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公开(公告)号：CN105008868A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380074118.2
申请日：2013-12-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/69 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F15/022 , H01L29/045 , H01L29/84
Abstract: 为了提供测量精度高的热式流量计，采用以下结构：具有流量检测部、用于配置上述流量检测部的副通路和被输入从上述流量检测部得到的信号且向外部输出信号的LSI，上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上，设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的 轴平行。
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公开(公告)号：CN103380353B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201180067266.2
申请日：2011-03-02
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: H01L29/66992 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F5/00
Abstract: 本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理，从而提高传感元件的灵敏度，并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计，具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，其中，在形成上述薄膜部后，进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。
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公开(公告)号：CN102959411B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201180030636.5
申请日：2011-06-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01R31/02 , G01D3/08 , G01R31/026 , G01R31/2829
Abstract: 在现有技术的桥电路的断路检测电路中，对桥输出的补偿电压和温度特性恶化的情形缺乏考虑。本发明所要解决的技术问题是提供一种将传感器的特性变化抑制到微小的桥电路的断路检测电路。本发明的桥电路的断路检测电路（8a）由从桥电路的输出端子向预定的电位流过电流的通电单元（9、10）；检测出所述桥电路的输出端子的电位和所述预定电位的电位差的电位差检测单元（12、13）和根据所述电位差检测单元的输出来检测断路的断路检测单元（14）构成（参考图1）。
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公开(公告)号：CN102620853B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210018140.2
申请日：2012-01-19
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01K13/02 , G01F1/00 , G01F1/68 , G01F1/6888 , G01F5/00 , G01F15/185 , G01K1/20 , G01K7/42 , G01K2013/024 , G01K2205/02
Abstract: 本发明提供一种能够以高精度高速地检测出吸气温度的吸气温度传感器及具有该吸气温度传感器的热敏式空气流量计。本发明涉及的吸气温度传感器包括：取入吸气流的副通路(7)；配置在副通路(7)的内部的流量检测元件(13)；设置在副通路的外部的吸气温度检测元件(4)；对吸气温度检测元件(4)的安装部的温度进行检测的温度传感器(9)；配置在框体内部的电路基板(11)；根据温度传感器(9)及流量检测元件(13)的输出信号对吸气温度检测元件(4)的输出进行补正处理的集成电路(10)。
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公开(公告)号：CN103026181A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180036158.9
申请日：2011-07-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/699
Abstract: 本发明的课题在于提供高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。本发明的传感器元件（1）具备：半导体基板（2）、形成于半导体基板（2）的空腔部（4）、在空腔部（4）上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器（5）、检测发热电阻器（5）的加热温度的加热温度传感器（7）、根据由加热温度传感器（7）检测的温度控制发热电阻器（5）的加热温度的驱动电路（22）。并且，加热温度传感器（7）是电阻值根据温度而变化的热敏电阻器，相对于发热电阻器（5）配置于被计测流体的流动的上游侧以及下游侧，且配置于被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107923780B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201680049796.7
申请日：2016-07-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种精度优异的空气流量计，在具有校正输出的运算电路的空气流量计中，所述运算电路获取空气温度及传感器模块温度作为所述空气流量计的输出特性的调整要素，根据所述空气温度与所述传感器模块温度的温度差来校正输出特性，并且，在所述空气温度与所述传感器模块温度的差的绝对值较小时减小校正量。
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公开(公告)号：CN108138686B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201680057034.1
申请日：2016-09-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 在正负的浪涌被施加给电源线的情况下，也减少半导体装置产生误动作。在车载用半导体装置(100)中，调节器(102、102a)对从外部供应的电压(VE)进行变换而生成电压(V1、V2)。电压监视部由电压监视电路(104)和开关(107)构成，监视第一～第三电压。内部电路(103)具有通过电压(V1)进行动作的处理器(105)及通过电压(V2)进行动作并生成供应至处理器(105)的时钟信号(CLK)的振荡器(106)。电压监视部在第一～第三电压的至少任一个电压电平低于设定值时停止时钟信号(CLK)对处理器(105)的供应，在第一～第三电压的全部电压电平高于设定值时向处理器(105)供应时钟信号(CLK)。
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公开(公告)号：CN108351235B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201680058919.3
申请日：2016-10-17
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 在以往的空气流量测定装置中，在脉动误差的校正中使用快速傅里叶变换，所以，由于快速傅里叶变换所需的观测时间和运算时间，校正变迟，难以快速地跟随脉动状态的变化。本发明的空气流量测定装置由如下部件构成：产生与所测定的空气流量相应的输出信号(Vsen)的空气流量检测器(2)、从输出信号(Vsen)检测脉动振幅(Vp)的振幅检测器(3)、根据脉动振幅(Vp)的值而截止频率变化的LPF(4)以及进行LPF(4)的输出信号(Vlpf)和输出信号(Vsen)的波形运算的波形运算器(5)。此外，波形运算器(5)由乘法器(6、7)、加法器(8)和条件判定处理(9)构成。另外，LPF(4)由减法器(10)、乘法器(11)、加法器(12)、延迟元件(13)构成，通过使乘法器(11)的增益根据脉动振幅(Vp)而变化，从而截止频率根据脉动振幅(Vp)而变化。
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公开(公告)号：CN110678717A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201880020523.9
申请日：2018-03-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/00
Abstract: 本发明提供一种可以高速地跟随输入信号的脉动状态的变化的空气流量计。本发明的空气流量计(1)具备：空气流量检测元件(3)，其生成与作为测定对象的空气流量相关的输入信号(Qsen)；以及运算部(2)，其根据输入信号(Qsen)来进行用于生成与空气流量相应的输出信号(Qout)的运算。运算部(2)具有：输出信号运算部(7)，其对输出信号(Qout)进行包括比1大的乘方运算在内的运算；输入信号运算部(4)，其对输入信号(Qsen)进行运算；减法部(5)，其求出输出信号运算部(7)的运算结果与输入信号运算部(4)的运算结果的差分；以及积分器(6)，其对减法部(5)求出的差分进行积分，输出信号(Qout)根据来自积分器(6)的输出而生成。
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公开(公告)号：CN106605128B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201480081714.8
申请日：2014-09-16
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01D21/00 , H01L21/822 , H01L27/04
Abstract: 在现有的传感器装置中，存在难以兼顾汽车用传感器装置的输出端子所要求的EMC耐性和ESD耐性的问题。为此，本发明的一实施例的传感器装置(1)包括：提供电源的电源端子(2)和接地端子(3)；电特性与物理量相应地变化的传感元件(4)；处理来自传感元件(4)的输出信号的信号处理集成电路(14)；和输出由信号处理集成电路(14)处理后的输出信号的输出端子。另外，信号处理集成电路(14)包括：处理来自传感元件(4)的输出信号的信号处理电路(14)；连接于输出端子(4)与信号处理电路(14)之间的配置在绝缘膜上的电阻元件(6)；连接于输出端子(16)与接地端子(4)之间的彼此反向地串联连接的二极管元件(1、6)；和连接于电阻元件(8)的信号处理电路(1)侧与接地端子(3)之间的电容元件(12)。
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