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公开(公告)号：CN101152955B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200710161860.3
申请日：2007-09-24
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: B81C1/00682 , B81B2203/0136 , Y10T428/24025 , Y10T428/2457 , Y10T428/24612
Abstract: 一种微结构器件的制造方法及其制造的微结构器件，该微结构器件通过处理材料衬底而制成，该材料衬底例如由第一工艺层、第二工艺层以及设置在第一工艺层与第二工艺层之间的中间层构成。该微结构部件包括第一结构部件和第二结构部件，该第二结构部件具有隔着间隙面对第一结构部件的部分。第一结构部件和第二结构部件通过跨过间隙延伸的连接部件彼此连接。连接部件形成在第一工艺层中并且与中间层相接触。该微结构器件还包括保护部件，该保护部件从该第一结构部件向第二结构部件延伸或反之。保护部件形成在第一或第二工艺层中并且与中间层相接触。
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公开(公告)号：CN100373210C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200510125068.3
申请日：2005-11-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 本发明提供一种微振荡元件，其由材料衬底一体地形成，该材料衬底由第一导电层、第二导电层以及置于第一导电层和第二导电层之间的绝缘层制成。该微振荡元件包括：振荡部件、振荡部件支撑框架以及扭转接合部件。该振荡部件包括可移动操作部件。该扭转接合部件将该振荡部件与该框架接合，还限定用于该振荡部件作振荡运动的振荡轴。该可移动操作部件是形成在该第一导电层中的一部分，而该框架是形成在该第二导电层中的一部分。
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公开(公告)号：CN1322352C
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200410078620.3
申请日：2004-09-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件包括框架、可动功能部件、驱动机构、从该功能部件延伸到该驱动机构的横梁、以及使该框架和该横梁相互连接的扭转接头。该接头限定了一个旋转轴，该功能部件绕该旋转轴旋转。该旋转轴与该横梁的纵向垂直。在该旋转轴纵向上该横梁比该功能部件短。
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公开(公告)号：CN1771191A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN03826364.5
申请日：2003-04-25
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01P15/0802 , G02B26/0841
Abstract: 用于制造具有薄壁部(T1～T3)的微型结构体的方法，包含如下工序：通过对包含由第一导体层(11)以及具有与薄壁部(T1～T3)的厚度相当的厚度的第二导体层(12)构成的层叠结构的材料基板，从第一导体层(11)侧进行第一蚀刻处理，从而在第二导体层(12)中形成了在该第二导体层(12)的面内方向上具有间隔开的一对侧面并与第一导体层(11)连接的预备薄壁部(T1’～T3’)的工序；通过从第一导体层(11)侧起的第二蚀刻处理，除去在第一导体层(11)中与预备薄壁部(T1’～T3’)连接的地方并形成薄壁部的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100515921C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN03826364.5
申请日：2003-04-25
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01P15/0802 , G02B26/0841
Abstract: 用于制造具有薄壁部(T1～T3)的微型结构体的方法，包含如下工序：通过对包含由第一导体层(11)以及具有与薄壁部(T1～T3)的厚度相当的厚度的第二导体层(12)构成的层叠结构的材料基板，从第一导体层(11)侧进行第一蚀刻处理，从而在第二导体层(12)中形成了在该第二导体层(12)的面内方向上具有间隔开的一对侧面并与第一导体层(11)连接的预备薄壁部(T1’～T3’)的工序；通过从第一导体层(11)侧起的第二蚀刻处理，除去在第一导体层(11)中与预备薄壁部(T1’～T3’)连接的地方并形成薄壁部的工序。
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公开(公告)号：CN100383594C
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200510125085.7
申请日：2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件，包括框架以及经扭转接合部件连接到框架的振荡部件。振荡部件包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极。臂部件从可移动操作部件延伸。第一梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从臂部件延伸的多个第一电极齿。微振荡元件还包括第二梳齿电极，以与第一梳齿电极配合使得振荡部件绕着扭转接合部件限定的振荡轴振荡。第二梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从框架延伸的多个第二电极齿。
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公开(公告)号：CN1318878C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN02829427.0
申请日：2002-08-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058
Abstract: 一种微型摇动元件，具有框架(113)和通过连结部(112)与该框架(113)连结的摇动部件(111)。各连结部(112)包含2个扭杆(112a)，各扭杆(112a)形成多个孔(112b)，由此，按照朝向框架(113)刚性相对高、且朝向摇动部件(111)刚性相对低的方式构成。
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公开(公告)号：CN1316281C
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200410085274.1
申请日：2004-10-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: B81B7/0006 , B81B2201/042 , G02B26/0841
Abstract: 一种微镜元件，包括微镜基板、布线基板、以及置于所述两基板之间的导电衬垫。该微镜基板整体地形成有框、具有镜部的活动部分、以及将该框连接到该活动部分的扭杆。该布线基板设有布线图案。该导电衬垫将该微镜基板从该布线基板隔离，并且将该框电连接到该布线图案。该布线基板具有朝向该微镜基板的表面。在该表面上设有检测器，用于检测该镜部的旋转角，该检测器包括光源以及二维光接收器。
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公开(公告)号：CN1696759A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200410085274.1
申请日：2004-10-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: B81B7/0006 , B81B2201/042 , G02B26/0841
Abstract: 一种微镜元件，包括微镜基板、布线基板、以及置于所述两基板之间的导电衬垫。该微镜基板整体地形成有框、具有镜部的活动部分、以及将该框连接到该活动部分的扭杆。该布线基板设有布线图案。该导电衬垫将该微镜基板从该布线基板隔离，并且将该框电连接到该布线图案。该布线基板具有朝向该微镜基板的表面。在该表面上设有检测器，用于检测该镜部的旋转角。
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