-
公开(公告)号：CN101408572A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200710182282.1
申请日：2007-10-11
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01R31/00 , G01R31/265 , G01R31/308
Abstract: 本发明系关于一种光学检测方法及装置，用以检测一基板之瑕疵，该光学检测装置包含一光学单元用以产生一光源以照射该基板，一一维以上之数组接收感应器单元用以接收该被照射之基板所产生的一影像，其中该被接受之影像的光波包含特定的波长区段，以及一影像撷取处理单元用以撷取该影像。
Search Results
1
records
(took 0.021 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
