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公开(公告)号:CN101625328A
公开(公告)日:2010-01-13
申请号:CN200810133087.4
申请日:2008-07-08
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 一种表面检测装置及方法,用以非破坏性地检测一受测表面,该装置包括一改质单元及一处理单元。该改质单元提供一表面改质剂至该受测表面上,以使该受测表面暂时形成一改质表面。该处理单元利用侦测该改质表面,获得第一表面特性资料,且根据该第一表面特性资料,决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。本发明通过在受测表面上加表面改质剂后检测该改质表面判断受测表面是否具有异质瑕疵,该方法不受待测基材的受测表面所具有的不规则纹路而影响,且其检测准确快速,另外,对受测表面检测完毕后,还可进行复原,不破坏原受测表面。
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公开(公告)号:CN101325147A
公开(公告)日:2008-12-17
申请号:CN200710127008.4
申请日:2007-06-13
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种自动分析修补装置。该自动分析修补装置包含一自动缺陷分析系统、一自动缺陷修补系统及一手动缺陷修补系统;其中该自动缺陷修补系统还包含一数据撷取单元、一运算单元及一缺陷分类单元。当进行一待测物缺陷自动分析修补时,该数据撷取单元会撷取该待测物的一待分析缺陷数据并交予该运算单元分析以得一缺陷分析结果,接着该缺陷分类单元会针对该缺陷分析结果加以分类以利后续该自动缺陷修补系统或该手动缺陷修补系统进行缺陷修补。
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公开(公告)号:CN115818132A
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN202211484608.7
申请日:2018-11-09
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种电子元件稳定装置及其适用的外观检测设备。外观检测设备的旋转盘承载由下料轨道落下的电子元件并使其沿材料行走线移动。电子元件稳定装置包含导料轮,设置于材料行走线的外侧且具有圆弧面;马达,与导料轮连接以驱动导料轮的旋转;及负压产生器,设置于导料轮的底部,可产生吸力使得自下料轨道落下的电子元件被吸往导料轮而贴附于导料轮的圆弧面,并随导料轮的旋转往前推送。导料轮的线速度与电子元件在旋转盘上的行走线速度相同,当电子元件不再受负压产生器的吸力吸引而脱离导料轮时,电子元件可稳定地于旋转盘上沿着材料行走线前进。
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公开(公告)号:CN110954550A
公开(公告)日:2020-04-03
申请号:CN201811331846.8
申请日:2018-11-09
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/892 , B07C5/342
Abstract: 本发明提供一种电子元件稳定装置及其适用的外观检测设备。外观检测设备的旋转盘承载由下料轨道落下的电子元件并使其沿材料行走线移动。电子元件稳定装置包含导料轮,设置于材料行走线的外侧且具有圆弧面;马达,与导料轮连接以驱动导料轮的旋转;及负压产生器,设置于导料轮的底部,可产生吸力使得自下料轨道落下的电子元件被吸往导料轮而贴附于导料轮的圆弧面,并随导料轮的旋转往前推送。导料轮的线速度与电子元件在旋转盘上的行走线速度相同,当电子元件不再受负压产生器的吸力吸引而脱离导料轮时,电子元件可稳定地于旋转盘上沿着材料行走线前进。
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公开(公告)号:CN101325147B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200710127008.4
申请日:2007-06-13
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种自动分析修补装置。该自动分析修补装置包含一自动缺陷分析系统、一自动缺陷修补系统及一手动缺陷修补系统;其中该自动缺陷修补系统还包含一数据撷取单元、一运算单元及一缺陷分类单元。当进行一待测物缺陷自动分析修补时,该数据撷取单元会撷取该待测物的一待分析缺陷数据并交予该运算单元分析以得一缺陷分析结果,接着该缺陷分类单元会针对该缺陷分析结果加以分类以利后续该自动缺陷修补系统或该手动缺陷修补系统进行缺陷修补。
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公开(公告)号:CN205110148U
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201520751646.3
申请日:2015-09-25
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 一种分料模块,设置在一外观检测装置的基座,外观检测装置包含用以检测电子元件的检测模块,其包含输送机构、至少三组取料机构及控制器。输送机构用以输送电子元件。取料机构沿电子元件的输送方向排列分别用以取下输送机构上不良、合格以及其他的电子元件。控制器分别电性连接各取料机构以依据检测模块的检测结果驱动各取料机构取下输送机构上对应的电子元件。其中沿输送机构的输送方向上,用以取下不良的电子元件的取料机构排列于最先,接续排列用以取下合格的电子元件的取料机构,用以取下其他的电子元件的取料机构排列于最后。因此能够避免因取料机构老化而将非对应的电子元件取下以确保检测的准确率。
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公开(公告)号:CN220670473U
公开(公告)日:2024-03-26
申请号:CN202321824385.4
申请日:2023-07-12
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01B11/30
Abstract: 一种晶圆粗糙度检查装置及晶圆检查机,晶圆粗糙度检查装置包含底座、承托部、感测器、镜头、活动结构以及处理器。承托部设置于底座,并定义晶圆放置空间,承托部配置以承托晶圆于晶圆放置空间。感测器设置于承托部一侧。镜头设置于感测器,并配置以朝向晶圆放置空间,感测器配置以通过镜头获取晶圆的侧边的影像。活动结构设置于底座,且连接感测器,并配置以相对晶圆放置空间移动感测器。处理器信号连接感测器,并配置以根据影像计算出晶圆的侧边表面粗糙度。
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公开(公告)号:CN220473400U
公开(公告)日:2024-02-09
申请号:CN202321827665.0
申请日:2023-07-12
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 一种外观检测设备,用以检测一旋转盘上的至少一电子元件,其中在一旋转盘的下侧以及上侧分别设置第一磁性元件以及第二磁性元,第一磁性元件和电子元件之间产生一磁性吸引力,且第二磁性元件和电子元件之间产生一磁性排斥力,借此能够使前述电子元件被定位在旋转盘上的预设位置,以利于取像装置对前述电子元件进行外观检测。
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公开(公告)号:CN204789382U
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201520539227.3
申请日:2015-07-23
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种电子元件外观检测装置,其包含基座、输送机构、供料机构、传感器、多个取像模块及控制器。输送机构包含旋转盘、马达以及角度编码器,旋转盘呈水平配置,马达设置于基座且连接旋转盘而能够驱动旋转盘水平自转,角度编码器电性连接马达。供料机构包含震动盘以及储料桶,震动盘设置于基座,储料桶具有朝向震动盘内配置的供料道,震动盘延伸出下料轨道且下料轨道的末端延伸至旋转盘的上方。传感器对应旋转盘配置且与下料轨道的末端相邻。取像模块设置于基座上,各取像模块分别邻近环绕旋转盘配置。控制器电性连接编码器、传感器以及各取像模块。藉由角度编码器而能够对旋转盘的旋转方向上精确定位,确保检测的准确率。
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