声波器件
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101232276B

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:CN200810003957.6

    申请日:2008-01-23

    CPC classification number: H03H3/08 H01L2224/11

    Abstract: 本发明提供了一种声波器件,其具有以高成品率实现的增强结构。所述声波器件包括:形成在基底上的声波元件;设置在所述基底上以在所述声波元件上方形成空腔的第一密封部分;以及设置在所述第一密封部分上的第二密封部分,其中,所述台阶具有圆化的拐角部分,所述第一密封部分具有第三密封部分和第四密封部分,所述第三密封部分设置在所述基底上以围绕所述声波器件的功能部分,所述第四密封部分设置在所述第三密封部分上以在所述功能部分上方形成所述空腔;并且所述第三密封部分比所述第四密封部分更宽。

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