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公开(公告)号：CN109945778A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910297168.6
申请日：2019-04-15
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的光频调制法皮米级分辨力大行程激光测量装置，属于精密测量技术领域。本发明主要由干涉测量模块、光学解调模块、细分控制模块、控制及信息处理模块组成。所述干涉测量模块包括光源准直器、第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、调制参考镜、FP干涉腔、第二1/4波片、测量镜、第三1/4波片、第二偏振分光棱镜、第一光电接收器、第二光电接收器。采用光频小数调制的方法克服FP干涉腔无法满足长距离干涉测量问题，能够满足激光干涉测量长距离的同时，使其分辨力在原有干涉分辨能力的基础之上进一步提升到皮米量级，实现长距离并具有皮米量级分辨力的激光测量。本发明结构相对简单，易于高精度实现动态特性测量。
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公开(公告)号：CN103105134B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310005758.X
申请日：2013-01-08
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于猫眼反射原理的干涉微位移测量系统，属于几何量计量技术领域。其特征是将猫眼反射原理用于干涉法微位移测量，提出猫眼反射镜引入的位移测量误差修正数学模型，并采用平衡式双光程光学系统结构以提高系统的抗干扰能力。本发明的误差修正方法可以将猫眼反射镜引入的测量误差减小到纳米量级。本系统硬件由稳频激光光源、偏振分光镜、透镜-反射镜式猫眼反射镜、角锥棱镜、波片、偏振片、必要的反射镜和直角棱镜、以及光电接收器等组成。本系统具有测量分辨力高、抗干扰能力强、可实现非接触测量等特点，可用于解决无法使用角锥棱镜的情况下的微位移干涉测量问题，在微位移、微振动、热膨胀系数等测量方面有重要的推广应用价值。
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公开(公告)号：CN111537552B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202010588332.1
申请日：2020-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明的一种低膨胀材料线膨胀系数测量装置及方法，属于测量技术领域。本发明采用法布里‑珀罗干涉仪测量试样的长度，利于提高测量准确性。本发明采用声光调制器产生附加光频移动，利用由同一套稳频激光器、高速光电接收器和频率计数器组成的频率测量系统能够完成对法布里‑珀罗干涉仪两个相邻谐振峰的频率测量，在不显著增加系统成本情况下，实现测量试样长度。本发明能够对不同温度下的试样长度进行绝对测量，突破通常法布里‑珀罗干涉仪测量范围小的局限，且不需要干涉测长系统连续工作，操作方便。综上，本发明具有测量准确度高、测量范围大、干涉系统结构简单且不需要长时间连续工作等优点，在低膨胀材料线膨胀系数测量方面有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN109945778B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201910297168.6
申请日：2019-04-15
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的光频调制法皮米级分辨力大行程激光测量装置，属于精密测量技术领域。本发明主要由干涉测量模块、光学解调模块、细分控制模块、控制及信息处理模块组成。所述干涉测量模块包括光源准直器、第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、调制参考镜、FP干涉腔、第二1/4波片、测量镜、第三1/4波片、第二偏振分光棱镜、第一光电接收器、第二光电接收器。采用光频小数调制的方法克服FP干涉腔无法满足长距离干涉测量问题，能够满足激光干涉测量长距离的同时，使其分辨力在原有干涉分辨能力的基础之上进一步提升到皮米量级，实现长距离并具有皮米量级分辨力的激光测量。本发明结构相对简单，易于高精度实现动态特性测量。
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公开(公告)号：CN110174054A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201910479875.7
申请日：2019-06-04
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统，属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次，使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8，同时，所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构，即测量光束与参考光束的传播路径相似，光程差主要由被测试样的长度引起，因此，测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110057440A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910483896.6
申请日：2019-06-05
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开的一种基于声光调制的扫描激光测振仪，属于非接触动态测量领域。本发明主要由激光器、分光棱镜、声光调制器、光阑、被测振动表面、参考反射镜、光电接收器组成。激光器出射光被分光棱镜分为参考光和测量光；测量光经声光调制器衍射、光阑选择后得到一级衍射光，照射到具有漫反射特性的被测振动表面，部分反射光原路返回后再次被声光调制器衍射，衍射后得到的一级衍射光与原测量光方向相反，被分光棱镜反射后与参考反射镜反射的参考光发生干涉；干涉信号被光电接收器接收。本发明通过对实时扫描，实现对整个被测对象表面的振动速度、加速度、位移等振动参数及其分布的测量，具有结构简单、体积小巧、扫描精度高、扫描速度快的优点。
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公开(公告)号：CN108279509A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810076304.4
申请日：2018-01-26
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置，属于光学技术领域。在组成平凹腔法布里-珀罗干涉仪的平面反射镜边缘加工一部分未镀反射膜区域，以解决因为法布里-珀罗腔透射率低所造成的调整过程中反射光斑和干涉条纹不易观察的问题，通过引入一块过渡参考镜，使其分别与凹面反射镜和平面反射镜相对准，实现了平凹腔法布里-珀罗干涉仪两块反射镜的对准调整。本发明装置由激光器、聚光镜、光阑、准直镜、分光镜、透镜、观察屏、平面反射镜、过渡参考镜和凹面反射镜组成，本发明方法能够提高平凹腔法布里-珀罗干涉仪的调整精度和调整速度，在应用法布里-珀罗干涉仪的精密测量系统装调中有实用价值。
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公开(公告)号：CN104600555B
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201510031019.7
申请日：2015-01-21
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 本发明涉及一种动态声光调制光频级次选择方法及装置，属于激光测量技术及激光频率调制技术领域。动态声光调制光频级次选择方法及装置，用于有目的地选取声光调制光频指定衍射级次，同时就选定的衍射级次约束其光学输出的方向，包括光源输入模块，声光调整光频选择模块，控制及驱动模块，光源输出模块。本发明采用的光学结构简单，易于实现，能够较好地解决所选高速动态声光调制光频的可控制输出，具有较高的光学方向性，为提高了动态光频调制技术的应用提供了解决方案。
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公开(公告)号：CN104266593B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410569205.1
申请日：2014-10-22
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种采用双可调激光源法布里-珀罗干涉仪的微位移测量系统，属于几何量计量技术领域。本发明采用两套以波长可调激光为光源的法布里-珀罗干涉仪对被测目标的位移进行测量，通过用两个可调光源对法布里-珀罗腔不同谐振模态的频率进行交替跟踪，在保持法布里-珀罗干涉仪高测量分辨力的同时，实现了位移测量范围的扩大。该系统有效地解决了提高干涉仪测量分辨力和扩大测量范围之间的矛盾，可以应用于纳米级准确度微位移测量。
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公开(公告)号：CN119958681A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202411713469.X
申请日：2024-11-27
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 一种激光干涉法线/角振动同步测量装置及解耦方法，属于激光干涉测量领域。线/角振动同步测量装置包括光学系统、精密调节支架、控制器、数据采集系统、线/角振动综合校准软件和一体式连接电缆。光学系统，用于发射三束测量光并聚焦在振子表面，同时接收从振子表面反回来的光能量，转换为光电信号。精密调节支架，用于精确调整光学系统的测量姿态。线/角振动上位机，用于对采集到的信号进行解耦和分别获取线振动和角振动参数，实现时频域曲线的实时跟踪显示，并自动拟合和快速显示运动目标的空间运行矢量轨迹。本发明采用三光束对称差分式马赫－泽德外差干涉方法，能够同步获取被测目标的线振动和角振动参数，并实现对被校传感器的综合校准。
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