公开(公告)号：CN105241393A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510618595.1

申请日：2015-09-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 陈磊 ,  郑东晖 ,  张瑜 ,  朱文华 ,  胡芬 ,  李金鹏 ,  韩志刚 ,  万骏 ,  宋乐 ,  周舒 ,  陈宇琪 ,  谷晨风 ,  郑权

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种高精度便携式光学表面三维形貌在线检测仪，它主要由光源、单筒干涉显微镜、图像采集系统、控制源、驱动源、移相器和工控机组成。其优点是体积小、抗振性能好、可满足光学、微电子、机械等领域超精密加工元件的高精度在线快速批量检测，可应用于芯片、LED、微机械、微光学、航空航天用光学陀螺、强激光、天文望远镜等生产与科研领域。