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公开(公告)号：CN101566506B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN200810060614.3
申请日：2008-04-22
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明公开了一种基于微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器由加热电阻(1)、微桥谐振器(2)和密封环(3)组成。加热电阻(1)温度升高后其热量经对流、辐射或热传导引起微桥谐振器(2)温度升高。由于组成微桥谐振器(2)的材料的热膨胀系数不向，受热后轴向压应力增加或拉应力下降，谐振频率下降，通过测量谐振频率的变化可反映出加热电阻(1)的温度信息。本发明所涉及的基于微桥谐振器(2)的薄膜热电变换器具有以下优点：利用微桥谐振器(2)测量加热电阻(1)的灵敏度高、经微桥谐振器(2)传导到衬底的热量极小、加热电阻(1)可以灵活设计、交直流转换误差小。
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公开(公告)号：CN101063630A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710069043.5
申请日：2007-06-01
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明公开了一种基于微机械桥型谐振器的红外探测器结构及制作方法。该红外探测器由通过真空密封技术或气密封装技术封装在一起的桥谐振器芯片(1)和盖板(2)组成。入射红外线通过红外线透射窗口(7)入射在微机械桥(3)表面，引起微机械桥(3)温度升高，轴向应力增加，谐振频率下降，通过测量微机械桥(3)的谐振频率的变化可反映出入射红外线的强弱。本发明所涉及的基于微机械桥型谐振器的非制冷红外探测器具有以下优点：输出量为谐振频率，不受电路噪声的影响，测温精度及分辨率很高，具有极高的探测率和响应率，制作工艺与IC制作工艺完全兼容，易于实现阵列化和系统集成，大批量生产成本低。
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公开(公告)号：CN101566643B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200810060613.9
申请日：2008-04-22
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明公开了一种基于双材料微悬臂梁的薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器主要由制作在下层硅片上的加热电阻(1)、制作在上层硅片上的双材料微悬臂梁(2)和将上、下硅片密封在一起的密封环(3)组成，由低汤姆逊系数材料制作的加热电阻(1)位于下层硅片上应力平衡的绝热薄膜(4)上表面或者夹层中；与加热电阻(1)相对放置的双材料微悬臂梁(2)可以直接支撑在衬底上，也可以通过绝热悬臂梁(7)或绝热悬桥(8)支撑在衬底上。双材料微悬臂梁(2)测量加热电阻(1)温度的原理与传统的双金属片温度传感器类似，加热电阻(1)温度升高后其热量经对流、辐射或热传导等途径引起双材料微悬臂梁(2)温度升高。由于组成双材料微悬臂梁(2)的两种材料的热膨胀系数不同，双材料微悬臂梁(2)自由端挠度或根部应变发生变化，通过检测元件(9)检测双材料微悬臂梁(2)形变后可获得加热电阻(1)的温度信息。本发明所涉及的基于双材料微悬臂梁的薄膜热电变换器具有以下优点：利用双材料微悬臂梁(2)测量加热电阻(1)的灵敏度高、经双材料微悬臂梁温度敏感元件传导到衬底的热量极小、加热电阻可以灵活设计、交直流转换误差小。
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公开(公告)号：CN101566506A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200810060614.3
申请日：2008-04-22
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明公开了一种基于微型桥谐振器2的薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器主要由加热电阻1、微型桥谐振器2和密封环3组成。加热电阻1温度升高后其热量经对流、辐射或热传导等途径引起微型桥谐振器2温度升高。由于组成微型桥谐振器2的材料的热膨胀系数不同，受热后轴向压应力增加(或拉应力下降)，谐振频率下降，通过测量谐振频率的变化可反映出加热电阻1的温度信息。本发明所涉及的基于微型桥谐振器的薄膜热电变换器具有以下优点：利用微型桥谐振器测量加热电阻的灵敏度高、经微型桥谐振器传导到衬底的热量极小、加热电阻可以灵活设计、交直流转换误差小。
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公开(公告)号：CN101566643A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200810060613.9
申请日：2008-04-22
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明公开了一种基于双材料微悬臂梁的薄膜热电变换器的结构及制作方法。薄膜热电变换器主要由加热电阻1、双材料微悬臂梁2和密封环3组成。双材料微悬臂梁2测量加热电阻1温度的原理与传统的双金属片温度传感器类似，加热电阻1温度升高后其热量经对流、辐射或热传导等途径引起双材料微悬臂梁2温度升高。由于组成双材料微悬臂梁2的两种材料的热膨胀系数不同，双材料微悬臂梁2自由端挠度或根部应变发生变化，通过检测元件9检测双材料微悬臂梁2形变后可获得加热电阻1的温度信息。本发明所涉及的基于双材料微悬臂梁的薄膜热电变换器具有以下优点：利用双材料微悬臂梁2测量加热电阻1的灵敏度高、经双材料微悬臂梁温度敏感元件传导到衬底的热量极小、加热电阻可以灵活设计、交直流转换误差小。
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