一种地下变形量的三维测量方法及测量系统

    公开(公告)号:CN103235349A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310140231.8

    申请日:2013-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种地下变形量的三维测量方法及测量系统。由现场测量仪器和远方测量仪器,两者通过无线传感通讯连接;其中:现场测量仪器是由地下变形量集成传感器串和地下变形量测量集中处理装置组成;远方测量仪器是由远程接收装置、PC上位机组成;远程接收装置的一端与天线连接,远程接收装置的另一端与PC上位机连接。本发明可对地表以下的各种原因引发的变形实现三维测量,实现目前其他方法无法实现的对地下变形量的连续三维测量;从而有可能成为一种观测地壳深部在板块挤压时的变形状况的仪器,为地震发生的机理研究提供观测数据;也可为研究克拉通破坏、页岩气开发的地质环境观测等提供测量仪器。

    一种基于微型桥谐振器的薄膜热电变换器的结构及制作方法

    公开(公告)号:CN101566506B

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN200810060614.3

    申请日:2008-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种基于微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器由加热电阻(1)、微桥谐振器(2)和密封环(3)组成。加热电阻(1)温度升高后其热量经对流、辐射或热传导引起微桥谐振器(2)温度升高。由于组成微桥谐振器(2)的材料的热膨胀系数不向,受热后轴向压应力增加或拉应力下降,谐振频率下降,通过测量谐振频率的变化可反映出加热电阻(1)的温度信息。本发明所涉及的基于微桥谐振器(2)的薄膜热电变换器具有以下优点:利用微桥谐振器(2)测量加热电阻(1)的灵敏度高、经微桥谐振器(2)传导到衬底的热量极小、加热电阻(1)可以灵活设计、交直流转换误差小。

    基于霍尔和磁阻效应的地下位移三维测量方法及装置

    公开(公告)号:CN103063122A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201310000331.0

    申请日:2013-01-04

    Abstract: 本发明公开了一种基于霍尔和磁阻效应的地下位移三维测量方法及装置。集成式传感器由多个圆柱体测量单元通过电源线和通讯线串接而成,各单元均内嵌四块面板。四块面板依次分别由三个呈等边三角形分布的霍尔效应传感器组成的传感器阵列、基于磁阻效应的双轴磁传感器及测量电路、屏蔽层和圆柱形永久磁钢。将集成式传感器直插入岩土体中,其输出信号由信息处理单元采集并处理。利用测地磁的双轴磁传感器测量出坐标轴的方位角;利用霍尔传感器阵列测量出磁钢的三维坐标值;土层变形使得相邻测量单元发生相对位移,测量磁钢新的三维坐标值。三个值通过几何运算完成相邻测量单元的相对位移测量,完成整个岩土体从地下到地表面的变形的三维测量。

    可适应崎岖路面爬行的仿蜘蛛机器人的躯干装置

    公开(公告)号:CN102923207A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201210453145.8

    申请日:2012-11-13

    Abstract: 本发明涉及一种可适应崎岖路面爬行的仿蜘蛛机器人的躯干装置。目前的仿蜘蛛机器人针对平面内的爬行。本发明中的并联平台对称设置在长方形的基体底面的角上,并联平台呈三角状,其第一顶点上设置有第一球铰,第一球铰固定在基体底面,第二顶点上设置有第二球铰,第二球铰通过伸缩制动器与第三球铰连接,第三球铰固定在基体底面,第三顶点上设置有第四球铰,第四球铰通过另一个伸缩制动器与第五球铰连接,第五球铰固定在基体底面;第二球铰与第四球铰之间的并联平台上设置有两个髋关节基座,每个髋关节基座对应设置有一条机械腿。本发明通过伸缩制动器的动作可使得四个并联平台改变位姿,从而具有对崎岖路面行走的适应能力。

    一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法

    公开(公告)号:CN102608356A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201210059387.9

    申请日:2012-03-01

    Abstract: 本发明公开了一种双轴体微机械谐振式加速度计结构及制作方法,属于微电子机械系统领域。组成谐振式加速度计的谐振梁(1)位于衬底上表面,蟹腿型支撑梁(2)的中性面与质量块(3)的重心在同一平面。谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)通过五次光刻和三次各向异性湿法腐蚀工艺制作在同一硅片上。首先,背面光刻,有掩膜腐蚀工艺从谐振梁(1)背面腐蚀硅到一定深度。然后正反面光刻,去除腐蚀槽(8)中除谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)以外部分的腐蚀掩蔽层(9),有掩膜腐蚀硅到另一深度。最后,去除蟹腿型支撑梁(2)正反面的腐蚀掩蔽层(9),掩膜和无掩膜腐蚀相结合实现谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(2)的同时成型。该双轴体微机械谐振式加速度计具有较小的交叉轴干扰和较高的灵敏度。

    一种可隔离封装应力的谐振式红外探测器结构及制作方法

    公开(公告)号:CN103708406B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201310714214.0

    申请日:2013-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种可隔离封装应力的谐振式红外探测器的结构及制作方法,属于微电子机械系统领域。其特征在于:谐振式红外探测器由微桥谐振器芯片和下底板组成。其中微桥谐振器芯片由微桥谐振器(1)、矩形框架(2)、两根支撑梁(3)、衬底(4)组成。支撑梁(3)一端固支在衬底(4)上,另一端与矩形框架(2)的一对对边相连。微桥谐振器(1)两端固支在矩形框架(2)的另一对对边之间。微桥谐振器(1)、矩形框架(2)和支撑梁(3)悬浮在下底板(5)的上方。下底板(5)的热膨胀不会改变矩形框架(2)支撑微桥谐振器(1)的一对对边之间的距离,因此不会改变微桥谐振器(1)的长度、轴向应变和谐振频率。

    具有应激反射功能的崎岖面爬行机器人气动肌肉关节

    公开(公告)号:CN104015834B

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201410225176.7

    申请日:2014-05-26

    Abstract: 本发明属于机器人技术领域,尤其是涉及一种具有应激反射功能的崎岖面爬行机器人气动肌肉关节。本具有应激反射功能的崎岖面爬行机器人气动肌肉关节,包括上固定座和下固定座,上固定座和下固定座之间设有支撑结构且支撑结构与上固定座相铰接,上固定座和下固定座之间还设有气动肌肉组件,其特征在于,气动肌肉组件与可控制气动肌肉组件内气压大小的气压控制机构相连接,气压控制机构与气压反馈机构相连接且气压反馈机构可根据接收到的反馈信息通过控制气压控制机构来控制气动肌肉组件内的气压大小。本发明的优点在于:能够针对复杂步行环境或突发扰动进行应激式反射,适应性强,稳定性好,反应快。

    岩土体灾变的模拟及检测装置

    公开(公告)号:CN104569347B

    公开(公告)日:2016-03-23

    申请号:CN201510016712.7

    申请日:2015-01-13

    Abstract: 本发明公开了一种岩土体灾变的模拟及检测装置。包括承载有岩土的机械翻斗装置、人工降雨装置、信息采集及监测系统、控制系统和支撑框架,机械翻斗装置安装在地面上,支撑框架位于机械翻斗装置的上方,机械翻斗装置正上方的支撑框架上固定安装有人工降雨装置,机械翻斗装置内安装有信息采集及监测系统,控制系统分别与机械翻斗装置、人工降雨装置和信息采集及监测系统连接。本发明能模拟滑坡泥石流等常见岩土体灾害的灾变过程,为岩土体灾害的研究提供定量研究,并且固定的装置和可自主设定参数的降雨量和边坡可以提高研究的全面性和效率。

    槽罐内化学气体排尽收集控制检测系统

    公开(公告)号:CN105223874A

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201510686502.9

    申请日:2015-10-21

    CPC classification number: G05B19/042 G01V9/00 G05B2219/26

    Abstract: 本发明公开了一种槽罐内化学气体排尽收集控制检测系统。在槽罐顶部的安全阀口处安装有安全阀开启装置,安全阀开启装置经驱动控制信号线与现场安全阀开闭驱动控制装置电连接,现场安全阀开闭驱动控制装置连接有天线,安全阀开启装置的出气口连通大气和气体存储罐,槽罐内竖直安装有溢导管,溢导管连通气体存储罐,槽罐底部设有排水口和注水口,其中各路管路的阀和传感器和安全阀开启装置均连接到综合控制检测装置。本发明能够将槽罐车上的槽罐内的各种液化气等化学气体充分排尽,实现了非人工的自动化作业,避免了人工检测槽罐车的问题和麻烦,并具有存储管将气体存储,避免了化学气体的污染和浪费,提高了工作效率。

    谐振式加速度计谐振梁和支撑梁的二步腐蚀制造方法

    公开(公告)号:CN102602879B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201210059372.2

    申请日:2012-03-01

    Abstract: 本发明公开了一种谐振式加速度计谐振梁和支撑梁的二步腐蚀制造方法,属于微电子机械系统领域。本发明的目的在于在同一硅片(3)上制作出不在同一平面的谐振梁(1)和支撑梁(2),谐振梁(1)位于衬底上表面,支撑梁(2)的中性面与质量块(4)的重心在同一平面。在制作技术方面的特征在于:首先采用有掩膜腐蚀工艺从谐振梁(1)背面腐蚀到一定深度;然后正反两面光刻,腐蚀或刻蚀腐蚀槽(6)除谐振梁(1)和质量块(4)凸角补偿部分以外的腐蚀掩蔽层(7);最后,采用掩膜和无掩膜腐蚀相结合实现谐振梁(1)和支撑梁(2)的一次成型,谐振梁(1)和支撑梁(2)的厚度同时达到设定值。本制造方法使制作的谐振式加速度计结构简单,具有较小的交叉轴干扰。

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