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公开(公告)号：CN116256377A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310242652.5
申请日：2023-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/19
Abstract: 本发明公开了基于圆二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法，该装置包括圆二色性光束生成模块、环形光产生模块、光束扫描照明模块、暗场共焦探测模块；将线偏振光入射偏振光栅，同时产生第一偏振光和第二偏振光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，偏振光交替进行照明。经由锥透镜组将光束调制成环形照明光束，同时利用互补孔径光阑，收集散射信号，并对第一偏振光和第二偏振光的收集散射信号进行差分。直接分析单一偏振态下的散射信号，可提取表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析左右旋环形光照明下的散射信号差值，可获取微纳结构材料的光学手性信息，提升手性检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN117495926B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202311435886.8
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的三维点云数据配准方法，它涉及一种三维点云数据配准方法。本发明为了解决在处理大口径非球面点云数据时，经常存在点云之间配准精度和效率较低的问题。本发明的步骤包括数据预处理、特征提取、初步配准、非球面形状分析、迭代优化处理和结果验证。本发明属于三维点云数据处理技术领域。
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公开(公告)号：CN117521351A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311435898.0
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的轨迹规划设计方法，它涉及一种轨迹规划设计方法。本发明为了解决现有非规则表面或非球面测量技术的测量精度和效率较低的问题。本发明首先根据回转件的面型方程建立面型模型，用做路径规划的基础；然后通过预扫确定轨迹扫描的范围和回转件的曲率、半径和高度等信息；再根据测量要求确定螺线扫描的上升速度和回转速度后，通过路径规划算法给出轨迹扫描中各途径点的空间坐标；最后对离散的轨迹扫描进行平滑处理后，发送给运动执行机构。本发明属于光学精密测量技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116577334A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310247164.3
申请日：2023-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括矢量偏振照明光产生模块、光束扫描照明模块和差分暗场共焦成像模块；通过调整半波片和涡旋波片，分别产生径向偏振信号光和角向偏振信号光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，径向偏振信号光和角向偏振信号光交替进行照明，时间占比均为50％。同时利用照射在待测样品反射后的矢量偏振光偏振态不发生改变的特性，经由涡旋波片和偏振片，只收集散射信号。同时分析径向偏振信号光和角向偏振信号光分别照明下的散射信号差值，可以对亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息进行超分辨检测成像。
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公开(公告)号：CN116297192A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310247098.X
申请日：2023-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了基于角度照明的暗场傅里叶光场显微测量装置与方法，包括：倾斜光束照明模块、x方向暗场傅里叶光场探测模块、y方向暗场傅里叶光场探测模块和z方向暗场傅里叶光场探测模块；倾斜光束照明模块，用于将一系列互不相关照明光束进行光场的转接、分束和聚焦，照明光束以倾角α照射在待测样品上，实现倾斜照明，形成x、y和z方向的散射光；x、y和z方向的暗场傅里叶光场探测模块，用于分别对对应三个方向上的散射光通过收集、傅里叶光场分解和收集图像信号，并通过光场重聚焦算法进行计算重整；通过对暗场傅里叶光场信息进行分析，重建高对比度的暗场图像，实现三维样品的快速重建；利用收集的散射信号实现各方向上的分辨力一致。
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公开(公告)号：CN117521351B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202311435898.0
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的轨迹规划设计方法，它涉及一种轨迹规划设计方法。本发明为了解决现有非规则表面或非球面测量技术的测量精度和效率较低的问题。本发明首先根据回转件的面型方程建立面型模型，用做路径规划的基础；然后通过预扫确定轨迹扫描的范围和回转件的曲率、半径和高度等信息；再根据测量要求确定螺线扫描的上升速度和回转速度后，通过路径规划算法给出轨迹扫描中各途径点的空间坐标；最后对离散的轨迹扫描进行平滑处理后，发送给运动执行机构。本发明属于光学精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN116577334B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202310247164.3
申请日：2023-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括矢量偏振照明光产生模块、光束扫描照明模块和差分暗场共焦成像模块；通过调整半波片和涡旋波片，分别产生径向偏振信号光和角向偏振信号光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，径向偏振信号光和角向偏振信号光交替进行照明，时间占比均为50％。同时利用照射在待测样品反射后的矢量偏振光偏振态不发生改变的特性，经由涡旋波片和偏振片，只收集散射信号。同时分析径向偏振信号光和角向偏振信号光分别照明下的散射信号差值，可以对亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息进行超分辨检测成像。
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公开(公告)号：CN117495926A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311435886.8
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的三维点云数据配准方，它涉及一种三维点云数据配准方法。本发明为了解决在处理大口径非球面点云数据时，经常存在点云之间配准精度和效率较低的问题。本发明的步骤包括数据预处理、特征提取、初步配准、非球面形状分析、迭代优化处理和结果验证。本发明属于三维点云数据处理技术领域。
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