公开(公告)号：CN210719020U

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201921300999.6

申请日：2019-08-13

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  叶瑞芳 ,  苏杭 ,  崔长彩 ,  余卿 ,  王寅

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型公开了基于光场栅的位移测量装置，包括测量系统、线性位移工作平台和光电探测器模块；测量系统包括系统光源、半透半反分光平面镜、两激光扩束准直器和两平面反射镜；第一平面反射镜能相对该整体摆动以能调节偏转角度，线性位移工作平台能相对该整体平移和旋转；系统光源发出的一束光入射到半透半反分光平面镜后被分为传播方向互相垂直且能量相等的两束相干光；两束相干光分别经第一激光扩束准直器与第二激光扩束准直器放大直径；通过第一平面反射镜和第二平面反射镜控制光路，使两束相干光都打在线性位移工作平台上表面以能产生两个椭圆光斑。该方法在保证高精度的同时，简化了测量系统的结构，减小了安装误差。

公开(公告)号：CN209623647U

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201920304590.5

申请日：2019-03-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 叶瑞芳 ,  程方 ,  苏杭 ,  崔长彩 ,  余卿 ,  王寅

IPC: G01B11/27

Abstract: 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统，包括半导体激光器、第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元；该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量；该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差；该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。本实用新型系统不仅拥有较高的精度，还简化了系统结构与检测过程，能够提供完备的直线度信息。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN216791124U

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202220337538.1

申请日：2022-02-14

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  张岩 ,  崔长彩 ,  苏杭 ,  周东方 ,  陈涛 ,  邹彤 ,  余晚珮 ,  余卿

IPC: G01B11/24

Abstract: 本实用新型提供了一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及其系统，包括底座、高度误差分离模块、二维运动机台、测量桥组件；二维运动机台包括外置基准光学平晶、位移驱动机构，外置基准光学平晶配置在位移驱动机构上，外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块上表面耦合形成薄膜气隙，外置基准光学平晶上表面用于放置待测工件，测量桥组件用于采集待测工件形貌值，外置基准光学平晶随位移驱动机构作二维直线运动；高度误差分离模块配置为采集外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块发生靠近或分离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有工件面形精度测量方案存在测量精度低，成本高昂，装调要求严苛的问题。

公开(公告)号：CN217637202U

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202220056236.7

申请日：2022-01-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 周东方 ,  程方 ,  余卿 ,  张雅丽 ,  苏杭 ,  张岩 ,  陈涛 ,  邹彤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型涉及一种基于像栅的直线位移测量系统。该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本实用新型提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。

公开(公告)号：CN217110835U

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202220289302.5

申请日：2022-02-14

Applicant: 华侨大学

Inventor： 程方 ,  张岩 ,  崔长彩 ,  苏杭 ,  陈涛 ,  葛明鑫 ,  周东方 ,  邹彤 ,  余卿

IPC: G01B11/24

Abstract: 本实用新型提供了一种实现高度误差分离的形貌测量装置及其系统，包括二维运动模组、配置在二维运动模组上测量桥组件和高度误差分离模块；高度误差分离模块包括外置基准光学平晶和误差光学测量组件，外置基准光学平晶固定在误差光学测量组件上端，误差光学测量组件配置在测量桥组件第一端面，外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件上表面耦合形成薄膜气隙，测量桥组件随二维运动模组作二维运动，带动误差光学测量组件作二维运动；误差光学测量组件配置为将外置基准光学平晶的下表面与误差光学测量组件发生靠近或远离位移转值；位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件的形貌值。旨在解决现有光学三维测量方案存在测量精度低，成本高昂的问题。