公开(公告)号：CN1980984B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200580022866.1

申请日：2005-07-11

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 木村正志 ,  金田隆行 ,  花畑博之

IPC: C08G73/14 ,  G03F7/027 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0757 ,  C08G73/14 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0388

Abstract: 本发明提供一种聚酰胺，所述聚酰胺具有由化学式(1)表示的结构。m和n是满足如下关系的整数，m≥1、n≥1、2≤(m+n)≤150以及0.3≤m/(m+n)≤0.9；R1和R2表示至少一个具有光聚合性不饱和键的1价有机基团；X1表示至少一个4价芳香族基团；X2表示至少一个3价芳香族基团；Y1和Y2表示至少一个2价有机基团；以及Z表示选自单取代的氨基和酰亚氨基的至少一个1价有机基团。

公开(公告)号：CN104854165A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201480003496.6

申请日：2014-03-17

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 金田隆行 ,  加藤聪 ,  饭塚康史

IPC: C08G73/10 ,  B32B27/34

Abstract: 本发明提供一种树脂前体，其无需特殊的溶剂的组合也能得到透明的树脂固化物，并且能够得到与无机膜之间产生的残余应力低、耐化学药品性优异、固化工序时的氧浓度对YI值和总透光率的影响小的树脂固化物。一种树脂前体，其为使包含氨基和氨基反应性基的聚合成分聚合得到的树脂前体，该聚合成分包含具有2个以上的选自氨基和氨基反应性基的基团的多价化合物，该多价化合物包含含硅化合物，该多价化合物包含以下述式(1)表示的二胺，该树脂前体具有以下述通式(2)表示的结构，该含硅基的化合物的量以该多价化合物的总质量基准计为6质量％～25质量％。

公开(公告)号：CN104641293A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201380048156.0

申请日：2013-09-13

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 本多正树 ,  金田隆行 ,  吉田雅彦 ,  汤之口智恵 ,  小仓知士

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/20 ,  C08G69/26

CPC classification number: C08G8/20 ,  C08G8/12 ,  C08G8/22 ,  C08G8/24 ,  C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/40 ,  C08L61/34 ,  C08L61/12 ,  C08L61/06

Abstract: 提供显影残膜率较高且为高感光度，显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物，其含有：(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中，R1和R2分别独立地表示碳数2～60的2价～8价的有机基团，R3、R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或碳数1～20的1价的有机基团，d和e分别独立地为0～2的整数且不同时为0，f和g分别独立地为0～4的整数，且n为正整数)；(b)二叠氮基醌化合物；以及(c)特定结构的酚醛树脂。

公开(公告)号：CN101993537B

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201010254899.1

申请日：2010-08-12

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 涩井智史 ,  金田隆行 ,  汤之口智惠

IPC: C08G73/10 ,  G03F7/039 ,  H01L21/3105 ,  H01L23/29

Abstract: 本发明申请提供碱溶性聚合物、包含其的感光性树脂组合物及其用途，详细来说，提供固化收缩低(固化时残膜率高)的碱溶性聚合物、及固化后的图案形状优异的感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法、以及具有该固化浮雕图案而成的半导体装置及发光装置。本发明申请的碱溶性聚合物，该碱溶性聚合物具有由选自由多元羧酸及其衍生物组成的组中的至少一种羧酸化合物与多元氨基化合物合成的结构，以及具有交联基、且能与前述多元羧酸或其衍生物反应的化合物由来的含交联基结构。

公开(公告)号：CN101827880A

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN200880111801.8

申请日：2008-12-24

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 金田隆行 ,  佐佐木由香 ,  涩井智史

IPC: C08G73/14 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  G03F7/075

CPC classification number: C08G73/14 ,  C08G69/26 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/038

Abstract: 提供一种碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂分子中不含卤素原子，灵敏度高，以相同曝光量、相同显影时间形成图案时的膜厚余量宽，能够用半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38％TMAH水溶液)进行显影，可溶于γ-丁内酯，且适用于感光性树脂组合物。提供一种树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构。{式中，X1表示不含卤素原子的4价有机基团，并且Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团(式中，L1、L2和L3分别独立地表示氢原子或甲基，并且L4表示氢原子、甲基或羟基。)}

公开(公告)号：CN101278234A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200680036814.4

申请日：2006-09-01

Applicant: 旭化成电子材料元件株式会社 ,  株式会社PI技术研究所

Inventor： 金田隆行 ,  花畑博之 ,  金行洲 ,  胁周三

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/022 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/022 ,  G03F7/40

Abstract: 根据本发明，提供一种感光性树脂组合物，相对于100质量份缩聚物(A)，其包含1～100质量份感光性重氮萘醌化合物(B)，缩聚物(A)的重均分子量为3000～70000，该缩聚物(A)具有如下结构：1个或2个以上四羧酸二酐与1个或2个以上具有相互在邻位的氨基和酚羟基的芳香族二胺脱水缩合的结构。