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公开(公告)号：CN117519311A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311646680.X
申请日：2023-12-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/20
Abstract: 一种超精密运动台垂向三自由度静态解耦迭代校正方法，属于超精密运动控制领域。所述三自由度分别为Z‑垂向平动运动自由度，Rx‑绕X轴的旋转运动自由度，Ry‑绕Y轴的旋转运动自由度；所述方法的校正对象是m×n维的静态控制解耦矩阵初始值H0，m为执行器数量，n为运动自由度；对于通过三个执行器控制垂向三自由度的运动台，m＝n＝3；与基于前馈补偿的控制解耦迭代整定方法相比，本发明公开的静态控制解耦矩阵迭代校正方法不需要额外增加前馈通道来补偿耦合误差，不增加控制系统复杂度，而且可以改善逻辑被控对象的动力学特性。
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公开(公告)号：CN116700151A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310860404.7
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 一种精密运动平台运动轨迹规划系统及其参数整定方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器的输出为参考轨迹，参考轨迹经柔性系统获得系统输出，且柔性系统的共振频率、阻尼系数及系统输出的残余振荡的信息共同提供给轨迹生成器以修正参考轨迹。方法如下：建立非对称S曲线；获得柔性系统的极点；获得运动轨迹的零点，并建立零残余振动约束下的复频域方程组；求残余振动为零时的参数值；选择最优的参数值。本发明解决了传统精密运动平台运动轨迹规划大多采用恒加、减速的方式，运动轨迹容易激励柔性结构振动模态造成残余振动甚至物理损伤的问题，同时解决了传统柔性结构残余振动抑制需添加额外的减震装置，重量增加和经济成本较高的问题。
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公开(公告)号：CN105160069B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201510474812.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于改进的紧凑式教学优化算法的机械参数软测量方法，涉及制造领域的机械安装参数软测量。为了解决系统零件安装完成后用传统的传感器和测量方法常常难于测量其安装机械参数的问题。所述方法包括：建立待测系统模型，确定需测量的机械参数；测量系统模型中可以直接测得的参数，代入系统模型中，建立模型方程；建立优化算法目标函数；测量待测系统的n组输入和对应的n组输出，代入目标函数；采用改进的紧凑式教学优化算法迭代过程；将获得的结果对应到需测量的机械参数。本发明用于机械系统中测量机械参数。
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公开(公告)号：CN104960676B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510409027.0
申请日：2015-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 多自由度气浮平台稳压装置及稳压方法，属于全物理仿真领域，本发明为解决现有多自由度气浮平台的控制结构复杂、控制精度较差、稳压能力较弱的问题。本发明所述多自由度气浮平台的稳压装置包括气浮轴，气浮轴包括气浮轴承外套和气浮轴承内套，气浮轴承内套安装在气浮轴承外套中空气腔里，且气浮轴承内套沿气浮轴承外套内侧壁作垂直方向运动；气浮轴承内套上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套内侧壁上安装有喷嘴；气浮轴承外套内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器；喷嘴和压力传感器位于气浮轴承内套与气浮轴承外套下端之间；它还包括气瓶、一级减压阀、二级减压阀、比例电磁阀、三级减压阀、开关和基准气腔。本发明用于全物理仿真试验。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103847986B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410128695.1
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 带有随动线缆台的气浮台，属于航天器的仿真测试设备技术领域。本发明为了解决现有气浮台由于供气的高压气瓶的容量有限，而造成其运行时间短的问题。它包括气浮、测量、随动线缆台、载物台及上位机五个部分，底座上所有的部件均处于气浮状态，两个随动线缆台用于提供外部的气路和电路的接口，由此保障模拟工作持续的进行，运行时间不受限制；两个位置传感器分别检测两个元件之间的相对位置关系，再通过上位机的控制，通过控制各元件喷嘴的喷气，来保持设备的同步。本发明为航天器的仿真测试气浮台。
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公开(公告)号：CN103847985B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410128665.0
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 一种基于无线传输的三自由度空间模拟器，属于航空航天领域模拟设备领域。为了解决空间仿真试验设备中干扰较大的问题。所述模拟器包括两自由度平动部分和单自由度旋转部分，所述模拟器的支撑面之间采用高压气瓶利用气浮原理设计，两自由度平动部分通过气浮导轨、气浮槽、X轴光栅尺和Y轴光栅尺实现水平XY方向的水平运动，单自由度旋转部分通过旋转轴、反作用飞轮和圆光栅尺实现360°顺逆时针方向的运动，所述模拟器还包括三个通信控制器，分别采集X轴方向、Y轴方向和旋转轴方向的位置信息，同时还用于驱动模拟器的喷嘴进行喷气。所述三个通信控制器通过无线模块与上位机进行通讯。它用于航空航天实验模拟外太空微重力和微干扰环境。
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公开(公告)号：CN103856113A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410128678.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于磁悬浮平面电机的空间模拟器及其控制方法，属于航空航天方向物理仿真试验领域。本发明是为了克服现有航空航天设备抗扰动能力差、不能长时间运行以及由此导致的仿真效果差的问题。磁悬浮平面电子动子的读数头将读取的动子在平面光栅的位置信息通过FPGA控制板卡发送至无线发送/接收模块，并由地面的无线接收/发送模块接收，然后传输至上位机中，上位机根据动子实际位置信息和目标位置信息获得发送姿态控制指令，并将该姿态控制指令发送给电流控制器，电流控制器控制磁悬浮平面电机的动子向目标位置移动。本发明适用于航空航天研究领域中模拟外太空微干扰和微重力的实验环境。
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公开(公告)号：CN117791908B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202311822886.3
申请日：2023-12-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种二维Halbach永磁阵列垂向充磁永磁体的安装装置，属于磁悬浮平面电机技术领域。所述安装装置包括安装架、上连接套、进给环、上压块、下连接套、下压块和安装基座；所述安装架固定在安装基座上部，所述进给环位于安装架上部并与安装架连接在一起，所述上连接套直径较小的端口与进给环下端相连接，所述下连接套直径较大的端口与上连接套直径较大的端口紧固在一起，所述上压块在上连接套和下连接套结合体的内部并穿过下连接套，所述下压块与上压块连接在一起。本发明装置通过设计不同的尺寸，可以用于磁极距、二维Halbach永磁阵列尺寸不同的情况，具有较好的适用性，且具有较高的安装效率。
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公开(公告)号：CN118068656A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410208941.8
申请日：2024-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。
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