公开(公告)号：CN103809371B

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201310533747.9

申请日：2013-11-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 原田大实 ,  冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: G03F7/00 ,  G03F1/60

Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。

公开(公告)号：CN103064247A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201210408103.2

申请日：2012-10-24

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 冈藤大雄 ,  山崎裕之 ,  竹内正树

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/60 ,  B24B9/14

CPC classification number: B24B37/042 ,  B24B1/00 ,  B24B5/50 ,  B24B7/228 ,  B24B9/065 ,  B24B9/08 ,  B24B37/02 ,  B24B37/04 ,  G03F1/60 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24479

Abstract: 本发明公开了一种电子等级玻璃基板，该电子等级玻璃基板提供有在一个表面中的凹口、槽道或台阶以及在该凹口、槽道或台阶的侧表面和该一个表面之间的第一倒角。对该凹口、槽道或台阶的侧表面和底表面进行镜面抛光，且对该第一倒角进行镜面抛光。

公开(公告)号：CN102328265A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201110259674.X

申请日：2011-06-28

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 冈藤大雄 ,  竹内正树 ,  山崎裕之

IPC: B24B29/02 ,  G03F1/14 ,  G03F1/00

CPC classification number: B24B7/241 ,  B24B7/228 ,  B24B19/03 ,  C03C15/02

Abstract: 本发明涉及用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过机加工合成石英玻璃衬底以形成凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触，制造电子级合成石英玻璃衬底。