公开(公告)号：CN102129900B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201010170233.8

申请日：2010-04-27

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 叶德强 ,  匡训沖 ,  刘铭棋 ,  喻中一 ,  赵治平 ,  亚历山大·卡尼斯基

IPC: H01L21/02 ,  H01C17/075

CPC classification number: H01L28/20 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76864 ,  H01L21/76865 ,  H01L27/016 ,  H01L28/24

Abstract: 本发明提供一种薄膜电阻器的制造方法，包括：形成一掺杂区于一半导体基板中；形成一介电层于该基板上；形成一薄膜电阻器于该介电层上；于该薄膜电阻器进行回火之前，形成一接触孔于该介电层中，其中该接触孔露出一部分的该掺杂区；以及于形成该接触孔之后，对该薄膜电阻器实施一快速热回火。本发明可减少工艺时间，且经调整后的薄膜电阻器(TFR)特性不会因后续第二次的回火步骤而受影响。

公开(公告)号：CN102190274A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110021179.5

申请日：2011-01-14

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 亚历山大·卡尼斯基 ,  薛福隆

IPC: B81B3/00 ,  G01B7/02

CPC classification number: G01B7/003 ,  A63F13/06 ,  A63F13/211 ,  A63F13/24 ,  A63F2300/1043 ,  A63F2300/105 ,  G01P3/52 ,  G01P15/125 ,  G01P15/16

Abstract: 本发明提供一种微机电系统装置，该装置适用于感测机械位移，包括至少一第一电容器，具有第一和第二电容器极板，第一和第二电容器极板设置于彼此相距为一间距的位置，第一和第二电容器极板具有不同功函数并且互相电性连接，其中第一和第二电极板之一可相对于另一者移动，使得第一和第二电容器极板间的上述间距随着一外力改变，流经第一电容器的电流代表在特定的时间内上述间距改变的速度。本发明提供的运动感测器较快速、便宜和/或精准无误。