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公开(公告)号：CN109987569A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910215984.8
申请日：2015-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00 , G01C19/5733 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及具有对由于诸如正交分量之类的扰动力所致的误差补偿的微机电设备。MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。
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公开(公告)号：CN117948955A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311420098.1
申请日：2023-10-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649 , G01C19/5663
Abstract: 本公开涉及具有沿竖直轴线的角速度检测的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪具有检测结构，该检测结构具有可移动结构，该可移动结构悬置在衬底上方，以便根据围绕竖直轴线的角速度来执行沿第一水平轴线的感测移动。该可移动结构具有至少一个驱动质量块，该驱动质量块在内部限定窗口，该窗口在锚定区域处通过弹性锚定元件弹性地耦合到转子锚；至少一个桥元件，该桥元件是刚性的并且由导电材料制成，悬臂式悬置并且在该窗口内沿着该第一水平轴线延伸，弹性地耦合到该驱动质量块上；可移动电极，由具有沿着第二水平轴线的延伸部的桥元件整体地承载。
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公开(公告)号：CN116448087A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310041100.8
申请日：2023-01-11
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开的实施例涉及具有面外检测运动的微机电陀螺仪。微机电陀螺仪设置有检测结构，该检测结构具有：具有平行于水平面的顶表面的衬底；一个可移动质量，该可移动质量被悬置在该衬底上方以根据围绕该水平面的一个第一轴线的一个第一角速度来执行围绕该水平面的一个第二轴线的旋转的至少一个第一检测移动；以及第一定子元件和第二定子元件，所述第一定子元件和所述第二定子元件与所述衬底成一体并且布置在所述移动质量下方以限定电容耦合，所述第一定子元件和所述第二定子元件的电容值表示所述第一角速度。
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公开(公告)号：CN110514190B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201910816648.9
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN115435777A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210625074.9
申请日：2022-06-02
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C21/16
Abstract: 本公开的实施例涉及惯性测量电路、对应的装置以及方法。在一个实施例中，一种电路包括：惯性测量单元，被配置为经由由驱动电路装置提供的驱动信号振荡；锁相放大器，被配置为从惯性测量单元接收感测信号和作为驱动信号的函数的参考解调信号，并且基于感测信号提供惯性测量信号，其中参考解调信号受可变相位误差的影响；相位计电路装置，被配置为接收驱动信号和感测信号，并且作为驱动信号和感测信号之间的相位差的函数来提供；用于所述参考解调信号的相位校正信号和校正节点，所述校正节点被配置为将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，使得响应于将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，所述相位误差被保持在参考值附近。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115385297A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210572155.7
申请日：2022-05-24
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及制造电子器件的方法以及对应的电子器件。微机电器件包括衬底，第一结构层和半导体材料的第二结构层。感测质量块在第一结构层中延伸，并且通过第一弹性连接件耦合到衬底，以使得感测质量块能够在垂直于衬底的感测方向上相对于感测质量块的静止位置振荡最大量。平面外止动结构包括固定到衬底上的锚和机械行程端结构，该机械行程端结构在第二结构层中延伸，面向感测质量块，并通过宽度小于感测质量块的最大位移距离的间隙与感测质量块隔开。机械行程末端结构通过第二弹性连接件连接到锚，该第二弹性连接件使得机械行程末端结构能够响应于感测质量块的冲击而沿感测方向运动。
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公开(公告)号：CN107179074A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201610877204.2
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种微机械检测结构(20)，包括：半导体材料的衬底(2)；驱动质量体布置(4a‑4c)，耦合至驱动电极集合(7a‑7c)并且在驱动电极集合的电偏置之后在驱动移动中被驱动；第一锚固单元(5a‑5c,6a‑6c)，耦合至驱动质量体布置以用于在第一锚固部(5a‑5c)处将驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)；被驱动质量体布置(10,30)，通过耦合单元(22a‑22b)弹性地耦合至驱动质量体布置并且被设计为由驱动移动所驱动；以及第二锚固单元(14,34)，耦合至被驱动质量体布置以用于在第二锚固部(17,37)处将被驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)。在驱动移动之后，在第一和第二锚固部处施加于衬底(2)上的力和扭矩的合量基本上为零。
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公开(公告)号：CN106066175A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201510860425.4
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN118108173A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311603477.4
申请日：2023-11-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B7/02 , B81C99/00 , B81C1/00 , G01C19/5733 , G01C19/5769
Abstract: 一种微机电器件包括：支撑体；至少一个可移动质量块，由半导体材料制成，该至少一个可移动质量块被弹性地约束至支撑体，从而能够振荡；固定检测电极，被刚性地连接至所述支撑体，并且被电容性地耦合至至少一个可移动质量块；以及至少一个测试结构，由半导体材料制成，该至少一个测试结构被刚性地连接至所述支撑体，并且不同于固定检测电极。测试结构被电容性地耦合至至少一个可移动质量块，并且被配置为响应于测试结构与至少一个可移动质量块之间的电压，向至少一个可移动质量块施加静电力。
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公开(公告)号：CN109987569B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201910215984.8
申请日：2015-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00 , G01C19/5733 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及具有对由于诸如正交分量之类的扰动力所致的误差补偿的微机电设备。MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。
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