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公开(公告)号：CN119267485A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528393.3
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于垂直磁化空间电磁阵列的重载精密隔微振刚度调控构型属于精密隔振技术领域。垂直磁化空间电磁阵列利用由2n+1(n≥1，n∈N+)层沿轴向阵列布置、相邻层间垂直磁化的等截面磁环构成的动磁环阵列与定磁环阵列同轴嵌套构建单边高磁密磁场，实现高负刚度特性；并采用加速度反馈控制算法调控线圈中通电电流的大小与方向，以产生精密可控的励磁磁通，动态调节负刚度值。垂直磁化空间电磁阵列与大型气浮隔微振器并联支撑负载平台，可在变重载下产生局部低动态刚度特性，有效降低隔振固有频率，将隔振频带拓展至近全频域，为超精密光刻机、高分辨卫星相机、超精密机床等尖端仪器设备提供“超静”的工作环境，从而有力推动精密仪器设备精度的跨越式提升。
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公开(公告)号：CN115217893B8
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202210835009.9
申请日：2022-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02 , F16F15/027 , F16F15/03 , B60P7/16 , G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种精密设备主动气磁隔振与主动阻尼转运装置，属于转运设备技术领域，其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、高度检测与控制装置和处理器，所述隔振平台支撑被转运设备，还包括主动阻尼单元、限位单元和电磁负刚度隔振单元，所述气浮隔振单元、主动阻尼单元、限位单元、高度检测与控制装置和电磁负刚度隔振单元分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振，采用正负刚度并联的形式降低了起始隔振频率，添加主动阻尼单元和限位单元提高了隔振性能，实现了强冲击作用下的安全防护，解决了现有技术不能在精密设备转运过程中实现三向精密隔振与冲击防护的问题。
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公开(公告)号：CN115217893A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210835009.9
申请日：2022-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02 , F16F15/027 , F16F15/03 , B60P7/16 , G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种精密设备主动气磁隔振与主动阻尼转运装置，属于转运设备技术领域，其技术方案包括车架、隔振平台、气浮隔振单元、高度检测与控制装置和处理器，所述隔振平台支撑被转运设备，还包括主动阻尼单元、限位单元和电磁负刚度隔振单元，所述气浮隔振单元、主动阻尼单元、限位单元、高度检测与控制装置和电磁负刚度隔振单元分别在车架的上底面和四个内侧面与所述隔振平台间并联间隔设置若干个。通过隔振单元的三向布置实现了三向隔振，采用正负刚度并联的形式降低了起始隔振频率，添加主动阻尼单元和限位单元提高了隔振性能，实现了强冲击作用下的安全防护，解决了现有技术不能在精密设备转运过程中实现三向精密隔振与冲击防护的问题。
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公开(公告)号：CN111734767A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010605223.6
申请日：2020-06-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电磁负刚度结构的空气弹簧隔振器属于精密隔振技术领域，包括双腔室空气弹簧隔振器和电磁负刚度结构，电磁负刚度结构同轴嵌套在双腔室空气弹簧隔振器的主气室内，主气室的底部设置环形橡胶垫，主气室与附加气室之间均匀设置2～10个节流孔；电磁负刚度结构由内定磁环、关于内定磁环的轴向高度中心对称布置的上动磁环与下动磁环、外定磁环同轴嵌套构成，上动磁环与下动磁环沿轴向反向磁化，内定磁环与外定磁环的轴向高度中心在同一水平线上，且沿径向反向磁化；本发明固有频率低，阻尼系数大，集成度及稳定性高。
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