公开(公告)号：CN105940140B

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201480074226.4

申请日：2014-11-28

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 越智贵志 ,  井上智 ,  小林勇毅 ,  松永和树 ,  川户伸一 ,  菊池克浩 ,  市原正浩 ,  松本荣一

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0002 ,  C23C14/042 ,  C23C14/044 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/546 ,  C23C16/455 ,  C23C16/50 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。

公开(公告)号：CN107006096A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063591.X

申请日：2015-11-20

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 小原将纪 ,  內田秀树 ,  菊池克浩 ,  井上智 ,  塚本优人 ,  松永和树 ,  小池英士

IPC: H05B33/26 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22

CPC classification number: H01L51/5262 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L27/3213 ,  H01L27/3288 ,  H01L51/50 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/5212 ,  H01L51/5218 ,  H01L51/5228 ,  H01L51/5234 ,  H01L51/5271 ,  H01L2251/5315 ,  H05B33/26

Abstract: 发光元件在一个发光区域(13)内至少具有，具备挖掘形状的，依次相互接触而层叠有第一电极(41)、EL层(42)、第二电极(43)的第一沟槽部(41TR1)，第一电极(41)以及第二电极(43)其中一方含有反射电极，在反射电极的靠近于EL层(42)侧的表面上设有衍射表面等离子体的亚微米级的凹凸部。

公开(公告)号：CN106717121A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201580049404.2

申请日：2015-09-10

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 小池英士 ,  内田秀树 ,  菊池克浩 ,  矶村良幸 ,  井上智 ,  塚本优人 ,  小原将纪 ,  松永和树

IPC: H05B33/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5271 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/5036 ,  H01L51/5056 ,  H01L51/5072 ,  H01L51/5088 ,  H01L51/5092 ,  H01L51/5268 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明的有机EL装置(1)具备基材(2)、第一构造部(35)和第二构造部(36)。第一构造部(35)具备：凹部(9)、沿着凹部(9)的内表面设置的反射层(3)、隔着反射层(3)填充在凹部(9)的内侧的填充层(12)、第一电极(4)、包含发光层的有机层(5)和第二电极(6)。第二构造部(36)具备：设置于基材(2)的平坦面的反射层(3)、第一电极(4)、包含发光层的有机层(5)和第二电极(6)。

公开(公告)号：CN106574358A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580041850.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 越智贵志 ,  川户伸一 ,  小林勇毅 ,  松永和树 ,  菊池克浩 ,  市原正浩 ,  松本荣一

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  H01L51/001 ,  H01L51/50 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

Abstract: 在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。

公开(公告)号：CN105794320A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480066214.7

申请日：2014-09-17

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 松永和树 ,  菊池克浩 ,  川户伸一 ,  井上智 ,  小林勇毅 ,  越智贵志

IPC: H05B33/10 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0017 ,  H01L51/5012

Abstract: 本发明提供能够防止混色的发生、提高显示品质并且提高制造效率的有机EL显示面板的制造方法。本发明的有机EL显示面板的制造方法依次包括以下工序：在第一像素形成显示第一发光色的发光材料的膜而形成第一发光层的工序(1)；对包含相邻的第一像素和第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第一发光层，将在上述工序(1)中附着于上述第二像素的比上述第一发光层薄的显示上述第一发光色的发光材料的薄膜除去的工序(2)；在上述第二像素形成显示与上述第一发光色不同的第二发光色的发光材料的膜而形成第二发光层的工序(3)；和对包含上述第一像素和上述第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第二发光层，将在上述工序(3)中附着于上述第一像素的比上述第二发光层薄的显示上述第二发光色的发光材料的薄膜除去的工序(4)。