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公开(公告)号:CN114179518B
公开(公告)日:2023-01-06
申请号:CN202111410677.9
申请日:2021-11-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于虹膜涡扇的微压电喷头及喷嘴孔径调控方法。本基于虹膜涡扇的微压电喷头包括待主动齿轮的微电机、与主动齿轮相互啮合的虹膜涡扇,设于虹膜涡扇上方的压电喷头。虹膜涡扇的外部通过一体成型的外从动齿轮和内从动齿轮,与主动齿轮啮合。虹膜涡扇的内部通过设有叶片齿轮的多个薄形金属叶片与内从动齿轮啮合,多个叶片相互重叠后形成孔径大小可调整了喷嘴。本发明的有益效果在于,可以灵活调整喷嘴的孔径大小,实现用一个压电喷头喷印不同精度大小的功能,满足多种喷印目标的需求。
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公开(公告)号:CN114388364A
公开(公告)日:2022-04-22
申请号:CN202111580209.6
申请日:2021-12-22
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/34 , H01L21/44 , H01L29/423 , H01L29/786
Abstract: 本发明公开了一种通过界面补偿消除柔性集成器件残余应力的方法。所述方法为:(1)通过氧气等离子处理衬底,提高衬底分子键合能力,实现PI与缓冲层的高粘附性;(2)利用沉积速率较温和的等离子体增强化学气相沉积制备SiOx/SiNx叠层薄膜,作为PI缓冲层、栅绝缘层和钝化层;SiOx/SiNx叠层薄膜与铜合金残余应力种类相反,可以相互补偿抵消,减少残余应力;(3)铜合金电极在高温退火后,微量掺杂的CrZr被排出晶格,在半导体/电极界面处与铟锌反应吸收能量,可以将部分界面残余应力的机械能转化为化学能,可以进一步消除残余应力。本发明所提出的工艺路径可以从制备器件的源头消除残余应力,是一种行之有效的方法。
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公开(公告)号:CN114179518A
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN202111410677.9
申请日:2021-11-25
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于虹膜涡扇的微压电喷头及喷嘴孔径调控方法。本基于虹膜涡扇的微压电喷头包括待主动齿轮的微电机、与主动齿轮相互啮合的虹膜涡扇,设于虹膜涡扇上方的压电喷头。虹膜涡扇的外部通过一体成型的外从动齿轮和内从动齿轮,与主动齿轮啮合。虹膜涡扇的内部通过设有叶片齿轮的多个薄形金属叶片与内从动齿轮啮合,多个叶片相互重叠后形成孔径大小可调整了喷嘴。本发明的有益效果在于,可以灵活调整喷嘴的孔径大小,实现用一个压电喷头喷印不同精度大小的功能,满足多种喷印目标的需求。
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公开(公告)号:CN208289191U
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:CN201820568690.4
申请日:2018-04-19
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于CAN现场总线和LLC谐振变换器的脉冲MIG焊电源系统,包括三相交流输入电网、焊接电源、电弧负载和人机界面模块;焊接电源由脉冲峰值模块和脉冲基值模块组成,脉冲峰值模块由若干个子系统并联组成,脉冲基值模块由一个子系统组成,子系统包括主电路、驱动模块、故障保护模块、电压电流检测模块和控制模块,控制模块包括DSP数字化控制模块,分别与故障保护模块、驱动模块和电压电流检测模块连接。本实用新型实现脉冲MIG焊脉冲峰值和基值输出时,LLC谐振变换器工作于谐振频率最佳工作点,原边电流接近正弦电流,电磁干扰小,使得系统稳定而可靠,功率器件得到最优利用,减少开关损耗,提高电源效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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