微振荡元件
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101135774B

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200710148152.6

    申请日:2007-08-28

    CPC classification number: H02N1/008

    Abstract: 一种微振荡元件,其有利于调整与振荡部的振荡运动相关联的固有频率。该微振荡元件包括:例如振荡部、框架、以及连接该振荡部和框架的连接部。该连接部限定出该振荡部相对于该框架的振荡运动的振荡轴中心。该连接部包括多个平行设置的扭杆,且选自多个所述扭杆中的两个扭杆设置成能相互靠近或相互远离地移动。

    微振荡元件
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1782779A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200510125085.7

    申请日:2005-11-18

    CPC classification number: H02N1/008 G02B26/0841

    Abstract: 一种微振荡元件,包括框架以及经扭转接合部件连接到框架的振荡部件。振荡部件包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极。臂部件从可移动操作部件延伸。第一梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从臂部件延伸的多个第一电极齿。微振荡元件还包括第二梳齿电极,以与第一梳齿电极配合使得振荡部件绕着扭转接合部件限定的振荡轴振荡。第二梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从框架延伸的多个第二电极齿。

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