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公开(公告)号：CN112903102B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202110083924.2
申请日：2021-01-21
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01J3/28 , H01L31/101 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于光谱仪相关技术领域，其公开了一种芯片级光谱仪及其制备方法，所述方法包括以下步骤：(1)在基板上制备电极结构及沟道；(2)通过多材料混合电流体喷印在所述沟道内同位沉积不同体积不同成分的墨液，墨液在基板上融合成具有不同光谱吸收特性的材料薄膜，继而得到芯片级光谱仪。本发明所得到的光谱仪的分辨率可达到亚微米级别，并且可以图案化，光谱范围可控，成本较低，并易于实现小型化和集成化。
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公开(公告)号：CN114193937A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111311125.2
申请日：2021-11-05
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于半导体相关技术领域，其公开了一种剔除坏点及自对准喷印的μLED全彩显示制造方法与设备，该方法包括以下步骤：(1)将微型发光二极管(即μLED)阵列巨量转移到目标基板上且坏点未被转移；(2)电流体喷印头与单个微型发光二极管之间形成电场，并向对应的微型发光二极管喷印对应颜色的量子点溶液，进而实现微型发光二极管的全彩显示。本发明通过接通驱动电路使得UV‑μLED充当释放胶层的作用源从而实现转移，而未接通的坏点由于未产生紫外而将存留在胶层上，实现剔除坏点功能；同时，电流体喷印设备的喷头与单个芯片电极之间形成电场以实现自对准，解决了现有技术中巨量转移工艺复杂及全彩化像素分辨率限制、像素对准困难的问题。
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公开(公告)号：CN110010766B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201910168745.1
申请日：2019-03-06
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于可植入生物电子器件相关技术领域，其公开了一种无源型柔性视网膜假体及其制备方法，所述视网膜假体包括柔性基底、设置在所述柔性基底上的第一封装层及设置在所述第一封装层远离所述柔性基底的表面上的功能层，所述功能层包括光吸收层，所述光吸收层的组成材料掺杂有硅纳米颗粒；所述柔性基底或者所述功能层形成有亚微米级微孔阵列结构。本发明利用光吸收能力良好的微孔结构及硅纳米颗粒的表面等离子体激发效应来提高光吸收率及光电转换效率，灵活性较好，适用性较强。
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公开(公告)号：CN110588186B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201910726036.0
申请日：2019-08-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性显示器件制造相关技术领域，并公开一种喷墨打印柔性显示器件制造系统，其包括基板输入模块、基板转移模块、喷印模块、喷印后处理模块、固含量检测模块、薄膜封装喷印模块、成膜检测模块和基板输出模块等，同时对这些功能模块进行了高度集成及结构和布置的优化设计。本发明还公开了相应的工艺方法。通过本发明，可形成一种更适于工业级应用的喷墨打印柔性显示器件制造系统，同时采用多个检测模块对制造流程进行监控，更有效地实现了柔性显示器件喷墨打印制造的制造效率高、器件良品率高和生产成本低等优点。
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公开(公告)号：CN109119548B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201810891389.1
申请日：2018-08-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于有机发光二极管领域，并公开了带有阴极单面光栅的顶发射OLED器件的制备方法，包括以下步骤：1)清选基板，再在真空烘箱中加热；2)在基板的上表面沉积金属阳极，之后在金属阳极的上表面沉积有机复合层，再在有机复合层上沉积金属阴极；3)利用电流体喷印溶液在制备的金属阴极的上表面打印光栅；4)利用环氧树脂围住有机复合层，并且环氧树脂将玻璃盖板与基板粘合在一起从而完成封装。本发明提出的带有阴极单面光栅的TEOLED器件及其制备方法，不仅保持了平面器件优良的导电性能和微腔效应，而且可以激发表面等离子体激元耦合出光，大幅提高出光效率，该光栅的制备方法可以大面积、阵列化制备，有利于实现工业化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102852775B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210264606.7
申请日：2012-07-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: F04B43/06
Abstract: 本发明公开了一种基于激光冲击波力学效应的无阀微泵，该微泵包括泵体、流体入口、流体出口和牺牲层元件，其中泵体包括泵膜、泵腔以及扩张管和收缩管，所述扩张管和收缩管分别呈锥形管结构，所述牺牲层元件设置在泵腔上部泵膜处并由对激光辐射敏感的材料制成。当牺牲层表面受到激光辐射时，其吸收激光能量并瞬间气化，发生膨胀并产生等离子体爆炸气团以对泵膜起到冲击波的作用，相应使得泵腔体积交替改变由此执行流体的输送操作。本发明还公开了相应的制造方法。通过本发明，能够通过对微泵结构上的设计，有效利用激光冲击波力学效应来实现泵送功能，同时具备便于加工、成本和功耗低以及可远程控制等优点。
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公开(公告)号：CN104291264A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410554042.X
申请日：2014-10-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米压电纤维的柔性能量捕获器件及其制备方法。所述器件自下而上依次包括：柔性基材、电极层、压电纤维层、保护层；所述柔性基材为柔性绝缘塑料薄膜；所述压电纤维层为PVDF纤维。通过采用柔性基材，采用照相制版工艺制备梳状电极，并选择合适的静电纺丝参数沉积PVDF压电纤维，无需再对压电纤维进行极化，使纤维整齐排列、减小纤维缺陷，能够简化纳米压电纤维能量捕获器件制备工艺，提高能量转换效率，尤其是对弯曲运动机械能的捕获效果。
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公开(公告)号：CN103219280A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310090363.4
申请日：2013-03-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种利用静电纺丝工艺制备延性电路互联结构的方法，包括：通过静电纺丝装置向位于其喷头下方且沿着水平方向来回直线移动的硅片基板上喷射静电纺丝溶液，由此在基板上形成呈波形延伸且具备微纳米直径的图案；选取弹性衬底并执行清洁处理，然后对弹性衬底做拉伸处理；将处于拉伸状态的弹性衬底紧贴在形成有图案的硅片基板上，挤出两者接触面之间的空气后予以分离，使得硅片基板上的图案转印至弹性衬底表面；恢复弹性衬底的自然状态，由此制得所需的延性电路互联结构。本发明还公开了相应的产品及其应用。通过本发明，能够生成具备高延展性、高精度级的两级波纹结构，并尤其适用于延性电路互联结构大面积的可靠制造。
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公开(公告)号：CN102852775A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210264606.7
申请日：2012-07-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: F04B43/06
Abstract: 本发明公开了一种基于激光冲击波力学效应的无阀微泵，该微泵包括泵体、流体入口、流体出口和牺牲层元件，其中泵体包括泵膜、泵腔以及扩张管和收缩管，所述扩张管和收缩管分别呈锥形管结构，所述牺牲层元件设置在泵腔上部泵膜处并由对激光辐射敏感的材料制成。当牺牲层表面受到激光辐射时，其吸收激光能量并瞬间气化，发生膨胀并产生等离子体爆炸气团以对泵膜起到冲击波的作用，相应使得泵腔体积交替改变由此执行流体的输送操作。本发明还公开了相应的制造方法。通过本发明，能够通过对微泵结构上的设计，有效利用激光冲击波力学效应来实现泵送功能，同时具备便于加工、成本和功耗低以及可远程控制等优点。
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公开(公告)号：CN102169960A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110063328.4
申请日：2011-03-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L51/40
Abstract: 本发明提供一种柔性电子器件薄膜晶体管的制备方法，包括：（1）准备可弯曲和拉伸的基板；（2）拉伸所述基板，并在拉伸后的橡胶基板表面涂覆粘合剂；（3）在所述基板上沉积栅极；（4）在经步骤（3）处理后的器件上沉积有机介电层单元；（5）在所述有机介电层单元上分别沉积源极单元层和漏极单元层；（6）基板松弛，释放作用在基板上的载荷，并进行热处理，以消除界面应力和器件的压应力；（7）沉积有机半导体层单元。本方法通过一种机械拉伸基板的方法减小器件的沟道宽度，有效提高了制造精度，提升了柔性电子器件的分辨率。
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