-
公开(公告)号：CN116577334B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202310247164.3
申请日：2023-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括矢量偏振照明光产生模块、光束扫描照明模块和差分暗场共焦成像模块；通过调整半波片和涡旋波片，分别产生径向偏振信号光和角向偏振信号光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，径向偏振信号光和角向偏振信号光交替进行照明，时间占比均为50％。同时利用照射在待测样品反射后的矢量偏振光偏振态不发生改变的特性，经由涡旋波片和偏振片，只收集散射信号。同时分析径向偏振信号光和角向偏振信号光分别照明下的散射信号差值，可以对亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息进行超分辨检测成像。
-
公开(公告)号：CN113960010B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202111125949.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 江苏锐精光电研究院有限公司 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于涡旋光束的暗场共聚焦拉曼偏振光谱测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤双波长光照明模块、明场共聚焦模块、暗场偏振共焦拉曼光谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦拉曼光谱测量可对样品化学分子成分等性质进行三维检测分析；通过引入偏振信息测量，可以分析物质极性。
-
公开(公告)号：CN113916891B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202111121299.2
申请日：2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤环形光照明模块、环形光扫描模块、明场共聚焦模块、暗场共焦布里渊频谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦及布里渊频谱立体测量可对样品机械性质进行三维检测。
-
公开(公告)号：CN116399222A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310253068.X
申请日：2023-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于圆二向色性暗场非线性热波共焦显微测量装置和方法，装置包括：时分复用圆偏光产生模块，用于将偏振激光分为左右旋圆偏光，调制后耦合；热波探测光整形模块，用于将耦合的光束整形成环形光；热波泵浦光产生模块，用于产生热波泵浦光；光束照明模块，用于利用环形光和热波泵浦光合束后的光束对待测样品进行扫描；暗场非线性热波探测模块，用于过滤出扫描光束中的热波散射光，根据热波散射光得到暗场热波信号，对暗场热波信号进行解调得到圆二向色性暗场热波成像结果。通过本发明可获取多种几何缺陷的三维分布信息以及缺陷的手性检测。
-
公开(公告)号：CN113916891A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111121299.2
申请日：2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 基于光纤环形光束的暗场共焦布里渊显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤环形光照明模块、环形光扫描模块、明场共聚焦模块、暗场共焦布里渊频谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦及布里渊频谱立体测量可对样品机械性质进行三维检测。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118914203A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411010417.6
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于多分数阶角动量解调的暗场共焦显微测量装置及方法，涉及共焦显微测量技术领域，该装置包括：调制照明模块和信号采集解调模块；在调制照明模块中，通过不同分数阶的涡旋相位图，调制得到不同分数阶的涡旋光，以对待测样品进行扫描，不同分数阶的涡旋光照射在待测样品上后反射出去；通过信号采集解调模块采集反射光并生成暗场图像；最后，根据不同分数阶的涡旋光下生成的暗场图像进行互相关处理，即可得到高信噪比数据；本申请提供的上述装置采用不同分数阶涡旋光照明样品并进行暗场探测，可同时获取缺陷对多阶涡旋分量的响应，提高了微小缺陷的信号强度，利用互相关算法能够有效抑制共模噪声，凸显纳米级缺陷微弱的相关信息。
-
公开(公告)号：CN118914201A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411010373.7
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法，涉及共焦显微测量技术领域，该装置包括时变调制照明模块、光学扫描模块、信号采集解调模块、函数发生器和样品台，函数发生器分别与时变调制照明模块和信号采集解调模块连接，分别为时变调制照明模块和信号采集解调模块提供参考信号；样品台用于放置待测样品；时变调制照明模块用于向光学扫描模块发射分数阶涡旋光；光学扫描模块用于将分数阶涡旋光传递到样品台中的待测样品上，将回光信号传递至信号采集解调模块；信号采集解调模块用于采集回光信号，并根据参考信号对回光信号进行暗场共焦探测，得到待测样品的测量信息，本申请可提高测量装置的灵敏度和准确性。
-
公开(公告)号：CN117517318A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311425900.6
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88 , G02B21/06 , G02B21/10 , G02B26/10 , G02B6/02 , G02B27/10 , G02B27/30 , G02F1/01 , G01N21/49 , G01N21/01
Abstract: 基于涡旋分量排序的暗场共焦显微测量装置及方法，它涉及一种暗场共焦显微测量装置及方法。本发明为了解决传统共焦显微测量的亚表面缺陷无损检测技术检测维度单一，无法实现缺陷的复杂几何特性表征及物理特性分析，亚表面缺陷判定准确率不足的问题。本发明所述测量装置包括高斯照明模块、涡旋排序模块、线阵探测模块和三维位移台；待测样品设置在三维位移台上，所述高斯照明模块发射的激光照射在待测样品上，待测样品的反射光经由所述高斯照明模块和所述涡旋排序模块后由所述线阵探测模块接收。本发明属于光学精密测量技术领域。
-
公开(公告)号：CN116256377A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310242652.5
申请日：2023-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/19
Abstract: 本发明公开了基于圆二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法，该装置包括圆二色性光束生成模块、环形光产生模块、光束扫描照明模块、暗场共焦探测模块；将线偏振光入射偏振光栅，同时产生第一偏振光和第二偏振光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，偏振光交替进行照明。经由锥透镜组将光束调制成环形照明光束，同时利用互补孔径光阑，收集散射信号，并对第一偏振光和第二偏振光的收集散射信号进行差分。直接分析单一偏振态下的散射信号，可提取表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析左右旋环形光照明下的散射信号差值，可获取微纳结构材料的光学手性信息，提升手性检测的灵敏度。
-
公开(公告)号：CN113984771A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111121288.4
申请日：2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括径向偏振光产生模块、旋转方向照明模块、明场超分辨共聚焦探测模块、暗场超分辨共聚焦探测模块；通过偏振转换器产生径向偏振光照明，同时利用互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号并进行双路同步收集，可同时获取亚波长级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
28
records
(took 0.022 seconds)
