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公开(公告)号：CN108444559A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810245607.4
申请日：2013-05-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明提供一种热式流量计，能够提高设置于热式流量计的温度检测器的测量精度，该热式流量计的特征在于，包括：用于使在主通路流动的被测量气体(30)流动的副通路；和具有测量在上述副通路流动的被测量气体(30)的流量的流量测量电路和检测上述被测量气体的温度的温度检测部(452)的电路封装(400)，并且，上述电路封装(400)在其内部具有以包覆上述流量测量电路的方式由树脂模塑而成形的电路封装主体和由树脂模塑而成形的突出部(424)，在上述突出部(424)的前端部设置上述温度检测部(452)，上述突出部的至少上述前端部从上述壳体(302)向外突出。
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公开(公告)号：CN104364616B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201380031521.7
申请日：2013-05-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/6842 , F02D41/187 , G01F1/6845 , G01F1/696 , G01F1/6965 , G01F1/698 , G01F1/699 , G01F5/00 , G01F15/006 , G01F15/02 , G01F15/04 , G01F15/043
Abstract: 本发明提供一种热式流量计，能够提高设置于热式流量计的温度检测器的测量精度，该热式流量计的特征在于，包括：用于使在主通路流动的被测量气体(30)流动的副通路；和具有测量在上述副通路流动的被测量气体(30)的流量的流量测量电路和检测上述被测量气体的温度的温度检测部(452)的电路封装(400)，并且，上述电路封装(400)在其内部具有以包覆上述流量测量电路的方式由树脂模塑而成形的电路封装主体和由树脂模塑而成形的突出部(424)，在上述突出部(424)的前端部设置上述温度检测部(452)，上述突出部的至少上述前端部从上述壳体(302)向外突出。
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公开(公告)号：CN107255494A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710407417.3
申请日：2013-05-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供减少用于将电路封装(400)保持固定于壳体(302)的固定部(3721)对电路封装(400)造成的应力，可靠性高的热式流量计(300)。本发明的热式流量计，由第1树脂模塑工序形成内置流量测量电路的电路封装(400)，由第2树脂模塑工序与壳体(302)一同形成固定部(3721)，由固定部(3721)包围电路封装(400)，由此将电路封装(400)保持固定于壳体(302)。为了减少基于固定部(3721)的温度变化产生的应力对电路封装(400)的影响，由厚壁部(4714)和薄壁部(4710)构成固定部(3721)。薄壁部(4710)的树脂厚度较薄，因此产生的应力小，能够减少施加于电路封装(400)的力。
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公开(公告)号：CN107063369A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710142628.9
申请日：2012-06-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/6965 , G01F15/14 , G01F1/692
Abstract: 本发明的目的在于提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计，通过第一树脂模塑工序对测量流量的电路封装(400)进行模塑，并且通过第二树脂模塑工序使具有入口槽(351)、正面侧副通路槽(332)、出口槽(353)等的壳体(302)树脂成形，并且同时在第二树脂模塑工序中用树脂包围通过第一树脂模塑工序制造的电路封装(400)的外周面，而将其固定在壳体(302)中。
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公开(公告)号：CN104364617B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380031673.7
申请日：2013-05-31
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/6965 , G01F15/14
Abstract: 本发明提供一种即使在为了在流量检测元件形成隔膜而设置有空隙的情况下，也能够抑制隔膜的变形和背面的污损所引起的计测精度的降低的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具有：用于使从主通路(124)导入的被计测气体被计测气体(30)之间进行热传递来计测被计测气体(30)的流量的流量检测元件。热式流量计(300)至少具有包括流量检测元件(602)的电路封装(400)。为了在流量检测元件(602)的流量检测区域(437)形成隔膜(672)，在流量检测元件(602)的背面形成有空隙(674)，空隙(674)是减压至低于大气压的密闭空间。(30)流动的副通路；和通过与在副通路中流动的
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103988056A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280060482.9
申请日：2012-11-19
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/692 , F01N11/002 , F01N2560/07 , F02D41/187 , G01F1/684 , G01F5/00 , G01F15/04
Abstract: 本发明提供高精度、高可靠性、且结构简单、更廉价的热式流量计，其包括：取入被测量流体的副通路；测量上述副通路内的被测量流体的流量的传感元件；检测被测量流体的温度的温度检测元件；控制上述传感元件的加热温度的驱动电路；保护上述驱动电路不受噪声影响的保护电路，在上述传感元件的基板，形成有空洞部，在上述空洞部上的薄膜部隔着电绝缘膜形成有发热电阻体，该热式流量计根据上述薄膜部的温度分布检测流量，上述传感元件和上述驱动电路安装于金属的引线框，上述传感元件、上述驱动电路和上述引线框通过将全周用热固化性树脂密封而被实施芯片封装，至少保护驱动电路的芯片部件和空气温度检测元件之任一者混装在上述芯片封装的内部。
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公开(公告)号：CN108444559B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201810245607.4
申请日：2013-05-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明提供一种热式流量计，能够提高设置于热式流量计的温度检测器的测量精度，该热式流量计的特征在于，包括：用于使在主通路流动的被测量气体(30)流动的副通路；和具有测量在上述副通路流动的被测量气体(30)的流量的流量测量电路和检测上述被测量气体的温度的温度检测部(452)的电路封装(400)，并且，上述电路封装(400)在其内部具有以包覆上述流量测量电路的方式由树脂模塑而成形的电路封装主体和由树脂模塑而成形的突出部(424)，在上述突出部(424)的前端部设置上述温度检测部(452)，上述突出部的至少上述前端部从上述壳体(302)向外突出。
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公开(公告)号：CN107110685B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201580062106.7
申请日：2015-11-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种在同一基片上形成有检测部和电路部的热式流体流量传感器，在检测部的层间绝缘膜形成较深的凹部、在其上形成具有拉伸应力的绝缘膜而进行应力调整时，能够防止因该绝缘膜产生裂缝等而导致热式流体流量传感器的可靠性降低的情况。其方案是在薄膜部上在形成于层间绝缘膜的凹部的侧壁设置阶梯状的台阶。由此减少构成凹部的第一凹部和第二凹部各自的深度，使覆盖凹部的侧壁和底面的调整应力用的绝缘膜的包覆性提高。
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公开(公告)号：CN106840291B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201710138074.5
申请日：2013-06-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/692 , B81B7/0016 , B81C1/00825 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01P5/12 , H01L21/565 , H01L28/20 , H01L2224/05553 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/49171 , H01L2924/10158 , H01L2924/181 , H01L2924/1815 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于在进行使半导体元件的一部分部分地露出的树脂封固的情况下，提高产品的可靠性。为了达成上述目的，本发明的热式空气流量传感器的特征在于，包括：半导体基板，其具有薄壁部、设置在上述薄壁部上的发热电阻体和设置在上述发热电阻体的上下游的测温电阻体；设置在上述半导体基板上的保护膜；和将上述半导体基板封固的树脂，上述树脂具有使包括上述薄壁部的区域部分地露出的露出部，上述保护膜设置成围绕上述发热电阻体，上述有机保护膜的外周端部比上述薄壁部靠外侧且位于上述露出部。
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公开(公告)号：CN104364618B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201380031685.X
申请日：2013-05-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/684 , F02D41/187 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/696 , G01F1/6965 , G01F1/698 , G01F1/699 , G01F5/00 , G01F15/006 , G01F15/02 , G01F15/04 , G01F15/043 , G01F15/14 , G01F15/185
Abstract: 本发明提供减少用于将电路封装(400)保持固定于壳体(302)的固定部(3721)对电路封装(400)造成的应力，可靠性高的热式流量计(300)。本发明的热式流量计，由第1树脂模塑工序形成内置流量测量电路的电路封装(400)，由第2树脂模塑工序与壳体(302)一同形成固定部(3721)，由固定部(3721)包围电路封装(400)，由此将电路封装(400)保持固定于壳体(302)。为了减少基于固定部(3721)的温度变化产生的应力对电路封装(400)的影响，由厚壁部(4714)和薄壁部(4710)构成固定部(3721)。薄壁部(4710)的树脂厚度较薄，因此产生的应力小，能够减少施加于电路封装(400)的力。
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