公开(公告)号：CN104641293A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201380048156.0

申请日：2013-09-13

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 本多正树 ,  金田隆行 ,  吉田雅彦 ,  汤之口智恵 ,  小仓知士

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/20 ,  C08G69/26

CPC classification number: C08G8/20 ,  C08G8/12 ,  C08G8/22 ,  C08G8/24 ,  C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/40 ,  C08L61/34 ,  C08L61/12 ,  C08L61/06

Abstract: 提供显影残膜率较高且为高感光度，显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物，其含有：(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中，R1和R2分别独立地表示碳数2～60的2价～8价的有机基团，R3、R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或碳数1～20的1价的有机基团，d和e分别独立地为0～2的整数且不同时为0，f和g分别独立地为0～4的整数，且n为正整数)；(b)二叠氮基醌化合物；以及(c)特定结构的酚醛树脂。

公开(公告)号：CN104285184A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201380022903.3

申请日：2013-05-02

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 田村信史 ,  平田龙也 ,  吉田雅彦

IPC: G03F7/027 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004

CPC classification number: C08G73/1071 ,  C08G73/1053 ,  C09D179/08 ,  G03F7/037 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其含有(A)具有下述通式(1)：{式中，R1、R2、X1和Y1如说明书中所定义}所示结构的聚酰亚胺前体：100质量份和(B)光聚合引发剂：0.1质量份～20质量份。