径向误差检测。