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公开(公告)号：CN1821875B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200610067361.3
申请日：2006-02-15
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供了一种式(I)的盐其中X代表-OH或-Y-OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101566797A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910135319.4
申请日：2009-04-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/2041 , Y10S430/108 , Y10S430/111
Abstract: 本发明提供了一种化学放大型抗蚀剂组合物，所述组合物包含树脂(A)、树脂(B)和产酸剂，所述树脂(A)不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，所述树脂(B)含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，其中基于所述树脂(B)的所有单元，所述结构单元(b1)的含量低于10摩尔％。
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公开(公告)号：CN101021683A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710079265.5
申请日：2007-02-13
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0046 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/126
Abstract: 本发明提供了化学放大光刻胶组合物，其包含：树脂(A)，其不含有氟原子，而含有具有酸不稳定基团的结构单元(a1)；树脂(B)，其含有具有含氟基团的结构单元(b2)和选自具有酸不稳定基团的结构单元(b1)、具有羟基的结构单元(b3)和具有内酯结构的结构单元(b4)的至少一种结构单元；和产酸剂。
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公开(公告)号：CN1841201A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610077420.5
申请日：2006-03-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C07D307/33 , C07C381/12 , C07D307/77 , C08K5/42 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐：其中环Y代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个－CH2－基团被－COO－基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1－6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0－12的整数。本发明还提供含有式(I)盐的化学放大的抗蚀组合物。
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公开(公告)号：CN1800977B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200510048390.0
申请日：2005-12-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C67/11 , C07C67/14 , C07C69/75 , C07C69/753 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D493/04 , G03F7/0397
Abstract: 化学放大的阳性抗蚀剂组合物；本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101900942A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200910253948.7
申请日：2009-12-09
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 一种抗蚀剂组合物，包含：(A)树脂，其在碱性水溶液中不可溶或可溶性差，但通过酸的作用变为在碱性水溶液中可溶，(B)式(1)所表示的多元酚化合物：其中R1、R2、R3、R4和R5之中的至少一个是式(2)所表示的基团，其他的是氢原子：其中X1和X2各自独立地表示氢原子等，n代表0～4的整数，Z1表示C1-C6烷基等，并且环Y表示脂环烃基，和(C)产酸剂。
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公开(公告)号：CN1690851B
公开(公告)日：2010-04-28
申请号：CN200510066667.2
申请日：2005-04-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C08F220/18 , C07C69/73 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D307/33 , C08F220/28 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/115 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂包含(i)一种式(I)的结构单元和(ii)选自式(II)、(III)、(IV)和(V)的结构单元中的至少一种结构单元。本发明还提供一种用于光刻胶组合物的新单体，以及制备这些单体和组合物的方法。
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公开(公告)号：CN101168509A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710167318.9
申请日：2007-10-22
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C69/74 , H01L21/027 , G03F7/004
CPC classification number: C07C39/15 , C07C67/31 , C07C69/712 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
Abstract: 本发明提供一种由式(I)表示的多元酚化合物，其中选自R1、R2、R3、R4和R5中的至少一个是由式(II)表示的基团，其中X1、X2、X3和X4分别独立地表示氢原子或C1～C4烷基，n表示0～3的整数，Z1表示C1～C6烷基或C3～C12环烷基，环Y表示脂环烃基，并且其它的是氢原子，以及一种含有该化合物的化学放大型光刻胶组合物。
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公开(公告)号：CN1821875A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610067361.3
申请日：2006-02-15
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供了一种式(I)的盐，其中X代表－OH或－Y－OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1800977A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510048390.0
申请日：2005-12-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C67/11 , C07C67/14 , C07C69/75 , C07C69/753 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D493/04 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物。本发明还提供可用作化学放大的阳性抗蚀剂组合物的组分的酯衍生物以及生产该酯衍生物的方法。
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