公开(公告)号：CN109581615A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811496752.6

申请日：2018-12-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  李勇 ,  王伟波 ,  刘婧

IPC: G02B7/02

Abstract: 中心无遮挡的镜片旋转支架光学装配领域，具体涉及一种可360度旋转光学镜片且不会对光路造成遮挡的装置；该装置主体由三部分组成包括镜片固定旋转部分、主动驱动部分及外壳支架固定部分。首先将需要旋转的镜片放置在镜片固定旋转部分，然后通过外壳支架固定部分将其固定在光路中，最后通过主动驱动部分进行镜片无遮挡旋转。

公开(公告)号：CN109470711A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201811497522.1

申请日：2018-12-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  刘婧 ,  王宇航 ,  刘辰光 ,  谭久彬

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明提供一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法，属于光学精密测量技术领域。点光源发出的光依次经过准直镜、遮挡式环形光发生器、分光棱镜和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光和散射光依次经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被探测互补光阑遮挡，散射光依次经过探测互补光阑、收集透镜和探测针孔，最终入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用遮挡式环形光发生器生成环形光，采用环形光束照明样品，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，装置简单易于实现，适用于亚表面无损检测。

公开(公告)号：CN116596769A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202310236110.7

申请日：2023-03-13

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  江苏锐精光电研究院有限公司

Inventor： 刘俭 ,  刘辰光 ,  刘婧 ,  陈刚

IPC: G06T5/00 ,  G06V10/762 ,  G06F17/15

Abstract: 本发明公开了基于改进LRA‑SVD的自适应细节保留降噪算法，包括对亚表面缺陷图像进行噪声估计；利用噪声估计值以及LRA‑SVD算法对原始图像进行降噪；将原始图像与初步降噪算法做差，获得初始方法去噪图像；计算去噪图像与方法噪声之间的相关系数，如果相关系数大于阈值，则进行迭代正则化降噪过程：将方法噪声乘以一定的系数加入到去噪图像中作为新含噪图像；利用噪声估计值和LRA‑SVD算法对新含噪图像降噪；利用原始图像与新降去图像做差；计算新去噪图像与新方法噪声之间的相关系数，如果相关系数小于阈值则停止迭代，获得降噪后的亚表面缺陷图像；否则进行新一轮正则化降噪。本发明在实现自适应降噪减少噪声残留的同时最大程度地保留图像的细节信息。

公开(公告)号：CN116596768A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202310236055.1

申请日：2023-03-13

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  江苏锐精光电研究院有限公司

Inventor： 刘俭 ,  刘婧 ,  刘辰光 ,  陈刚

IPC: G06T5/00 ,  G06T5/50

Abstract: 本发明公开了一种基于多亮度图像融合的细节增强方法，该方法包括：利用LEP滤波器将亚表面缺陷图像分解为基础层和细节层；使用大津法将基础层分割为暗区域和亮区域；利用改进的S曲线分别对暗区域和亮区域进行亮度变换，并计算图像熵，根据图像熵分别获得最佳亮度变换参数；利用最佳亮度变换参数及图像熵，分别结合改进的S曲线对基础层进行亮度变换获得对应的变换亮度图；利用标量权重图对变换亮度图进行加权融合，获得优化后的基础层；将优化后的基础层与细节层相结合，获得细节增强的亚表面缺陷图像；该方法在增强亚表面缺陷图像细节信息的同时避免高亮度信息饱和以及背景信息放大，避免高亮度区域因像素饱和而丢失细节。

公开(公告)号：CN111239155A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN202010059128.0

申请日：2020-01-18

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  南京恒锐精密仪器有限公司 ,  江苏锐精光电研究院有限公司

Inventor： 刘俭 ,  刘辰光 ,  姜勇 ,  刘婧 ,  陈刚

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法，该装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品反射信号与散射信号，获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；通过差动共焦探测，提高了测量系统轴向的灵敏度、线性和信噪比，可显著抑制环境状态差异、光源光强波动、探测器电气漂移等引起的共模噪声。

公开(公告)号：CN111239154A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN202010058971.7

申请日：2020-01-18

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  南京恒锐精密仪器有限公司 ,  江苏锐精光电研究院有限公司

Inventor： 刘俭 ,  刘辰光 ,  刘婧 ,  姜勇 ,  陈刚

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种横向差动暗场共焦显微测量装置及其方法，该装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品反射信号与散射信号，获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；通过差动共焦探测，提高了测量系统横向的灵敏度、线性和信噪比，可显著抑制环境状态差异、光源光强波动、探测器电气漂移等引起的共模噪声。

公开(公告)号：CN109580639A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811497335.3

申请日：2018-12-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  刘婧 ,  王宇航 ,  刘辰光 ,  谭久彬

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明公开了一种基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法，点光源发出的光经过中空反射镜、准直镜、凸锥面镜、凹锥面镜生成环形光，环形光经中空反射镜、分光棱镜和物镜，将环形光汇聚至待测样品，待测样品发出的反射光和散射光经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被遮挡散射光经过收集透镜和探测针孔，入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用同心双锥面镜生成环形光，光能利用率接近百分之百，提高了成像对比度和信噪比；上下移动的圆柱销可以改变环形光占空比；采用环形光束照明，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，检测方法适用于亚表面无损检测。