-
公开(公告)号：CN101709956B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910237426.8
申请日：2009-11-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明的一种光学平面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量技术领域。从测量光纤衍射的球面波透过分束镜，在被测平面镜表面反射后折回；该球面波前被分束镜反射，与参考光纤衍射并透过分束镜的球面波前汇合而发生干涉；干涉图用标准方法进行分析和处理；该步测量得到被测平面镜面形和分束镜引入的像差；移除被测平面镜，移动测量光纤到参考光纤端面关于分束镜的共轭位置，从参考光纤衍射的球面波前与从测量光纤衍射的球面波前汇合而再次发生干涉；该步测量得到分束镜引入的像差；第一步的测量结果与第二步相减得到被测平面镜的面形。本发明的平面面形测量结果精度高，为平面面形的绝对测量方法，扩展了点衍射干涉测量方法的应用范围。
-
公开(公告)号：CN101762242B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010001177.5
申请日：2010-01-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种光学平面面形的绝对干涉测量方法，属于光学测量技术领域。该方法首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，折向并透过平板分束镜，与参考光纤衍射并被平板分束镜反射的球面波前汇合而发生干涉；干涉图用标准方法分析和处理；该步测量得到被测平面镜和平板分束镜引入的像差。然后，移除被测平面镜，移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置，从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉；该步测量得到平板分束镜引入的像差；将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差，按球面波前入射角度修正即得到被测平面镜的面形。本发明实现了光学平面的全面形逐点、高精度干涉测量，是一种平面绝对干涉测量方法。
-
公开(公告)号：CN101799279B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201010151219.3
申请日：2010-04-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种大相对孔径球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量领域。首先，测量光纤的衍射波前透过分束棱镜，经显微物镜变换为能覆盖被测大相对孔径球面镜的测量波前，并在被测球面镜表面反射；携带被测球面镜面形信息的反射波前透过显微物镜，经分束棱镜反射后汇聚到参考光纤端面形成测量波前，并与参考光纤自身衍射的参考波前汇合而发生干涉；然后移走被测球面镜，其他光学元件保持不动，在显微物镜焦点处放置平面反射镜，用同样方法测量显微物镜、分束棱镜及参考光纤端面粗糙度所带入的像差。本发明分两步实现，且都利用了接近理想的点衍射球面波作为参考波前，能够实现大相对孔径球面面形的高精度测量。
-
公开(公告)号：CN101865670B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201010194545.2
申请日：2010-06-08
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法，属于光学测量技术领域。首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，经辅助正透镜汇聚到参考光纤的倾斜端面并再次反射，与参考光纤衍射的球面波汇合而发生干涉，干涉图用标准方法分析和处理；该步测量得到被测平面镜和辅助正透镜引入的像差。然后，移除被测平面镜，移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置，从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉；该步测量得到辅助正透镜引入的像差；将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差，按球面波前入射角度修正即得到被测平面镜的面形。本发明方法有效的提高了光纤点衍射移相干涉仪上的平面面形测量精度。
-
公开(公告)号：CN101865670A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010194545.2
申请日：2010-06-08
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法，属于光学测量技术领域。首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，经辅助正透镜汇聚到参考光纤的倾斜端面并再次反射，与参考光纤衍射的球面波汇合而发生干涉，干涉图用标准方法分析和处理；该步测量得到被测平面镜和辅助正透镜引入的像差。然后，移除被测平面镜，移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置，从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉；该步测量得到辅助正透镜引入的像差；将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差，按球面波前入射角度修正即得到被测平面镜的面形。本发明方法有效的提高了光纤点衍射移相干涉仪上的平面面形测量精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101672632A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910235650.3
申请日：2009-10-10
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量技术领域。首先测量光纤衍射的球面波通过分光棱镜反射到辅助正透镜，被变换为汇聚球面波并在被测球面的表面反射，携带被测球面信息的反射波前通过辅助正透镜、透过分光棱镜汇聚到参考光纤端面，形成测量波前；移走被测球面，其他光学元件保持不动，在辅助正透镜焦点处放置平面反射镜，用同样方法可测量辅助正透镜、分光棱镜及参考光纤端面粗糙度所带入的像差。本发明的凸球面和凹球面测量都分为两步来实现，两步测量都利用了接近理想的点衍射球面波作为参考波前，能够保证两次干涉测量的高精度，也就能够保证最终球面面形测量结果的精度。
-
公开(公告)号：CN101672632B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200910235650.3
申请日：2009-10-10
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量技术领域。首先测量光纤衍射的球面波通过分光棱镜反射到辅助正透镜，被变换为汇聚球面波并在被测球面的表面反射，携带被测球面信息的反射波前通过辅助正透镜、透过分光棱镜汇聚到参考光纤端面，形成测量波前；移走被测球面，其他光学元件保持不动，在辅助正透镜焦点处放置平面反射镜，用同样方法可测量辅助正透镜、分光棱镜及参考光纤端面粗糙度所带入的像差。本发明的凸球面和凹球面测量都分为两步来实现，两步测量都利用了接近理想的点衍射球面波作为参考波前，能够保证两次干涉测量的高精度，也就能够保证最终球面面形测量结果的精度。
-
公开(公告)号：CN101799279A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN201010151219.3
申请日：2010-04-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种大相对孔径球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量领域。首先，测量光纤的衍射波前透过分束棱镜，经显微物镜变换为能覆盖被测大相对孔径球面镜的测量波前，并在被测球面镜表面反射；携带被测球面镜面形信息的反射波前透过显微物镜，经分束棱镜反射后汇聚到参考光纤端面形成测量波前，并与参考光纤自身衍射的参考波前汇合而发生干涉；然后移走被测球面镜，其他光学元件保持不动，在显微物镜焦点处放置平面反射镜，用同样方法测量显微物镜、分束棱镜及参考光纤端面粗糙度所带入的像差。本发明分两步实现，且都利用了接近理想的点衍射球面波作为参考波前，能够实现大相对孔径球面面形的高精度测量。
-
公开(公告)号：CN101762242A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN201010001177.5
申请日：2010-01-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种光学平面面形的绝对干涉测量方法，属于光学测量技术领域。该方法首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射，折向并透过平板分束镜，与参考光纤衍射并被平板分束镜反射的球面波前汇合而发生干涉；干涉图用标准方法分析和处理；该步测量得到被测平面镜和平板分束镜引入的像差。然后，移除被测平面镜，移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置，从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉；该步测量得到平板分束镜引入的像差；将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差，按球面波前入射角度修正即得到被测平面镜的面形。本发明实现了光学平面的全面形逐点、高精度干涉测量，是一种平面绝对干涉测量方法。
-
公开(公告)号：CN101709956A
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200910237426.8
申请日：2009-11-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明的一种光学平面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法，属于光学测量技术领域。从测量光纤衍射的球面波透过分束镜，在被测平面镜表面反射后折回；该球面波前被分束镜反射，与参考光纤衍射并透过分束镜的球面波前汇合而发生干涉；干涉图用标准方法进行分析和处理；该步测量得到被测平面镜面形和分束镜引入的像差；移除被测平面镜，移动测量光纤到参考光纤端面关于分束镜的共轭位置，从参考光纤衍射的球面波前与从测量光纤衍射的球面波前汇合而再次发生干涉；该步测量得到分束镜引入的像差；第一步的测量结果与第二步相减得到被测平面镜的面形。本发明的平面面形测量结果精度高，为平面面形的绝对测量方法，扩展了点衍射干涉测量方法的应用范围。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.016 seconds)
