一种用于晶圆低温测试时的防霜装置

    公开(公告)号:CN109655731A

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201710945673.8

    申请日:2017-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆低温测试时的防霜装置,属于集成电路测试设备技术领域。所述装置包括屏蔽罩、温度传感器、湿度传感器、控制模块、氮气供应模块、氮气流量调节模块、氮气温度调节模块和除湿模块。本发明利用模块化的设计思想,简化了用于晶圆低温测试时的防霜装置结构,设计出的用于晶圆低温测试时的防霜装置具有结构简单的优点,同时可根据需要应用于不同场合。本发明综合各模块信息,能够有效地实现晶圆低温测试时的防霜,为晶圆提供高稳定性的低温测试环境,提高了晶圆测试的可靠性和准确性。

    一种探针台自动定位装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109655730A

    公开(公告)日:2019-04-19

    申请号:CN201710945671.9

    申请日:2017-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种探针台自动定位装置,其包括红外模块、数据存储模块、数据处理模块、运动控制模块和电源模块。本发明利用模块化设计思想,简化了探针台自动定位装置结构,设计出的探针台自动定位装置具有结构简单的优点,可根据使用场景应用到不同场合。本发明利用红外线入射到晶圆表面和非晶圆表面的反射率不同,可有效地检测晶圆的中心位置,与现有技术中通过机器视觉方法检测晶圆中心方法相比,稳定性强,造价低,能够弥补传统的探针台自动定位装置结构复杂、稳定性差、造价高的缺点。

    一种障碍物检测方法及系统

    公开(公告)号:CN107169986A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710368864.2

    申请日:2017-05-23

    Abstract: 本发明公开一种障碍物检测方法及系统。所述方法包括:获取N线激光雷达扫描得到的点云数据;将点云数据划分为Q个区域,包括第1区域、第2区域至第Q区域;依次对第1至第Q区域的点云数据进行平面拟合,对应得到第1平面、第2平面至第Q平面;依次获取第1至第Q区域的点云数据中的障碍物的坐标;对所述障碍物的坐标数据进行体素化处理,得到动态障碍物的坐标集合和静态障碍物的坐标集合。采用本发明检测方法及系统,实现了三维点云数据的大规模压缩,大大降低了数据处理量;还进一步把环境划分为三部分:路面区域(可行区域)、静态障碍物区域、动态障碍物区域,为机器人的有效行为决策提供了更好的环境信息。

    一种钟形振子式角速率陀螺控制回路仿真方法

    公开(公告)号:CN102982211B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201210509900.X

    申请日:2012-12-04

    Abstract: 一种钟形振子式角速率陀螺控制回路仿真方法,该方法包括下列步骤:(1)分析钟形振子式角速率陀螺的振动机理,确定状态变量,建立状态空间模型;(2)确定状态空间模型参数和仿真参数;(3)设计控制回路,搭建控制回路仿真框图;(4)观察仿真效果,调节设计参数,使其达到理想效果。本发明采用仿真方法取代传统的经验判断和参数试凑法,提高了验证分析的能力和准确性,大大缩短了钟形振子的设计周期,从而缩短了整个钟形振子式角速率陀螺开发的时间,为钟形振子式角速率陀螺的合理设计提供了依据。

    一种惯性测量单元外壳结构的优化设计方法

    公开(公告)号:CN102254059B

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201110117536.8

    申请日:2011-05-09

    Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域,目的是为了克服传统的依赖于设计人员经验基础的设计方法对设计人员和实验人员要求高、开发周期长、成本高等缺点。该方法包括:(1)将惯性测量单元外壳结构进行模块划分;(2)对各模块进行设计;(3)对各模块组成的惯性测量器件外壳结构进行模拟分析;(4)得到整体形变等分布情况;(5)若一个或多个模块的强度等超过允许值,提出改进方案,重新进行设计,返回步骤(3);否则,完成优化设计。本发明采用计算机辅助工程结构分析取代了传统的经验判断和强度校核计算方法,提高了验证分析的能力和准确性,而且缩短了修改周期,从而缩短了整个惯性测量单元开发的时间,为惯性测量单元外壳结构的合理设计提供了依据。

    一种钟形振子式角速率陀螺信号提取方法

    公开(公告)号:CN103017748B

    公开(公告)日:2013-12-11

    申请号:CN201210509680.0

    申请日:2012-12-04

    Abstract: 一种钟形振子式角速率陀螺的信号提取方法,包括:(1)对压电片A、压电片E构成的轴向施加振子激励信号;(2)提取压电片C、压电片G、压电片D、压电片H和8个电容传感器信号;(3)对采集的信号进行融合,计算轴向、轴向、轴向、轴向的输出信号;(4)利用轴向上的输出信息,对输入信号进行幅度稳定控制和频率稳定控制;(5)利用轴向上的输出信息,计算正交误差和速率误差;(6)对计算的正交误差和速率误差进行合成,生成轴向方向上的控制力矩,同时输出输入角速率。本发明弥补了单一压电器件对陀螺输出信息的影响,提高了钟形振子式角速率陀螺的设计精度,为钟形振子式角速率陀螺的设计奠定了基础。

    一种钟形振子式角速率陀螺谐振子振型测量装置

    公开(公告)号:CN102980564A

    公开(公告)日:2013-03-20

    申请号:CN201210547003.8

    申请日:2012-12-17

    Abstract: 本发明公开了一种钟形振子式角速率陀螺谐振子振型测量装置,包括环形电极单元、信号变换单元和信息处理单元。钟形振子振动时,由环形电极单元敏感钟形振子周向各对应节点振幅所对应的电容变化。信号变换单元对电容变化信号转换成相应的振幅电压信号输出到信息处理单元,经过信息处理单元对各振幅的融合处理,绘制出钟形振子的振型。本发明的系统结构简单、性能优良、精度高,特别是引入了环形电极单元,在不接触钟形振子的同时,有效地得到钟形振子本身的振型参数。

    静电激励电路及金属壳谐振陀螺的控制系统

    公开(公告)号:CN114785328A

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202210409611.6

    申请日:2022-04-19

    Abstract: 本发明公开了一种静电激励电路及金属壳谐振陀螺的控制系统。其中,该静电激励电路包括:激励电路,被配置为生成静电力作为金属谐振子中质量块的驱动力;电容极板,被配置为基于所述驱动力,对所述质量块施加交变的静电力,激励所述质量块进行简谐运动,以驱动所述金属谐振子工作,其中,所述交变电压大于阈值电压。本发明解决了由于传统的静电激励电路采用接触式激励而导致的误差大、稳定性差的技术问题。

    时间同步误差的确定方法及装置、存储介质及电子装置

    公开(公告)号:CN113009816B

    公开(公告)日:2022-06-21

    申请号:CN202110251320.4

    申请日:2021-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种时间同步误差的确定方法及装置、存储介质及电子装置,上述方法包括:获取目标对象的观测量,其中,所述观测量用于指示所述目标对象进入导航姿态后的坐标信息与运动状态的测量值;获取预设的目标对象的组合导航矩阵,通过所述组合导航矩阵对所述观测量进行计算,以确定出目标观测矩阵,对所述目标观测矩阵执行目标数据融合处理,以得到所述目标对象的姿态延时的更新时间;获取所述目标对象的接入卫星定位系统的时间间隔,根据所述更新时间和所述时间间隔确定所述目标对象的时间同步误差,解决了相关技术中,对于时间同步误差的确定方式繁琐,使用不便,需要进行大量计算等问题。

    车辆导航方法及装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113029173A

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN202110255357.4

    申请日:2021-03-09

    Abstract: 本发明公开了一种车辆导航方法及装置。其中,该方法包括:获取车辆运动路径的惯性导航数据;根据惯性导航数据,通过噪声参数适配器,确定每个时刻在滤波器更新中使用的协方差;根据协方差,对滤波器根据惯性导航数据确定的输出状态参数进行更新,其中,输出状态参数包括惯性导航数据的偏差估计值和偏差估计值对应的协方差;根据更新后的输出状态参数,对车辆进行导航。本发明解决了相关技术中车辆的惯性导航定位方式,精度差的技术问题。

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