-
公开(公告)号：CN107748402B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201710960370.3
申请日：2017-10-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种双盘光学回音壁模式铌酸锂微腔，该微腔自上而下依次是第一铌酸锂圆盘、二氧化硅薄盘、第二铌酸锂圆盘、二氧化硅支柱和铌酸锂基底，及其制备方法，包括制备五层薄膜、加工柱状结构和化学腐蚀步骤。本发明双盘光学回音壁模式铌酸锂微腔具有极高的表面光洁度、小的模式体积与高的品质因子(实测105，理论值可达107)。
-
公开(公告)号：CN110208906A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910424010.0
申请日：2019-05-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于反应离子刻蚀的薄膜微光学结构的制备方法，将飞秒激光加工技术、反应离子刻蚀与化学机械抛光技术相结合，使得片上大尺寸高品质微光学器件的制备和大规模集成为可能。制备方法主要包括在薄膜表面镀金属层、飞秒激光选择性烧蚀金属膜或光刻选择性去除金属膜、化学机械抛光、电感耦合等离子体刻蚀等。本发明方法制备的片上微光学器件具有极高的表面光洁度，极低的光学损耗。该方法适用于在各种片上薄膜(包含但不限于铌酸锂单晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金刚石薄膜等)上制备高品质的微光学结构(包含但不限于微盘腔、微环腔、光波导及其耦合器件)。
-
公开(公告)号：CN107335923B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710433180.6
申请日：2017-06-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B23K26/352 , B23K26/046
Abstract: 一种飞秒激光时空聚焦金属表面高通量加工装置和加工方法，本方明的核心是利用时空聚焦技术对飞秒激光脉冲进行空间整形，操控飞秒激光聚焦光斑实现较大尺寸并且有效避免空气电离，在金属材料表面实现高通量结构加工。与普通的空间聚焦相比，时空聚焦整形后的飞秒激光脉冲与材料相互作用能有效地抑制焦点处飞秒光束的非线性自聚焦效应，从而避免自聚焦和光电离等非线性过程对金属材料表面结构加工质量的影响。本发明具有简单、有效、高速的特点，能够实现高通量精密结构加工，在激光表面加工和打标等领域有重要的潜在应用价值。
-
公开(公告)号：CN108710267A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810490930.8
申请日：2018-05-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于光刻和化学机械抛光的薄膜微光学结构的制备方法，包括在薄膜表面镀金属层、光刻选择性去除金属膜、化学机械抛光以及化学腐蚀等步骤。本发明方法制备的片上微光学器件具有极高的表面光洁度，极低的光学损耗。该方法适用于各种片上薄膜(包含但不限于铌酸锂单晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金刚石薄膜等)上制备高品质的微光学结构(包含但不限于微盘腔、微环腔、光波导及其耦合器件)。
-
公开(公告)号：CN107748402A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710960370.3
申请日：2017-10-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种双盘光学回音壁模式铌酸锂微腔，该微腔自上而下依次是第一铌酸锂圆盘、二氧化硅薄盘、第二铌酸锂圆盘、二氧化硅支柱和铌酸锂基底，及其制备方法，包括制备五层薄膜、加工柱状结构和化学腐蚀步骤。本发明双盘光学回音壁模式铌酸锂微腔具有极高的表面光洁度、小的模式体积与高的品质因子(实测105，理论值可达107)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117270283A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311122741.2
申请日：2023-09-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种在基模呈正常色散的光学微盘腔产生孤子微梳的方法，包括：圆对称的光学微盘腔，其回音壁模式基模呈正常色散，且包含大量的空间高阶回音壁模式，用于产生腔增强的非线性光学信号；与光学微盘腔耦合的光波导或锥形光纤，用于将泵浦光耦合进微腔并将信号光耦合出微腔，同时对微腔的模式引入弱微扰，打破了微腔的空间旋转对称性，在维持微腔模式高品质的条件下，将高度简并的回音壁模式高阶模相干合成具有合适反常色散的多边形模式，微扰量可通过设计或调节耦合位置和泵浦光波长控制；对光学微腔的多边形模式进行泵浦，基于级联四波混频过程，产生克尔孤子光梳。
-
公开(公告)号：CN110220676B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201910503966.X
申请日：2019-06-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于分束器的波导传输损耗的测量装置和测量方法，包括：分束器，该分束器的输出端集成第一输出臂和第二输出臂，分束器包括依次连接的第一马赫‑曾德尔干涉仪、相移器和第二马赫‑曾德尔干涉仪；第一马赫‑曾德尔干涉仪和第二马赫‑曾德尔干涉仪均由两个相同定向耦合器及连接这两个定向耦合器的两根单模波导干涉臂组成，相移器由两根单模波导干涉臂组成；定向耦合器由二根中间耦合的单模波导组成，该定向耦合器的分光比落在15％：85％到85％：15％范围内。本发明适用测试的单模波导种类多，包括但不限于铌酸锂波导、硅基波导、融石英波导等；可测的最低传输损耗可低于0.001dB/cm，具有精确测量的特点。
-
公开(公告)号：CN108710267B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201810490930.8
申请日：2018-05-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于光刻和化学机械抛光的薄膜微光学结构的制备方法，包括在薄膜表面镀金属层、光刻选择性去除金属膜、化学机械抛光以及化学腐蚀等步骤。本发明方法制备的片上微光学器件具有极高的表面光洁度，极低的光学损耗。该方法适用于各种片上薄膜(包含但不限于铌酸锂单晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金刚石薄膜等)上制备高品质的微光学结构(包含但不限于微盘腔、微环腔、光波导及其耦合器件)。
-
公开(公告)号：CN108873172A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810700395.4
申请日：2018-06-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G02B6/26 , B81B1/00 , B81C1/00023
Abstract: 一种片上电可调高品质薄膜微光学器件的制备方法，包括在薄膜表面镀金属层、飞秒激光选择性烧蚀金属膜、化学机械抛光、表面镀介质膜封装以及电极制备等步骤。本发明方法制备的片上微光学器件具有极高的表面光洁度，极低的光学损耗，并且能通过电极进行电光调制或电热调制。该方法适用于各种片上薄膜(包含但不限于铌酸锂单晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金刚石薄膜等)上制备高品质的电可调微光学结构(包含但不限于微环腔、光波导及其耦合器件)。
-
公开(公告)号：CN107335923A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710433180.6
申请日：2017-06-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B23K26/352 , B23K26/046
CPC classification number: B23K26/352 , B23K26/046
Abstract: 一种飞秒激光时空聚焦金属表面高通量加工装置和方法，本方面的核心是利用时空聚焦技术对飞秒激光脉冲进行空间整形，操控飞秒激光聚焦光斑实现较大尺寸并且有效避免空气电离，在金属材料表面实现高通量结构加工。与普通的空间聚焦相比，时空聚焦整形后的飞秒激光脉冲与材料相互作用能有效地抑制焦点处飞秒光束的非线性自聚焦效应，从而避免自聚焦和光电离等非线性过程对金属材料表面结构加工质量的影响。本发明具有简单、有效、高速的特点，能够实现高通量精密结构加工，在激光表面加工和打标等领域有重要的潜在应用价值。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
20
records
(took 0.029 seconds)
