碱金属氢氧化物的生产方法及此法所用的电解槽

    公开(公告)号:CN1008190B

    公开(公告)日:1990-05-30

    申请号:CN86108477

    申请日:1986-12-13

    CPC classification number: C08J5/2281 C25B1/46

    Abstract: 一种在有阳极室和阴极室的电解槽中进行电解的方法,此方法包括对阳极室供以碱金属氯化物水溶液、对阴极室供以水或碱金属氢氧化物稀水溶液。其中有一阳离子交换膜,此膜由厚度5微米的含-SO3M基的全氟化碳聚合物构成最外层,第二层是含-CO2M基的全氟化碳聚合物。在45%(重量)的NaOH溶液中,第二层的水含量为2~7%(重量),厚度至少为5微米。第一层的水含量高于第二层,放置交换膜时以其第一层面对阴极室。

    抗蚀剂组合物
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100422853C

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN03107058.2

    申请日:2003-03-03

    CPC classification number: G03F7/0046 G03F7/0395 Y10S430/115 Y10S430/146

    Abstract: 一种抗蚀剂组合物,它包括下列含氟聚合物(A)、在光照下产生酸的酸生成化合物(B)和有机溶剂(C);含氟聚合物(A):具有受保护的酸性基团的含氟聚合物,它具有式(1)的氟化二烯环化聚合形成的单体单元和聚合式(2)的丙烯酸类单体形成的单体单元,当通过聚合式(1)的氟化二烯和式(2)的丙烯酸类单体得到的共聚物没有受保护的酸性基团时,它可通过在共聚物中形成受保护的酸性基团来得到:CF2=CR1-Q-CR2=CH2(1)和CH2=CR3-CO2R4(2)。R1、R2、R3、R1和Q的定义见说明书。

    光致抗蚀剂组合物
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1221861C

    公开(公告)日:2005-10-05

    申请号:CN02805512.8

    申请日:2002-01-31

    Abstract: 提供了可形成对放射线的透明度和干蚀刻性优异、且灵敏度、析像度、平坦性、耐热性等优异的光致抗蚀剂图案的化学放大型光致抗蚀剂组合物。该光致抗蚀剂组合物的特征是,它包含:含氟聚合物(A)、受光照射而产生酸的产酸化合物(B)、及有机溶剂(C),所述的含氟聚合物(A)是具有以式(1)表示的含氟二烯的环化聚合重复单元的含氟聚合物,且Q中具有嵌段化酸性基团,CF2=CR1-Q-CR2=CH2……(1)式中,R1、R2分别独立地表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基,Q为2价的有机基,且表示具有通过酸能够显现为酸性基团的嵌段化酸性基团或能转换成该嵌段化酸性基团的基团的有机基。

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