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公开(公告)号：CN114199138A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202210024968.2
申请日：2022-01-11
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法，该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本发明提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。
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公开(公告)号：CN112857264A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110097632.4
申请日：2021-01-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统，包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块，至运动载物模块，再斜向上反射至反射镜，二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面，不同波长的光聚焦到不同的轴向高度，在被测物表面形成光斑，光线采集计算模块接收和分析光波信号，移动被测物，光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统和检测方法适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌，如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。
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公开(公告)号：CN112857253A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110089853.7
申请日：2021-01-22
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块；其中，所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆；其中，所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。
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公开(公告)号：CN112781526A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011604386.9
申请日：2020-12-29
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统与方法，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本发明通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。
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公开(公告)号：CN111474807A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010377837.3
申请日：2020-05-07
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种用于手机外接镜头的固定装置，涉及手机配件技术领域，包括：外框架、导向柱以及调节件；外框架包含第一板体和第二板体，两板体之间能够形成有容置外部手机的空间，且第一板体开设有一安装孔；导向柱垂直设于第一板体与第二板体的端面之间，导向柱具有第一端和第二端，第一端与第一板体固设相连，第二板体经由第二端套设于导向柱内且能够相对导向柱滑动；调节件螺设于导向柱中，且套设在第二端上以抵接至第二板体，调节件受控于外力以带动第二板体沿靠近第一板体的方向移动调节之间的间距大小。该固定装置结构简单，适用性强，通过对夹持位置的调节，实现手机外接镜头与手机本体摄像头光路的精确对准。本申请另提供一种外接镜头。
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公开(公告)号：CN109373927A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811141205.6
申请日：2018-09-28
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及彩色共焦三维形貌测量方法与系统，采用的是复色光源，通过轴向色散来获得波长颜色和位移的关系，可以避免轴向扫描带来的耗时问题，提高了测量速度；通过小孔滤除非焦平面的杂散信号，获取位于焦平面的锐利信号，具有很高的轴向分辨率；采用彩色相机作为数据接收端，一次拍照即可获取视场内被测物表面全部的高度信息，提高了测量速度，尤其适用于彩色共焦并行扫描系统。本发明的实施，仅需一次成像即可完成对被测物点的高度信息提取，结合二维位移系统提供的二维信息，获取被测物面的三维形貌特征。本发明将为物体表面三维形貌检测提供新的途径。
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公开(公告)号：CN114199138B
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202210024968.2
申请日：2022-01-11
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法，该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中，将玻璃线纹尺置于LED背光源上，并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动，图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像，然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关，便能得到图像之间平移的像素数，最终利用物像之间的比例关系，就能够获取位移台的实际位移值。本发明提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题，相比之前的视觉测量方法，其测量精度更高、量程更大。
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公开(公告)号：CN112857264B
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202110097632.4
申请日：2021-01-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明涉及一种简易的斜照明式彩色共聚焦测量系统，包括复色点光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜和光线采集计算模块。复色点光源模块发出光斜向下透过色散镜头模块，至运动载物模块，再斜向上反射至反射镜，二次反射至光线采集计算模块。运动载物模块装载被测物。将入射光以倾斜角投射到被测物表面，不同波长的光聚焦到不同的轴向高度，在被测物表面形成光斑，光线采集计算模块接收和分析光波信号，移动被测物，光线采集计算模块采集被测物所有采样点信息并进行点云建模生成表面三维形貌信息。本测量系统和检测方法适用于无法在垂直方向上检测样品表面形貌，如航空发动机转子叶片的表面形貌测量、玻璃等透明材料的厚度测量。
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公开(公告)号：CN110778869B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN201911104947.6
申请日：2019-11-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种二维运动平台，包括水平布置的载物板、用于驱动所述载物板移动的驱动模块、用于支撑所述载物板的支承模块以及用于控制所述驱动模块运动的控制模块，所述载物板水平布置在所述驱动模块和所述支承模块的上方，所述载物板和所述驱动模块刚性连接，且所述载物板和所述支承模块柔性铰接。通过设置驱动模块和支承模块两个导向模块形成差动系统，在保证运动精度的情况下有效提高了运动行程，能够同时实现高精度和大行程。同时将运动平台的各部分按功能模块化，将运动导向元件模块化为驱动模块和支承模块；将运动平台的工作载物平面模块化为载物板部分，各模块均为通用元器件，且可按需增减部分模块，二次开发灵活性较好。
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公开(公告)号：CN118748519A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410847278.6
申请日：2024-06-27
Applicant: 华侨大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种单相激励和结构扁平化的模态转换型超声电机，包括定子、转子、预压力装置和夹持机构，所述定子组件包括紧固螺栓、配重块、纵振压电陶瓷片组和斜槽式径扭复合模态转换器，所述紧固螺栓依次穿过所述配重块、所述纵振压电陶瓷片组与所述斜槽式模态转换器。本发明采用上述的一种单相激励和结构扁平化的模态转换型超声电机，结构扁平化，激励方式简单，输出力矩大，并且无需扭振陶瓷片即可工作在扭振振动模态。
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