感光性组合物
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101183217B

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN200710187255.3

    申请日:2007-11-15

    CPC classification number: G03F7/0388 G03F7/029 G03F7/031

    Abstract: 一种感光性组合物,其特征在于,其通过插入光掩模曝光产生紫外线的灯所发出的光的一次性曝光法、或者通过使用产生紫外线的灯所发出的光或激光的直接描绘法形成图案潜像,用碱性水溶液使该图案潜像显影化,其中,其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度,在355~405nm的波长范围的吸光度的最大值与最小值之差在0.3以内,以及将该组合物涂布于载体膜上之后干燥得到的干膜。

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