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公开(公告)号：CN101266111A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200810064210.1
申请日：2008-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F28D15/02
Abstract: 本发明公开一种常压下微热管真空注液封装的方法，包括注液和封装两个过程，由于微热管腔体及工作液体中残留的空气会严重影响微热管的性能，因此本发明首先采用抽真空与超声振动相结合的方式，将微热管工质注满整个腔体，在封装过程中，采用加热－冷却的方式，使微热管内部达到汽液动态平衡，可实现注液量可控，最后胶封注液孔。与现有技术相比，该发明成本低廉、操作简便、并能保证微热管腔体的高真空度。
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公开(公告)号：CN1276536C
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200410043701.X
申请日：2004-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 本发明是一种微型液体甲醇燃料电池的制造方法。本发明用微机械加工(MEMS)工艺加工极板，在外力约束的条件下将两极板封压在膜电极上，电池的四周使用树脂胶密封。极板的制作采用氧化、光刻和硅腐蚀技术来完成，极板上的流场及进、出液体导流通道为平面布局。最后使用玻璃和加工好的极板键合，并真空淀积金属层，即完成极板加工。本发明的方法可以有效的完成流场的结构和电流收集，并可有效缩小燃料电池的体积和便于批量加工。
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公开(公告)号：CN1205463C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN03132458.4
申请日：2003-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种相变式自检测压力传感器及其制作方法。它包括硅杯，在硅杯的杯底上设置有压敏电阻，它还包括硅片底板和隔热玻璃板，隔热玻璃板上开有透气孔，硅片底板上开有相变物质充填孔并且在其上表面上设置有加热电阻，硅杯倒置安装在隔热玻璃板上，隔热玻璃板安装在硅片底板上且隔热玻璃板与硅片底板之间有相变物质装填腔，相变物质装填腔中装填有相变物质，相变物质充填孔处设置有封闭堵。本发明的产品具有结构简单、自检测效果显著等优点。本发明的方法能够保证其产品的加工简单，性能优异。
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公开(公告)号：CN103983910A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410244665.7
申请日：2014-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 高频CV特性测试仪，属于半导体器件特性测量领域，本发明为解决目前市面上C-V特性测试仪低分辨率、低线性度的问题。本发明包括电源模块、人机交互模块、USB通讯模块、单片机控制模块、高频信号产生模块、平方率检波模块和电容检测放大模块；待测电容Cx两端信号被电容检测放大模块放大处理后，输出含有正弦波的信号，待测电容Cx的电容值的大小耦合到信号的幅值之中，正弦波的幅值代表了待测电容Cx的电容值的大小，电容检测放大模块输出的信号送至平方率检波模块中，平方率检波模块留下直流分量，并转换为数字信号作为待测电容Cx的电容值的取值结果送到单片机控制模块中，该值可在人机交互模块上显示，也可以通过USB通讯模块上传至电脑中。
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公开(公告)号：CN103969263A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410244645.X
申请日：2014-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪，适用于高校等科研单位和相关中小型公司测试硅片少子寿命的仪器，本发明为解决国外少子寿命测试仪对于国内的小型实验室和半导体厂商而言，过于昂贵的问题。本发明包括高频信号发生电路、样品台、光源同步控制电路、峰值检波电路、仪表放大电路、高速ADC采集模块和PC机；样品台上放置待测硅片，光源同步控制电路输出的光束照射在待测硅片上，样品台的一个极板连接高频信号发生电路的高频信号输出端，样品台的另一个极板连接峰值检波电路的输入端，峰值检波电路的输出端连接仪表放大电路的输入端，仪表放大电路的输出端与高速ADC采集模块的输入端，高速ADC采集模块的输出端连接PC机的输入端。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101349517B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200810137064.0
申请日：2008-09-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: F28D15/0233
Abstract: 本发明提供了一种微型平板热管的封装方法，微型平板热管的上下基板由金属制成，上下基板四周加工一圈焊接带，在焊接带上镀有焊料，采用夹具将上下基板对准后加紧，加温至焊料熔化，冷却后上下基板通过焊料紧密连接在一起，形成平板微热管的封装。本发明使用低熔点金属作为焊料，通过特制模具对微热管壳体施加一定压力，在真空或者保护气体环境下加温熔化焊料金属，再冷却后，使得微型平板热管上下基板粘合在一起，以达到微热管的封装目的。本发明操作方便可靠，简单灵活，成本低廉，应用广泛。
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公开(公告)号：CN100443397C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200410013783.3
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及的是一种微冷却测控系统的加工方法。首先在双面抛光硅片上生长二氧化硅，之后进行光刻，在硅上开出窗口，在光刻胶和SiO2的保护下深槽刻蚀Si片，在硅片上形成微沟道和无阀微泵图形，然后采用机械研磨的方法将无阀微泵腔体贯通，再采用电化学放电方法，在硅片扩散口和喷嘴出口处的圆形腔体位置上打系统注水口，最后将硅片放入浓硫酸溶液中在水浴环境下加热，除去光刻胶，再放入HF溶液中漂去SiO2；先在95玻璃上溅射一层8-12纳米Ti，再溅射0.05-0.15微米Pt，之后利用光刻剥离技术刻出铂电阻图形；利用阳极键合工艺将硅片和玻璃紧密结合在一起。本发明产品的优点在于：易于操作；易于批量生产；可靠性高。
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公开(公告)号：CN1770528A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510010337.1
申请日：2005-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02E60/523 , Y02P70/56
Abstract: 本发明是一种硅基微型液体进料直接甲醇燃料电池的结构及其制造方法。它包括质子交换膜和位于质子交换膜两侧的阳极板和阴极板，阳极板和阴极板与质子交换膜相对应的一侧上有多孔硅层，在多孔硅层之上负载有催化层，阳极板的另一侧上有包括燃料存储腔体及导流通道的流场结构、并在其上键合有玻璃密封层，阴极板面向质子交换膜一侧上有流场结构，阳极板和阴极板上的催化层可分别作为电池的正极、负极连接引出导线。硅基双极板的制作采用氧化、光刻、湿法腐蚀图形、硅阳极腐蚀多孔硅层、催化层的淀积、激光打孔等工艺。本发明的方法可以有效地完成本发明中涉及电池结构的加工，并可有效缩小燃料电池的体积，增加系统的稳定性和便于批量加工。
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公开(公告)号：CN1595703A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410043701.X
申请日：2004-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 本发明是一种微型液体甲醇燃料电池的制造方法。本发明用微机械加工(MEMS)工艺加工双极板，在外力约束的条件下将双极板封压在膜电极上，电池的四周使用树脂胶密封。双极板的制作采用氧化、光刻和硅腐蚀技术来完成，双极板上的流场及进、出液体导流通道为平面布局。最后使用玻璃和加工好的双极板键合，并真空淀积金属层，即完成双极板加工。本发明的方法可以有效的完成流场的结构和电流收集，并可有效缩小燃料电池的体积和便于批量加工。
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公开(公告)号：CN1583542A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410013783.3
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及的是一种微冷却测控系统及其加工方法。它包括硅基片和玻璃片两层，硅基片表面上设置有微沟道和无阀微泵图形，玻璃片上设置有温度和流量传感器，硅片和玻璃片通过键合工艺粘接在一起。本发明产品的优点在于：结构简单，易于操作；易于批量生产；可靠性高；流量控制范围宽。本发明适用于纳、皮卫星环境热控、燃料控制和微电子芯片系统冷却等领域。
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