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公开(公告)号：CN114050216A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111260305.2
申请日：2021-10-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L41/331 , H01L41/335
Abstract: 本发明属于柔性电子制备相关技术领域，其公开了一种柔性电子器件及其激光加工方法，包括以下步骤：(1)在透明基底上制备牺牲层，并通过图案化工艺在牺牲层上制备图案化结构；牺牲层的材料的热膨胀系数与图案化结构的材料的热膨胀系数之差大于10‑5K‑1；(2)在牺牲层暴露的区域及图案化结构上沉积得到功能层；(3)在功能层上沉积衬底层以得到柔性带电子器件的半成品，并采用激光束对透明基底进行扫描，激光束穿过透明基底而作用于半成品的其他结构；(4)对激光作用后的半成品进行机械分离以得到图案化的柔性电子器件。本发明同时实现了功能层的图案化及剥离，简化了工艺。
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公开(公告)号：CN112752410B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202011546836.3
申请日：2020-12-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性器件技术领域，更具体地，涉及电流体光刻制备透明可拉伸液态金属电路的方法和应用。本发明制备方法包括以下步骤：制备透明可拉伸基底；基于电流体光刻技术在基底表面打印液态金属网格；基于电流体光刻技术在液态金属网格表面打印电路图案，即可得到液态金属电路。本发明可以制备不同尺度和透明度的可拉伸液态金属电路，相比于复合材料法或传统的结构设计法，具有高度灵活性，在生产中不受限于复杂的掩膜设计，可赋予液态金属电路任意功能，获得的产品具有高度可拉伸性，因而可以粘附于各类复杂或动态曲面上，并在使用过程中保持性能稳定，具有广阔的市场前景。
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公开(公告)号：CN110987089B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201911366444.6
申请日：2019-12-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器设计与制造领域，并具体公开了一种单金属层电极的多功能柔性变胞传感器、制备方法及应用。所述传感器包括金属功能层以及柔性基底，金属功能层包括第一应变栅、第一叉指电极、引线一以及引线二，第一应变栅包括M个首尾依次连接且平行布置的S型结构，第一叉指电极包括M根平行布置的叉指结构。所述制备方法包括基底层和牺牲层的制备、金属功能层的制备、传感器的剥离。本发明多功能柔性变胞传感器可应用于温度、应变、流速和湿度的测量。本发明可通过引线之间的变拓扑切换实现多功能小尺寸原位感知，同时，可实现少量引脚的变拓扑多模态的变胞感知，还可采用两种原理测量相互补充验证提高系统的鲁棒性和稳定性。
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公开(公告)号：CN112067190A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010809302.9
申请日：2020-08-12
IPC: G01L9/12
Abstract: 本发明属于压力传感器相关技术领域，其公开了一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用，柔性智能蒙皮包括自下而上设置的柔性衬底、底电极、离子薄膜、空腔层薄膜、顶电极及感压薄膜，底电极设置在柔性衬底上；空腔层薄膜开设有相连通的多个通孔及微流道，通孔相背的两端被覆盖而形成封闭的空腔；离子薄膜上形成有多个微凸起，对应的微凸起收容于空腔内；柔性智能蒙皮包括多个间隔设置的传感单元；通过预先调节空腔内部的参考压力，使得传感单元处于双电层离子电容的工作状态。本发明具有超高分辨率及超宽可定制量程，且对正负压都具有超高的分辨率和超宽的量程，并且正负压的测量范围可以实时调节。
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公开(公告)号：CN110010766B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201910168745.1
申请日：2019-03-06
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于可植入生物电子器件相关技术领域，其公开了一种无源型柔性视网膜假体及其制备方法，所述视网膜假体包括柔性基底、设置在所述柔性基底上的第一封装层及设置在所述第一封装层远离所述柔性基底的表面上的功能层，所述功能层包括光吸收层，所述光吸收层的组成材料掺杂有硅纳米颗粒；所述柔性基底或者所述功能层形成有亚微米级微孔阵列结构。本发明利用光吸收能力良好的微孔结构及硅纳米颗粒的表面等离子体激发效应来提高光吸收率及光电转换效率，灵活性较好，适用性较强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110816055B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201911192414.8
申请日：2019-11-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于喷墨打印领域，并具体公开了一种基于等离子体射流引导的喷墨打印装置及喷印方法。该喷墨打印装置包括喷墨喷头和等离子体喷头，其中喷墨喷头工作时喷嘴的一端与供墨单元连接，另一端与输送针头连接，同时该喷嘴与第一电源连接；等离子体喷头中喷头主体设置有气体导路用于放置电极针，并通过进气孔通入工作气体，工作时电极针与第二电源连接，通过放电形成等离子体射流，作用于基板使其区域化带电，带电荷的墨液在等离子体射流的引导下沉积到基板的指定位置，以此完成喷墨打印。本发明能够克服厚基板接高压电源地极无效的问题，同时能够克服喷墨打印在曲面基板、绝缘基板上打印精度不高的问题，有效提高喷墨打印的精度、分辨率和便捷度。
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公开(公告)号：CN110588186B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201910726036.0
申请日：2019-08-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性显示器件制造相关技术领域，并公开一种喷墨打印柔性显示器件制造系统，其包括基板输入模块、基板转移模块、喷印模块、喷印后处理模块、固含量检测模块、薄膜封装喷印模块、成膜检测模块和基板输出模块等，同时对这些功能模块进行了高度集成及结构和布置的优化设计。本发明还公开了相应的工艺方法。通过本发明，可形成一种更适于工业级应用的喷墨打印柔性显示器件制造系统，同时采用多个检测模块对制造流程进行监控，更有效地实现了柔性显示器件喷墨打印制造的制造效率高、器件良品率高和生产成本低等优点。
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公开(公告)号：CN109524512B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811360533.5
申请日：2018-11-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微型元件巨量转移相关技术领域，其公开了一种基于可控微反射镜阵列的微型发光二极管巨量转移方法，该方法包括以下步骤：(1)将红色微型发光二极管阵列、蓝色微型发光二极管阵列及绿色微型发光二极管阵列分别粘接在三个临时转移基板上；(2)分别将上述三种颜色的微型发光二极管阵列自对应的所述临时转移基板转移至透明基板上，该透明基板设置有激光释放层；(3)紫外激光经该可控微反射镜阵列后被分为三束图案化激光，该三束图案化激光分别照射于三种微型发光二极管所连接的激光释放层上，进而使三种颜色的微型发光二极管选择性地转移至目标基板上。本发明提高了转移效率，且可同时转移红、绿、蓝三种颜色的微型发光二极管。
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公开(公告)号：CN111006801A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911300915.3
申请日：2019-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器领域，并公开了一种用于生理信息监测的柔性变模态传感器、应用及制备方法。该传感器包括基底和依次设置在基底下方的上电极层、压电层和下电极层，其中：上/下电极层包括三部分电极，第一部分电极形成闭合蜿蜒蛇形，第二部分和第三部分结构相同，呈敏感栅状，分布在第一引脚的两侧，且第二部分和第三部分的夹角呈90度，压电层与第一部分电极结构相同；上/下电极层可作为电阻式传感器，当测量上电极层上的第一引脚与下电极层上的第一引脚之间的电压或电容时，分别作为压电传感器和电容传感器。通过本发明，实现不同传感模式下多种物理量的测量，有效降低接口数量需求，降低系统成本。
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公开(公告)号：CN108461015B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201810712809.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G09B21/00
Abstract: 本发明属于表皮电子领域，并公开了一种用于盲文阅读的三维电触觉表皮电子系统，该系统包括并行排列的多组电极对，其中，每组电极对包括上下两个电极对，每个电极对包括正电极、负电极和电源，在上下电极对中分别通入电流，该上下电极对分别产生电场，二者产生的电场发生干涉形成干涉信号，多组电极对形成的多个干涉信号对应一个盲文字，通过多个干涉信号对皮肤的刺激实现盲文的阅读，其中，不同组的电极对中通入的电流频率不同，同一组电极对中上下电极对中通入的电流频率也不同；通过本发明，实现盲人在任何状态下自由的阅读，阅读速度快，分辨率高，有效提高盲人的阅读能力。
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