公开(公告)号：CN114026364A

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN202080046722.4

申请日：2020-06-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： H·桑达拉拉贾恩 ,  张寿松 ,  吴昊晟 ,  P·D·巴特菲尔德 ,  唐建设 ,  C·波拉德

IPC: F22D5/26 ,  B08B1/00 ,  F22B1/28 ,  B08B3/10 ,  B08B13/00 ,  F22B37/46

Abstract: 一种蒸汽产生设备包括具有进水口和蒸汽出口的罐。蒸汽产生设备在罐中包括屏障，屏障将罐分成下部腔室和上部腔室。下部腔室被定位成从进水口接收水。蒸汽出口阀从上部腔室接收蒸汽。屏障具有孔，孔用于蒸汽从下部腔室传递到上部腔室，并且允许冷凝水从上部腔室传递到下部腔室。蒸汽产生设备包括加热组件，加热组件配置成向下部腔室的一部分施加热量。蒸汽产生设备包含控制器，控制器被配置为修改通过进水口的水的流速，以将水位保持在加热组件上方和蒸汽出口下方。