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公开(公告)号：CN101408572A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200710182282.1
申请日：2007-10-11
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01R31/00 , G01R31/265 , G01R31/308
Abstract: 本发明系关于一种光学检测方法及装置，用以检测一基板之瑕疵，该光学检测装置包含一光学单元用以产生一光源以照射该基板，一一维以上之数组接收感应器单元用以接收该被照射之基板所产生的一影像，其中该被接受之影像的光波包含特定的波长区段，以及一影像撷取处理单元用以撷取该影像。
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公开(公告)号：CN106370666A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201510437460.5
申请日：2015-07-23
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电子元件外观检测装置及其检测方法。电子元件外观检测装置包括输送机构、传感器、多个取像模块及控制器。输送机构输送电子元件，传感器于检测电子元件通过时发出触发信号，控制器于收到触发信号时取得输送电子元件至多个取像位置所需的多个时间区间，并分别于计时多个时间区间经过时驱动对应的取像模块撷取电子元件的元件影像，并且对元件影像进行瑕疵检测处理以产生检测结果。
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公开(公告)号：CN103365025A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310110035.6
申请日：2013-03-29
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G02F1/167
CPC classification number: G01J4/00 , G02F1/167 , Y10T29/49718 , Y10T29/49721 , Y10T29/49764 , Y10T29/49769
Abstract: 本发明公开了一具有多个显像槽的颗粒型影像显示器的制作方法，包括：于多个显像槽中填入多个第一粒子；辨识与一或多个上述显像槽相关的缺陷；及修复一单元中对应于部分上述显像槽中的缺陷。
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公开(公告)号：CN102384908A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201010268905.9
申请日：2010-09-01
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法，该装置包含至少一光源、一取像模块，以及一遮光罩。光源设在该基板的其中一侧面处，该光源朝该侧面发射一可对应穿透该基板的光线，该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内可大致以全反射方式传递的第一预定角度内。取像模块设于该基板的上方，用以撷取该基板的上表面的影像。遮光罩，设置于该取像模块与该基板之间，用以遮蔽该基板的上表面的至少一侧的边缘。借此，若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时，则会缺陷处形成亮点，以借取像模块检测到此缺陷的位置。本发明还提供一种基板内部缺陷检查方法，可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。
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公开(公告)号：CN103901043B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210568775.X
申请日：2012-12-24
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/89
Abstract: 一种检查设备包含一旋转装置、一供料装置、一供料控制装置以及多个影像提取装置。旋转装置包含一可控旋转元件以及一承载单元。承载单元可为一圆盘、一圆环状盘或多个扇形环状盘，用于承载待检查物。可控旋转元件用以控制承载单元旋转。供料装置用以朝旋转装置传送待检查物。供料控制装置设置于供料装置及旋转装置之间，用以将待检查物间断的传送到旋转装置上。多个影像提取装置分别从不同角度提取位于旋转装置的待检查物的影像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101650320A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200810145741.3
申请日：2008-08-14
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/958 , G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种光学检测设备，其借助多视角和不同波长的光线所形成的投射图像，可提高基板瑕疵检测的精度和效果，并进一步提高工艺良品率和降低生产成本。该光学检测设备包括一光源、一反射元件、以及一图像采集元件；其中该光源将光线投射至待测物；该反射元件具备至少两个反射面，用以反射经过该待测物的光线；该图像采集元件接收经反射的光线形成的一投射图像。
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公开(公告)号：CN106568778A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201510645115.0
申请日：2015-10-08
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种电子元件外观影像检测方法，电子元件外观影像检测方法包括以下步骤：取得电子元件的外观影像；于判断外观影像可使用时，识别感兴趣区域；对感兴趣区域执行检测处理；及产生检测结果。本发明经由预先判断所取得影像是否可使用及对识别感兴趣区域执行检测处理，可有效提升检测准确性及检测速度。
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公开(公告)号：CN103365025B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310110035.6
申请日：2013-03-29
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G02F1/167
CPC classification number: G01J4/00 , G02F1/167 , Y10T29/49718 , Y10T29/49721 , Y10T29/49764 , Y10T29/49769
Abstract: 本发明公开了一具有多个显像槽的颗粒型影像显示器的制作方法，包括：于多个显像槽中填入多个第一粒子；辨识与一或多个上述显像槽相关的缺陷；及修复一单元中对应于部分上述显像槽中的缺陷。
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公开(公告)号：CN103901043A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210568775.X
申请日：2012-12-24
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/89
Abstract: 一种检查设备包含一旋转装置、一供料装置、一供料控制装置以及多个影像提取装置。旋转装置包含一可控旋转元件以及一承载单元。承载单元可为一圆盘、一圆环状盘或多个扇形环状盘，用于承载待检查物。可控旋转元件用以控制承载单元旋转。供料装置用以朝旋转装置传送待检查物。供料控制装置设置于供料装置及旋转装置之间，用以将待检查物间断的传送到旋转装置上。多个影像提取装置分别从不同角度提取位于旋转装置的待检查物的影像。
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公开(公告)号：CN102128838A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201010001197.2
申请日：2010-01-15
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法，该装置包含至少一光源，以及一取像模块，光源设在基板的一侧面并朝该侧面发射一对应穿透该基板的光线，该光线相对该侧面的入射角度为限制在一第一预定角度内，取像模块设于基板的上方。该方法包括：首先提供至少一光源在一基板的一侧面，并使该光源朝该侧面发射一穿透该基板的光线。并且提供一取像模块，撷取该基板的上表面的影像，其中需使该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内以全反射传递的一第一预定角度内。借此，若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时，则会缺陷处形成亮点，以借取像模块检测到此缺陷的位置。采用上述装置及方法可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。
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