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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101571603A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200910052374.7
申请日：2009-06-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种应用飞秒激光在石英玻璃基底上制备微光学元件的方法，其特征在于包括下列步骤：飞秒激光辐照、化学腐蚀和氢氧焰抛光三步，本发明方法可以实现任意面型，包括平面、标准球面、非球面等的加工；氢氧火焰抛光，生成物只有水，对环境友好，抛光速度快，同时避开了物理接触、化学反应，火焰的高温可以修复微加工造成的晶格损伤，解决了普通抛轮无法解决的难题。
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公开(公告)号：CN118492638A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202310127914.3
申请日：2023-02-16
Applicant: 张江国家实验室
IPC: B23K26/36 , B23K26/03 , B23K26/064
Abstract: 本申请涉及电极技术领域，公开了一种金属性短路修复方法、系统、电极制备方法及电极，该电极修复方法应用于激光控制器，包括：获取待修复电极的采集图像，根据所述采集图像确定所述待修复电极的修复区域，其中，所述修复区域中分布有金属残留物；基于修复区域，确定载物台的移动路径；针对所述待修复电极进行飞秒激光辐照，并控制载物台按照所述移动路径移动，以使飞秒激光汇聚于金属残留物；其中，待修复电极固定于载物台上。由于飞秒激光脉冲持续时间短、瞬时功率高、加工结构精细，能够精准、有效地对金属残留物进行烧蚀，即使在修复时聚焦错点位，也不会对绝缘层造成较大的损伤破坏，通过选择性烧蚀，精准地对电极进行金属性短路修复。
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公开(公告)号：CN118123232A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202211542944.2
申请日：2022-12-02
Applicant: 张江国家实验室
IPC: B23K26/21 , B23K26/70 , B23K101/36
Abstract: 本申请实施例提供了一种激光焊接装置和方法，涉及集成电路技术领域，该激光焊接装置包括：空间光调制器、至少一个透镜。空间光调制器对入射的目标激光束进行调制并输出调制光束。至少一个透镜对调制光束进行傅里叶变换并输出目标焊接光束，目标焊接光束绕过待焊接的元器件并将光束焦点置于元器件与印制线路板之间的焊接材料处，实现元器件与印制线路板之间的焊接。采用空间光调制器对激光束进行调制，并将获得的调制光束输入至少一个透镜进行傅里叶变换，获得可以绕过元器件的目标焊接光束，故针对印制线路板上被元器件遮挡的焊点也能实现准确焊接，从而增加了激光焊接技术在微型电子器件加工方面的适用范围，提高了激光焊接的精度和效率。
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公开(公告)号：CN118699545A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202310310133.8
申请日：2023-03-27
Applicant: 张江国家实验室
IPC: B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种基于飞秒激光制备的柔性神经电极及方法，将MEMS工艺与飞秒激光加工制造相结合，可无掩膜形成高密度、线路长的导线，以得到高加工精度、高成品率、高密度、高通量、具有三维结构的柔性神经电极，可消除MEMS工艺的局限性，扩大柔性神经电极的应用。
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公开(公告)号：CN117840533A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202211211304.3
申请日：2022-09-30
Applicant: 张江国家实验室
IPC: B23K1/005 , B23K3/08 , H05K3/34 , B23K101/42
Abstract: 本发明提供一种激光焊锡装置、方法及柔性电子器件的焊锡系统，包括：时空啁啾产生模块，提供一束具有空间啁啾特性的激光束；时空聚焦激光焊锡模块，使具有空间啁啾特性的激光束在聚焦物镜焦平面松散聚焦，且具有空间啁啾特性的激光束中不同频率的光在聚焦物镜焦平面重合并达到最短脉宽；监测模块，对时空聚焦激光焊锡模块的激光焊锡过程进行实时监测。本发明将飞秒激光引入激光焊锡，热效应极小，显著提高BGA焊锡的密度和精度；对入射激光脉冲进行时空特性整形，改变了物镜焦区的光强分布，实现高精度无扫描激光焊锡，从而大大提高焊锡效率且不影响电路性能；具有高通量和高精度的特点，在柔性电子器件封装领域具有重要应用价值。
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