气敏传感器
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1862255A

    公开(公告)日:2006-11-15

    申请号:CN200610081718.3

    申请日:2006-05-10

    Abstract: 根据一个实施例,气敏传感器包括:包括四氮化三硅针形晶体的多孔板状烧结体;以彼此不相接触的状态形成于所述板状烧结体的一个表面上的两个第一催化剂金属薄膜和一个第二催化剂金属薄膜;形成于相应表面上的氧离子导电固体电解质薄膜;形成于相应表面上的表面层薄膜,从而构成第一测量部分、第二测量部分和第三测量部分;以及包括氧化硅的玻璃密封层,其形成于所述多孔板状烧结体的其他表面、所述多孔板状烧结体其上形成有所述第一催化剂金属薄膜和所述第二催化剂金属薄膜的表面之外的表面以及所述第一测量部分和所述第二测量部分的侧面上。

Patent Agency Ranking