公开(公告)号：CN104641293A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201380048156.0

申请日：2013-09-13

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 本多正树 ,  金田隆行 ,  吉田雅彦 ,  汤之口智恵 ,  小仓知士

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/20 ,  C08G69/26

CPC classification number: C08G8/20 ,  C08G8/12 ,  C08G8/22 ,  C08G8/24 ,  C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/40 ,  C08L61/34 ,  C08L61/12 ,  C08L61/06

Abstract: 提供显影残膜率较高且为高感光度，显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物，其含有：(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中，R1和R2分别独立地表示碳数2～60的2价～8价的有机基团，R3、R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或碳数1～20的1价的有机基团，d和e分别独立地为0～2的整数且不同时为0，f和g分别独立地为0～4的整数，且n为正整数)；(b)二叠氮基醌化合物；以及(c)特定结构的酚醛树脂。