公开(公告)号：CN101424948B

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN200810173857.8

申请日：2008-10-29

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 中田明子 ,  加藤启介 ,  杉野彰仁 ,  土居广树

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/34

CPC classification number: G01F25/0038 ,  G01F25/0053

Abstract: 流量检验故障诊断设备。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统，该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元，该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件，该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式，由此能够增强流量检验的可靠性。

公开(公告)号：CN101438091A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200680054549.2

申请日：2006-06-02

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 守谷修司 ,  长冈秀树 ,  冈部庸之 ,  板藤宽 ,  土居广树 ,  伊藤稔

IPC: F16L41/02 ,  F16K27/00 ,  F17D5/00

CPC classification number: F17D1/04 ,  Y10T137/87177 ,  Y10T137/87885

Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12－17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2－6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。

公开(公告)号：CN100454200C

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200480016146.X

申请日：2004-06-04

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 河野哲儿郎 ,  土居广树 ,  伊藤稔 ,  长冈秀树 ,  伊藤惠贵 ,  远藤宏纪 ,  岛津强 ,  广濑润 ,  胜又治 ,  三浦和幸 ,  北泽贵

IPC: G05D16/20

CPC classification number: G05D16/206 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87877

Abstract: 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。