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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN109708685A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201711011640.2
申请日：2017-10-26
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤布拉格光栅传感器的探针运动控制方法，通过光纤布拉格光栅传感器实时高精度地感知探针受到的应变，进而获取探针与晶圆晶粒的接触情况，实时地调整探针运动状态。本发明使用的系统主要包括：光纤布拉格光栅应变传感器、光纤布拉格光栅温度传感器、数据处理模块和运动控制模块。本发明可避免传统的探针运动过程中，由于对操作人员依赖性强、运动控制系统参与度低、探针探测传感器对探针压力的测量精度低，而导致探针因接触不良或接触过深而引起的误判和晶圆破损现象，弥补了传统探针运动控制方法安全性低、测试效率低和测试结果准确度难以得到保证的缺点，具有安全性高、测试效率高、测试结果准确度高的优点。
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公开(公告)号：CN109709467A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201711011836.1
申请日：2017-10-26
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01R31/28
Abstract: 本发明公开了一种自动探针台运动误差补偿方法，步骤是：1基于多体系统理论，建立自动探针台运动误差模型；2使用多功能激光干涉仪和精密分度台对自动探针台运动误差模型中的误差项进行标定，得到X、Y、Z方向的综合误差补偿值；3将X、Y、Z方向的综合误差补偿值加载到自动探针台的运动控制系统中，实现对自动探针台的运动误差补偿。本发明与传统自动探针台运动误差补偿方法相比，其优点为本发明基于多体系统理论，弥补了传统补偿方法未考虑各运动方向间相互耦合关系，补偿效果不理想的缺点，为合理经济地提高自动探针台的精度提供重要的理论依据，为自动探针台的精度设计提供有效借鉴。
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公开(公告)号：CN109655731A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710945673.8
申请日：2017-10-12
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01R31/28
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆低温测试时的防霜装置，属于集成电路测试设备技术领域。所述装置包括屏蔽罩、温度传感器、湿度传感器、控制模块、氮气供应模块、氮气流量调节模块、氮气温度调节模块和除湿模块。本发明利用模块化的设计思想，简化了用于晶圆低温测试时的防霜装置结构，设计出的用于晶圆低温测试时的防霜装置具有结构简单的优点，同时可根据需要应用于不同场合。本发明综合各模块信息，能够有效地实现晶圆低温测试时的防霜，为晶圆提供高稳定性的低温测试环境，提高了晶圆测试的可靠性和准确性。
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公开(公告)号：CN109655730A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710945671.9
申请日：2017-10-12
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了一种探针台自动定位装置，其包括红外模块、数据存储模块、数据处理模块、运动控制模块和电源模块。本发明利用模块化设计思想，简化了探针台自动定位装置结构，设计出的探针台自动定位装置具有结构简单的优点，可根据使用场景应用到不同场合。本发明利用红外线入射到晶圆表面和非晶圆表面的反射率不同，可有效地检测晶圆的中心位置，与现有技术中通过机器视觉方法检测晶圆中心方法相比，稳定性强，造价低，能够弥补传统的探针台自动定位装置结构复杂、稳定性差、造价高的缺点。
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