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公开(公告)号：CN101865670A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010194545.2
申请日：2010-06-08
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法，属于光学测量技术领域。首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，经辅助正透镜汇聚到参考光纤的倾斜端面并再次反射，与参考光纤衍射的球面波汇合而发生干涉，干涉图用标准方法分析和处理；该步测量得到被测平面镜和辅助正透镜引入的像差。然后，移除被测平面镜，移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置，从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉；该步测量得到辅助正透镜引入的像差；将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差，按球面波前入射角度修正即得到被测平面镜的面形。本发明方法有效的提高了光纤点衍射移相干涉仪上的平面面形测量精度。
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公开(公告)号：CN101852594A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010173338.9
申请日：2010-05-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种超分辨激光偏振差动共焦成像方法与装置。该方法通过径向偏振光与光瞳滤波技术相结合，改善横向分辨力；通过轴向偏置的双探测器系统差动相减探测技术，改善轴向分辨力，继而显著改善系统空间分辨力和层析成像能力。该装置包括激光光源，依次放置在激光光源发射端方向的扩束器、偏振态调制系统、光瞳滤波器、分光镜，依次放置于分光镜透射光方向的物镜、样品，以及分光镜反射光方向反方向的差动共焦系统。本发明将径向偏振光分辨技术与光瞳滤波技术相结合，显著改善系统横向分辨力，其差动工作方式可显著改善系统轴向成像能力，可用于纳米制造领域中纳米级几何参数的高精度检测与计量。
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公开(公告)号：CN100493207C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200710064396.6
申请日：2007-03-14
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种CCD摄像系统的畸变测量校正方法和综合测试靶，所述综合测试靶由黑白间带和黑白带上的灰色目标点构成。所述的方法包括步骤：依次建立世界坐标系和摄像机坐标系之间、像素坐标系与图像坐标系之间、摄像机坐标系和图像坐标系之间的变换关系；采集畸变图像的成像极坐标；标定理想无畸变的成像极坐标；分别确定理想图像坐标点和畸变图像坐标点的对应关系，建立多项式模型；根据多项式系数测量并校正畸变。本发明的综合测试靶结合考虑了点靶和行靶信息，用测试靶替代传统的三个分立的靶板，解决了目标采样点的位置精度不高和目标采样点与其像点位置对应困难的问题。
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公开(公告)号：CN101355711A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810222211.4
申请日：2008-09-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于三角形方向识别的CCD摄像机分辨率测量装置及方法，属于光电测试领域。该装置包括待测CCD摄像机、分辨率靶板、均匀照明灯箱以及高分辨率监示器。分辨率靶板是采用等边三角形图案代替通常的栅条图案；在测试过程中以识别等边三角形的朝向代替常规的条纹分辨，可以有效避免常规栅条图案分辨率测试中的摩尔条纹影响；将达到75％以上正确判别概率所对应的电视线数确定为该摄像机的极限分辨率。为提高测试精度，对标准栅条间隔作数值内插计算，设计出一种新的电视分辨率靶板，两块靶板配合使用可大大提高测量精度。可应用于对各类可见光CCD摄像机的性能评测。
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公开(公告)号：CN101354308A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810211257.6
申请日：2008-09-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种数字视差测量仪及测量方法。本发明包括光源、物镜、图像采集模块、计算机、机电平移台。光源通过目镜照明被测光学系统的分划板，光线透过望远物镜后进入物镜并在图像采集模块上成像，图像采集模块将所成图像传送给计算机，计算机控制机电平移台实现机电平移，机电平移台向计算机返回机电平移数据；物镜装卡于机电平移台上。本发明还可以包括分光系统，光线通过分光系统进入粗瞄摄像机，将采集到的视频信号传输给监视器，用于测量前的粗瞄对准。本发明用计算机来修正由环境变化引起的测量误差，具有精度高、速度快、客观性好的优点，可用于光学系统的检测与装配过程中的高精度视差测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101271283A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810100859.4
申请日：2008-02-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种光刻机物镜点光源工作条件下杂光系数测试装置，属于光电测试技术领域。本发明旨在解决影响光刻质量的成像物镜像面杂光这个关键成像性能的高精度测量与评估。本发明由点光源照明系统、光刻物镜、像方接收系统组成；光刻物镜放置在点光源孔的光路上。像方接收系统由小孔光阑、中继光学系统、积分球后端的牛角消光管、光电探测器、信号处理系统组成。点光源照明系统的光线通过光刻机物镜像方上的小孔光阑后的艾里斑像，然后由积分球探测，测得光刻机物镜点光源工作条件下的随照明视场变化的杂光系数。本发明装置具有探测信噪比高、精度高，功能强，可用于新研制和使用中的光刻机物镜成像质量的检测、监控与评估。
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公开(公告)号：CN101231158A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810057898.0
申请日：2008-02-20
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种基于液体变焦透镜的微小物体三维外形尺寸的快速检测装置。本发明包括二维平移台、被测物体、液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜、CCD摄像机、图像采集模块、计算机、液体变焦透镜控制器。在二维平移台上放置被测物体，经液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜后成像在CCD摄像机的感光像面上。CCD摄像机通过图像采集模块与计算机连接；计算机通过液体变焦透镜控制器与液体变焦透镜连接。本发明将液体变焦透镜应用于微小物体三维外形尺寸的快速检测。本装置光学系统中没有机械移动部件，提高了仪器的测量速度与使用寿命。可用于机械加工、MEMS、微电子、生物医药等领域中进行快速的三维外形尺寸检测。
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公开(公告)号：CN100389312C
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200610128631.7
申请日：2006-09-04
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种CCD摄像机分辨率客观评测方法，该方法包括以下步骤：获得一个分组多条纹图案靶板图像；将具有不同条纹宽度的条纹区域进行分离；抽取每个条纹区域中的一行的灰度值；分别将对应各条纹区域的所述灰度致信号转换至频域，其中，在保证采样后不同分辨率条纹的空间频率是对应物方空间频率间隔的整数倍的情况下，确定采样频率；从相应的频谱图中分别获得对应各条纹区域的摩尔条纹的幅值，以及特征频率幅值；最后对比各条纹区域的特征频率幅值与摩尔条纹频率幅值的关系，这种方法有效地解决了以往对于高频段变频光栅中出现摩尔条纹，从而影响判别的问题。本发明还提供了一种CCD摄像机分辨率测定系统。
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公开(公告)号：CN100360919C
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200410090673.7
申请日：2004-11-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种无限兼有限共轭光电像分析器，可以实现多种测试功能，具有很高的集成度。由平移台和旋转台构成多维调整系统，可满足测试中的多维调整和折轴测试的需要；该仪器根据被测系统的需要，光电测头具有望远和显微两种功能，望远测头还要适应0视度和多个非0视度试样的测试功能，对望远系统参数的测试可以通过不同视度准直镜与CCD组成的接收系统实现，对照相系统可以通过在像分析器光学系统的物方接口处加接显微物镜来实现。该仪器通过相应的软件可以实现对光学系统所成的像进行采集和分析、图像数据处理，是集光、机、电、算、自动控制为一体的综合装置。
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公开(公告)号：CN101026778A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710064396.6
申请日：2007-03-14
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种CCD摄像系统的畸变测量校正方法和综合测试靶，所述综合测试靶由黑白间带和黑白带上的灰色目标点构成。所述的方法包括步骤：依次建立世界坐标系和摄像机坐标系之间、像素坐标系与图像坐标系之间、摄像机坐标系和图像坐标系之间的变换关系；采集畸变图像的成像极坐标；标定理想无畸变的成像极坐标；分别确定理想图像坐标点和畸变图像坐标点的对应关系，建立多项式模型；根据多项式系数测量并校正畸变。本发明的综合测试靶结合考虑了点靶和行靶信息，用测试靶替代传统的三个分立的靶板，解决了目标采样点的位置精度不高和目标采样点与其像点位置对应困难的问题。
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